-
公开(公告)号：CN111044800B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN201911420910.4
申请日：2019-12-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的一种状态可控的对称型热电式MEMS微波驻波计采用一个对称型定向耦合器，将入射和反射微波功率分别提取到上下两条支路的耦合端和隔离端；采用热电式MEMS微波功率传感器测量两支路各端口功率，取平均值可得更准确的入射和反射微波功率，进而可得驻波比大小；设计的两条支路单独工作也可实现测量功能，减小了故障率；为了实现MEMS微波驻波计的状态转换功能，在其提取支路上添加MEMS微波开关；当MEMS微波开关处于关断状态时，入射微波功率不再被提取，直接传输到输出端口，减小了不需要检测时微波功率的损耗。该状态可控的对称型热电式MEMS微波驻波计提高了MEMS微波驻波计的可靠性，而且具有低损耗、小芯片面积以及与砷化镓单片微波集成电路工艺兼容的特点。
-
公开(公告)号：CN111877788B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202010530398.5
申请日：2020-06-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明单跨框架的外附钢支撑框架加固结构及配套设计施工方法，主要由加固结构、加固结构悬挑梁、钢支撑框架、现浇基础、悬挑梁固定端节点、悬挑梁自由端节点和自复位钢拉索组成。本发明的单跨框架的外附钢支撑框架加固结构及配套设计施工方法在地震作用下的残余变形很小，耗能能力强；新加的钢支撑框架大大提高主体结构的抗侧刚度，增加结构的冗余约束，以达到加固效果；体系拼接部位均采用螺栓连接，能够实现在工厂生产、现场拼装，缩短了现场工期。该加固方法具有抗震能力强、施工质量高、工期短等优点。
-
公开(公告)号：CN112284578B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011597567.3
申请日：2020-12-30
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS压力传感器，包括体硅层、埋氧层、衬底、压敏电阻、第一钝化层、电极层、第二钝化层。压敏电阻位于埋氧层上表面，第一钝化层为位于埋氧层上表面的长方体壳体，长方体壳体的顶部中央设有通孔，第一钝化层盖合在压敏电阻上，与压敏电阻之间的空隙构成隔离腔。电极层位于第一钝化层的上表面，并通过通孔与压敏电阻连接。第二钝化层位于电极层的上表面。通过设置隔开的钝化层，有效抑制钝化层中缺陷及其电荷俘获造成的压敏电阻性能漂移，从而提高传感器的长期稳定性，同时缓解钝化层与压敏电阻之间的材料特性失配引起的稳定性问题以及抑制环境气氛和辐照等对压敏电阻性能的影响。
-
公开(公告)号：CN112260218A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011537040.1
申请日：2020-12-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种额定电流可调且可监测的过流保护器及制备方法，过流保护器包括第一衬底；第二衬底；在第一衬底上形成开放腔、悬臂梁、第一绝缘层和第二绝缘层；第一电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的固定端；第二电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的中部位置；第三电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的悬空端。本发明利用MEMS体加工和键合工艺，设置开放腔、悬臂梁、第一电极、第二电极和第三电极，使过流保护器的额定电流可调且可监测，以提高电路或系统的可靠性。
-
公开(公告)号：CN111273089A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201911412952.3
申请日：2019-12-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的具有在线自检测功能的对称型MEMS定向微波功率耦合器通过将两段ACPS传输线的信号线对称分布于主传输线的上下两侧，且每段ACPS传输线的长度为四分之一波长，构成对称型定向耦合器，利用对称型定向耦合器将入射微波功率分别耦合到耦合端端口三、五，使其具有两个耦合端的输出微波功率，从而实现了双端口耦合输出；在对称型定向耦合器的CPW传输线与ACPS传输线的四个连接节点处各放置一个电容式MEMS微波功率传感器，利用电容式MEMS微波功率传感器测量出两支路各端口传输的微波功率，实现了在线自检测功能；此外，其采用全无源结构具有零直流功耗以及与砷化镓单片微波集成电路工艺兼容等特点。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111044797A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911417495.7
