-
公开(公告)号:CN114864735A
公开(公告)日:2022-08-05
申请号:CN202210513849.3
申请日:2022-05-11
Applicant: 中南大学
IPC: H01L31/112 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了基于飞秒激光的光电晶体管制备方法及晶体管阵列。包括步骤:S10,提供一顶面具有二氧化硅层的硅基层;S20,在二氧化硅层的上表面形成三层薄膜结构;S30,基于飞秒激光加工工艺依据预设图案信息,沿垂直于三层薄膜结构的表面方向从三层薄膜结构的上方进行刻蚀加工形成由多个叠层无结光电晶体管组成的晶体管阵列,相邻叠层无结光电晶体管经由沟槽分隔开来。本发明的基于飞秒激光的光电晶体管制备方法,通过使用飞秒激光微纳加工技术,省略了传统图案化过程中的光刻步骤,从而降低了晶体管器件的制备工艺成本,复合光敏材料与半导体材料,利用光生载流子注入半导体来提高器件电子及空穴的迁移率,获得更高的光电流响应。
-
公开(公告)号:CN111965226B
公开(公告)日:2021-06-25
申请号:CN202010839543.8
申请日:2020-08-19
Applicant: 中南大学
IPC: G01N27/26 , G01N27/30 , G01N27/327
Abstract: 本发明公开了一种用于检测刀豆蛋白A的生物传感器及其制备方法和应用,所述生物传感器采用MoS2场效应晶体管,MoS2场效应晶体管包括设置于基底上的MoS2半导体层,金纳米颗粒通过物理吸附于MoS2半导体层表面,β‑巯基乙胺通过Au‑S键连接于金纳米颗粒表面,甘露糖与β‑巯基乙胺的氨基共价键合构成甘露糖探针,甘露糖探针用于与刀豆蛋白A特异性结合。本发明的生物传感器可以免标记检测ConA,对ConA具有高的特异性,检测灵敏度高,为生物检测的大量、快速、准确重复检测奠定了一定的基础。
-
-