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公开(公告)号：CN114792639A
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN202210041556.X
申请日：2022-01-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供能够缩短从大气气氛向低湿度环境转变的转变时间的技术。本发明的一个方式的控制方法是基片输送模块的控制方法，所述基片输送模块包括：设置有风扇的第1室；第2室，其由所述风扇从所述第1室被送入置换气体，且包含输送基片的输送装置；将所述第1室和所述第2室连通并使所述置换气体循环的循环管线；和设置于所述循环管线的阀，所述控制方法包括：使所述风扇停止，且将所述阀关闭，将所述第1室内和所述第2室内置换为所述置换气体的置换步骤；和使所述风扇开启，且将所述阀打开，经由所述循环管线使所述置换气体循环的循环步骤，在所述置换步骤中，进行控制以预先决定的时间使所述风扇开启且将所述阀打开。
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公开(公告)号：CN105990196B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201610157102.3
申请日：2016-03-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H01L21/677 , H01L21/673
Abstract: 本发明提供一种夹持装置、基板输入输出装置以及基板处理装置。本发明的夹持装置(100)包括：夹持构件(81)，在对设置于基板收纳容器(C)的正面的盖体(68)进行开闭时，该夹持构件(81)能够从上方与该基板收纳容器接触而将所述基板收纳容器固定于预定位置；驱动机构(86、87)，其用于驱动所述夹持构件；壳体(85)，其用于覆盖该驱动机构；排气室(90)，其具有与该壳体连通的吸入口(91)，并设于该壳体的附近；风扇(94)，其设置于该排气室内。
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公开(公告)号：CN101271857B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200810085863.8
申请日：2008-03-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67781 , H01L21/67265 , H01L21/67766 , Y10S414/138
Abstract: 基板移载装置(100)包括：具有保持基板(W)的保持臂(41a～41e)和搬送基体(5)的基板搬送单元(4)；形成水平光轴(L)的光传感器(62)；使搬送基体(5)升降的升降单元(52)；和检测搬送基体(5)相对于光轴(L)的高度位置的高度位置检测单元(54)。控制部(7)的判断单元(72a)，基于来自光传感器(62)的受光-非受光的检测结果和搬送基体(5)的高度位置，判断保持臂(41a～41e)相对于水平面的姿势是否正常。此外，当通过判断单元(72a)判断出保持臂(41a～41e)相对于水平面的姿势异常时，控制部(7)停止基板搬送单元(4)。
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公开(公告)号：CN101271857A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810085863.8
申请日：2008-03-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67781 , H01L21/67265 , H01L21/67766 , Y10S414/138
Abstract: 基板移载装置(100)包括：具有保持基板(W)的保持臂(41a～41e)和搬送基体(5)的基板搬送单元(4)；形成水平光轴(L)的光传感器(62)；使搬送基体(5)升降的升降单元(52)；和检测搬送基体(5)相对于光轴(L)的高度位置的高度位置检测单元(54)。控制部(7)的判断单元(72a)，基于来自光传感器(62)的受光－非受光的检测结果和搬送基体(5)的高度位置，判断保持臂(41a～41e)相对于水平面的姿势是否正常。此外，当通过判断单元(72a)判断出保持臂(41a～41e)相对于水平面的姿势异常时，控制部(7)停止基板搬送单元(4)。
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公开(公告)号：CN104060074B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201410108338.9
申请日：2014-03-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67781 , G11C11/16 , H01L21/67754
Abstract: 本发明的磁性退火装置使用卧式的超导磁体作为磁场产生部件，对保持于被处理体保持部件的被处理体进行磁性退火处理，该磁性退火装置包括：收纳容器，其用于收纳磁性退火处理前的上述被处理体；以及被处理体输送机构，其用于将保持于上述收纳容器的上述被处理体输送到上述被处理体保持部件；上述被处理体输送机构能够将上述被处理体保持为水平状态，并且也能够将上述被处理体保持为铅垂状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105990196A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201610157102.3