申请日：2019-12-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的具有可调谐频率状态的MEMS集成微波驻波计，采用全无源结构构成；通过在一个正交定向耦合器的耦合端口和隔离端口分别连接一个热电式MEMS微波功率传感器，分别测量出被耦合至耦合端和隔离端处的微波功率大小，可得到入射微波功率和反射微波功率的大小，从而构成了微型热电式MEMS集成微波驻波计；其在检测状态下仅有少部分输入功率被耦合，大部分功率仍可用，从而实现了对驻波比的在线检测的功能；四个相同的MEMS可变电容器增加了直通臂和耦合臂的电长度以减小芯片尺寸，基于静电原理可以连续改变电容值以对中心频率进行连续调谐；因而，本发明提出的MEMS集成微波驻波计具有微型化、零直流功耗、可调谐工作频率状态且在线检测驻波比的特点。
-
公开(公告)号：CN111039252A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911393730.1
申请日：2019-12-30
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种双通道自检测的MEMS微波功率分配器及其制备方法，包括位于砷化镓衬底上的微波功分器、热电式MEMS微波功率传感器以及三个电容式MEMS微波功率传感器；所述微波功分器为“T”型对称结构，包括三个端口，所述微波功分器的中间部分设有ACPS信号线；所述热电式MEMS微波功率传感器位于所述ACPS信号线所组成的环形区域内；每个所述电容式MEMS微波功率传感器均通过CPW结构与一个所述端口连接。本发明通过电容式和热电式双通道能够实时在线检测MEMS微波功率分配器的两端口是否为等分微波功率或是否发生失配情况，并且在线测量出输入和输出端口处微波功率的比例，从而实现了MEMS微波功率分配器的实时在线功率自检测。
-
公开(公告)号：CN103811834B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201410052316.5
申请日：2014-02-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的微机械悬臂梁式π型连续可重构微波带通滤波器采用一个平面螺旋电感，通过将两个相同的并联连接到CPW信号线和地线之间的MEMS可变平行板电容以及两个相同的串联连接到CPW信号线上的MIM电容依次对称放置在平面螺旋电感的左右两侧，构成具有带通特性的π型拓扑结构；MEMS可变平行板电容基于静电原理实现不同的电容大小，它的上极板为MEMS悬臂梁而下极板为CPW信号线，其中MEMS悬臂梁横跨在CPW信号线上且在CPW信号线的附近放置驱动电极；在MEMS悬臂梁下方的CPW信号线和驱动电极上覆盖Si3N4绝缘介质层。该滤波器实现了中心频率和带宽的连续调谐，而且具有低的损耗、好的带外抑制、宽的频带调谐、小的芯片面积。
-
公开(公告)号：CN103840744A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201410058341.4
申请日：2014-02-20
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明是一种物联网射频收发组件中光热电磁振动自供电微纳传感器，由一组尺寸相同的固支梁并排排列构成，固支梁的锚区分别固定在砷化镓衬底上，固支梁的底层是氮化硅层，氮化硅层上面是下极板，下极板上面是压电材料，压电材料上面是上极板，在固支梁下表面制作有天线结构，在固支梁周围环绕有竖立的MEMS热电堆，在固支梁上的中间设有ZnO/p-Si纳米级异质结，在ZnO/p-Si纳米级异质结的两侧的固支梁部分设有圆孔。本发明能够同时收集光能，热能，电磁能和振动能，有效降低射频收发组件的功耗，同时通过对热能、电磁能和振动能的收集，改善了射频收发组件的散热问题和电磁兼容问题，抑制了射频收发组件工作中的抖动，能有效的保证射频收发组件工作的稳定性。
-
公开(公告)号：CN102411088A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201110229467.X
申请日：2011-08-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的四输入微机械固支梁热电式微波功率传感器，突破了传统微波功率传感器只能测量单输入内微波功率的限制，实现了四输入微波功率的测量，同时也能够检测其中哪些输入了微波功率及其微波功率大小的比例。该结构在砷化镓衬底上有四个特征阻抗为50Ω的主线CPW，它们彼此对称且相互之间呈90º的角，在每个主线CPW的输出端并联两个100Ω终端匹配电阻，每个终端匹配电阻附近有一个热电偶，将这四对热电偶也成对称放置并串联连接形成热电堆；在每个主线CPW信号线上横跨一个MEMS固支梁，在MEMS固支梁下方有绝缘介质层，其固支梁的锚区分别连接副线CPW信号线，在副线CPW地线上有一个隔直电容，该副线CPW的特征阻抗为50Ω，在每个副线CPW输出端并联两个100Ω的热电偶。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
130
records
(took 0.033 seconds)
