内部气氛含量测试装置及测试方法

    公开(公告)号:CN114324548A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202111657715.0

    申请日:2021-12-30

    IPC分类号: G01N27/62

    摘要: 本发明公开一种内部气氛含量测试装置及测试方法,内部气氛含量测试装置包括真空腔室、质谱仪以及电离源,真空腔室作为气体电离的腔体,气体进样装置向真空腔室的测试腔内输入待检测气体,设于测试腔内的电离源将待检测气体电离形成离子束,离子束在电离源的驱动下进入质谱仪以检测分析气体成分和含量。测试方法是用于该内部气氛含量测试装置的测试方法。使用该内部气氛含量测试装置对小腔体气密封器件的进行部气氛测试,可以在测试腔内营造高真空环境对微量气体进行气体成分及含量的测试,气体在测试腔内直接扩散而不存在流导差异,即不存在传统内部气氛检测仪的毛细管质量歧视效应,提高了对小腔体气密封器件进行内部气氛测试时的测试准确度。

    样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备

    公开(公告)号:CN114034524B

    公开(公告)日:2023-09-01

    申请号:CN202111226491.8

    申请日:2021-10-21

    IPC分类号: G01N1/24 G01N33/00

    摘要: 本发明公开一种样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备。样气采样装置包括上压块和下压块,上压块设有进气通道,下压块设有用于储存样气的样气腔,下压块与上压块连接,进气通道与样气腔连通,样气腔的体积大小可调;或上压块设有用于与下压块可拆卸连接的连接部,当上压块通过连接部与下压块连接时,进气通道与样气腔连通。气密封元器件内部气氛分析设备包括该样气采样装置。使用样气采样装置进行气体采样时,将下压块与上压块连接以使进气通道与样气腔连通,标准样气通过进气通道进入样气腔内部以使样气腔中储存一定体积的标准样气,气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置伸入样气腔,即可获取一定体积的标准样气进行下一步的校准。

    样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备

    公开(公告)号:CN114034524A

    公开(公告)日:2022-02-11

    申请号:CN202111226491.8

    申请日:2021-10-21

    IPC分类号: G01N1/24 G01N33/00

    摘要: 本发明公开一种样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备。样气采样装置包括上压块和下压块,上压块设有进气通道,下压块设有用于储存样气的样气腔,下压块与上压块连接,进气通道与样气腔连通,样气腔的体积大小可调;或上压块设有用于与下压块可拆卸连接的连接部,当上压块通过连接部与下压块连接时,进气通道与样气腔连通。气密封元器件内部气氛分析设备包括该样气采样装置。使用样气采样装置进行气体采样时,将下压块与上压块连接以使进气通道与样气腔连通,标准样气通过进气通道进入样气腔内部以使样气腔中储存一定体积的标准样气,气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置伸入样气腔,即可获取一定体积的标准样气进行下一步的校准。

    微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法

    公开(公告)号:CN113624565A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202110919009.2

    申请日:2021-08-11

    IPC分类号: G01N1/22 G01N27/62

    摘要: 本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法,微量气氛取样检测装置,包括中空的检测腔体以及真空系统,检测腔体与真空系统连通,检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪,测试装置与样品固定装置对应设置,样品固定装置用于固定设置样品,测试装置能够破坏样品的气密封,质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中,相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构,避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响,即使样品内的气氛气体很少,其也能够在检测腔体中充分扩散,使质谱仪能够获取并加以测试分析,本发明的微量气氛取样检测装置具有检测灵敏度高、分析检测限低的特点。

    微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法

    公开(公告)号:CN113624565B

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202110919009.2

    申请日:2021-08-11

    IPC分类号: G01N1/22 G01N27/62

    摘要: 本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法,微量气氛取样检测装置,包括中空的检测腔体以及真空系统,检测腔体与真空系统连通,检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪,测试装置与样品固定装置对应设置,样品固定装置用于固定设置样品,测试装置能够破坏样品的气密封,质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中,相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构,避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响,即使样品内的气氛气体很少,其也能够在检测腔体中充分扩散,使质谱仪能够获取并加以测试分析,本发明的微量气氛取样检测装置具有检测灵敏度高、分析检测限低的特点。

    器件内部气氛取样夹具及含量测试装置

    公开(公告)号:CN115326495A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202210162860.X

    申请日:2022-02-22

    IPC分类号: G01N1/22 G01N33/00

    摘要: 本发明涉及一种器件内部气氛取样夹具及含量测试装置。该器件内部气氛取样夹具,包括:底座和样品台,底座上设有第一凹槽,第一凹槽的底壁设有供穿刺针穿过的第一穿刺孔;样品台放置在第一凹槽中,样品台上远离第一穿刺孔的端面设有第二凹槽,第二凹槽的开口处设有密封盖,密封盖与样品台端面密封抵接,第二凹槽与密封盖围成一个密封容纳腔,密封容纳腔用于放置待测器件,第二凹槽的底壁上与第一穿刺孔对应的位置设有供穿刺针穿过的第二穿刺孔,第二穿刺孔与第一穿刺孔连通,穿刺针能够依次穿过第一穿刺孔和第二穿刺孔插入待测器件中。上述的器件内部气氛取样夹具,不需要拆除样品台和底座更换待测器件,大大提高了批量测试器件内部气氛的效率。

    气氛检测装置的测试装置以及方法

    公开(公告)号:CN111983142A

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN202010735678.X

    申请日:2020-07-28

    IPC分类号: G01N33/00

    摘要: 本申请涉及一种气氛检测装置的测试装置以及方法。气氛检测装置的测试装置包括:腔体模块包括第一腔体;压强检测模块包括第一检测单元,第一检测单元用于测试第一腔体内的压强;真空模块包括第一真空单元,第一真空单元用于对第一腔体内进行抽真空至第一等效测试气压,以得到第一等效测试气体;管道模块包括第一管道单元,第一管道单元包括连接第一腔体的第一管道组件、第二管道组件、第三管道组件以及第四管道组件,第一管道组件用于向第一腔体内输入第一测试气体,第二管道组件连接第一检测单元,第三管道组件连接第一真空单元,第四管道组件用于向气氛检测装置输出第一腔体内的等效气体。本申请可以有效减少对气氛检测装置的测试时间及成本。