公开(公告)号：CN100338735C

公开(公告)日：2007-09-19

申请号：CN03807749.3

申请日：2003-03-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 户羽胜也 ,  高桥喜一 ,  小原美鹤

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/31 ,  H01L21/22 ,  H01L21/302

CPC classification number: H01L21/67109

Abstract: 在纵型热处理装置(1)中，在可升降地开闭纵型热处理炉(2)的炉口(3)的盖体(5)上，设置有旋转搭载有多个被处理基板(W)的保持容器(13)的旋转机构(15)。旋转机构(15)包括旋转轴(16)、和通过轴承(17)及密封部件(18)可旋转地支撑旋转轴(16)的支撑部(19)。旋转轴(16)为壁薄中空构造且在其内侧和外侧有冷却用气体流通。支撑部(19)包括围绕旋转轴(16)的上侧而形成的、流通冷媒的冷却通路(32)。

公开(公告)号：CN2706861Y

公开(公告)日：2005-06-29

申请号：CN03243257.7

申请日：2003-04-08

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 户羽胜也 ,  高桥喜一 ,  小原美鹤

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67109

Abstract: 本实用新型提供一种纵向热处理装置(1)，可以对旋转轴进行充分冷却、可以提高轴承和密封构件的耐用性、可以应对高温热处理。在开闭纵向热处理炉(2)的炉口(3)的可升降盖体(5)中，配置使装载有多个被处理基片(W)的保持件(13)旋转的旋转机构(15)。旋转机构(15)包含：旋转轴(16)、经由轴承(17)和密封构件(18)可旋转地支撑旋转轴(16)的支撑部(19)。旋转轴(16)形成薄壁中空结构，并且使冷却用气体在其内侧和外侧流通。支撑部(19)具有以围绕旋转轴(16)的上侧的方式形成的使冷媒流通的冷却通路(32)。