一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产方法

    公开(公告)号:CN102530960A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201110459911.7

    申请日:2011-12-31

    IPC分类号: C01B33/107

    摘要: 本发明公开了一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产方法,将来自多晶硅生产系统的氢气、补充的新鲜氢气、工业硅粉与来自多晶硅生产中的四氯化硅进入反应器I,反应温度500-600℃,反应压力3.5-5.0MPa,气相流速为0.1-2m/s进行反应,生成四氯化硅、三氯氢硅和少量二氯氢硅及氯化氢;分离后将四氯化硅进入反应器I循环反应,氯化氢送去与硅粉在反应器II中在反应温度为100-400℃,反应压力为0.1-0.5MPa条件下反应生成氯硅烷混合物,精馏分别得到四氯化硅、高纯三氯氢硅、二氯氢硅。本发明生成三氯氢硅过程无加入催化剂,保持反应转化率在20-30%之间,减轻了后续分离系统的负担;合理设计氯化氢反应途径减少能量消耗;提高压力增大了设备处理能力,使得整个多晶硅生产系统能够长期连续稳定运行。