申请日：2016-03-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H01L21/677 , H01L21/673
Abstract: 本发明提供一种夹持装置、基板输入输出装置以及基板处理装置。本发明的夹持装置(100)包括：夹持构件(81)，在对设置于基板收纳容器(C)的正面的盖体(68)进行开闭时，该夹持构件(81)能够从上方与该基板收纳容器接触而将所述基板收纳容器固定于预定位置；驱动机构(86、87)，其用于驱动所述夹持构件；壳体(85)，其用于覆盖该驱动机构；排气室(90)，其具有与该壳体连通的吸入口(91)，并设于该壳体的附近；风扇(94)，其设置于该排气室内。
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公开(公告)号：CN104060074A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410108338.9
申请日：2014-03-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67781 , G11C11/16 , H01L21/67754
Abstract: 本发明的磁性退火装置使用卧式的超导磁体作为磁场产生部件，对保持于被处理体保持部件的被处理体进行磁性退火处理，该磁性退火装置包括：收纳容器，其用于收纳磁性退火处理前的上述被处理体；以及被处理体输送机构，其用于将保持于上述收纳容器的上述被处理体输送到上述被处理体保持部件；上述被处理体输送机构能够将上述被处理体保持为水平状态，并且也能够将上述被处理体保持为铅垂状态。
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公开(公告)号：CN1647250A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN03807749.3
申请日：2003-03-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/205 , H01L21/31 , H01L21/22 , H01L21/302
CPC classification number: H01L21/67109
Abstract: 在纵型热处理装置(1)中，在可升降地开闭纵型热处理炉(2)的炉口(3)的盖体(5)上，设置有旋转搭载有多个被处理基板(W)的保持容器(13)的旋转机构(15)。旋转机构(15)包括旋转轴(16)、和通过轴承(17)及密封部件(18)可旋转地支撑旋转轴(16)的支撑部(19)。旋转轴(16)为壁薄中空构造且在其内侧和外侧有冷却用气体流通。支撑部(19)包括围绕旋转轴(16)的上侧而形成的、流通冷媒的冷却通路(32)。
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公开(公告)号：CN104060073B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201410108086.X
申请日：2014-03-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L39/02 , C21D1/04 , C21D2281/00 , F27B5/06 , F27B5/12 , F27B5/13 , F27D3/0024 , F27D3/0084 , F27D11/12 , F27D19/00 , F27D2003/0003 , F27D2003/0018 , G11C11/16 , H01L43/12
Abstract: 在本发明的磁性退火装置中，隔着开闭门形成有用于输送收纳有一组被处理体的收纳容器的收纳容器输送区域和用于输送被处理体的被处理体输送区域，磁性退火装置具有控制部，在收纳容器输送区域内配置有：第1载置台；多个第2载置台；保存部；以及收纳容器输送机构，其用于在第1载置台、第2载置台以及保存部之间输入、输出收纳容器；在被处理体输送区域内配置有：对准器；被处理体保持部件；被处理体输送机构，其用于在载置于第2载置台的收纳容器、对准器以及被处理体保持部件之间输送被处理体；加热部件；磁场产生部件；以及移载机构，其用于将保持于被处理体保持部件的被处理体移载到磁场产生部件内。
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公开(公告)号：CN104060073A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410108086.X
申请日：2014-03-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L39/02 , C21D1/04 , C21D2281/00 , F27B5/06 , F27B5/12 , F27B5/13 , F27D3/0024 , F27D3/0084 , F27D11/12 , F27D19/00 , F27D2003/0003 , F27D2003/0018 , G11C11/16 , H01L43/12
Abstract: 在本发明的磁性退火装置中，隔着开闭门形成有用于输送收纳有一组被处理体的收纳容器的收纳容器输送区域和用于输送被处理体的被处理体输送区域，磁性退火装置具有控制部，在收纳容器输送区域内配置有：第1载置台；多个第2载置台；保存部；以及收纳容器输送机构，其用于在第1载置台、第2载置台以及保存部之间输入、输出收纳容器；在被处理体输送区域内配置有：对准器；被处理体保持部件；被处理体输送机构，其用于在载置于第2载置台的收纳容器、对准器以及被处理体保持部件之间输送被处理体；加热部件；磁场产生部件；以及移载机构，其用于将保持于被处理体保持部件的被处理体移载到磁场产生部件内。
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