观察窗挡板结构和真空镀膜设备

    公开(公告)号:CN218860864U

    公开(公告)日:2023-04-14

    申请号:CN202222920671.2

    申请日:2022-11-03

    Abstract: 本实用新型涉及一种观察窗挡板结构和真空镀膜设备。观察窗挡板结构包括挡板、轴套、连接杆、磁力驱动组件和锁止件;挡板与观察窗相对设置,且位于真空镀膜设备的炉腔内;轴套设于真空镀膜设备上;连接杆的第一端与挡板连接,连接杆的第二端活动插设于轴套;磁力驱动组件与轴套活动连接,用于通过磁力驱动连接杆绕其轴线转动,使得挡板相对于观察窗转动;锁止件用于限制磁力驱动组件相对于轴套的转动。由于观察窗挡板结构采用磁力驱动连接杆转动,磁力驱动组件只需要通过轴套与连接杆间隔连接,就能带动连接杆转动,因此可以保证炉腔内的真空度。同时锁止件能够防止非人为的外力带动挡板转动,进一步保证了挡板遮挡观察窗的有效性。

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