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公开(公告)号:CN103309175A
公开(公告)日:2013-09-18
申请号:CN201310227449.7
申请日:2013-06-07
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号: G03F7/20
摘要: 一种光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法,该装置的构成包括平行光光源、光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元,上述部件的位置关系如下:沿平行光光源发射的平行光束的前进方向依次是同光轴的光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元,所述的对准台供待对准的级联微透镜阵列放置,所述的对准台具有垂直于所述的光轴平移的机构。本发明容易实现,不仅可以用于级联微球面透镜的对准,也可以用于级联微柱面透镜的对准。
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公开(公告)号:CN1877307A
公开(公告)日:2006-12-13
申请号:CN200610027354.0
申请日:2006-06-07
摘要: 一种一维多重检测上转换磷光生物传感器,其特征在于由光学系统、光电探测器、数据采集系统、控制及显示系统、驱动模块、步进电机及供放置具有多个检测带的试纸条的扫描平台组成。所述的光学系统包括红外半导体激光器、激发光路、磷光接收光路,所述的磷光接收光路连接所述的光电探测器,所述的光电探测器的输出端接所述的数据采集系统,该数据采集系统具有第一单片机,所述的控制及显示系统具有第二单片机,第一单片机和第二单片机可分别同时工作。本发明具有检测效率高、检测速度快、检测数据可靠、可在野外环境下便携地工作等优点。
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公开(公告)号:CN1766580A
公开(公告)日:2006-05-03
申请号:CN200510030550.9
申请日:2005-10-14
IPC分类号: G01N21/64 , G01N33/558 , G01N15/00
摘要: 一种扫描型上转磷光颗粒分布状态检测仪,构成包括:光电转换与信号处理系统、数据采集与控制系统,磷光激发光路与磷光接收光路,所述的磷光激发光路包括一红外半导体激光器,沿该红外半导体激光器发出的激发光束前进方向上,依次设有球面调整镜、分色镜、聚焦/准直镜和扫描平台,一扫描平台供放置试纸条,该试纸条位于聚焦/准直镜的焦平面上;所述的磷光接收光路由共光轴的所述的聚焦/准直镜和分色镜及依次设置的滤光片、后聚焦镜、共焦狭缝光阑、光电转换器组成;所述的共焦狭缝光阑位于后聚焦镜的后焦面上。本发明具有检测灵敏度高、检测可靠性高、检测空间分辨率高、检测稳定性高和具有杀菌消毒的功能,以保障检测人员的安全。
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公开(公告)号:CN1766579A
公开(公告)日:2006-05-03
申请号:CN200510030549.6
申请日:2005-10-14
IPC分类号: G01N21/64 , G01N33/558 , G01N33/52
摘要: 一种上转换磷光免疫层析试纸条检测系统,其构成包括:照明系统包括一激发光源,在该激发光源的输出光路上依次是光纤束、准直透镜、分色镜、前镜组,直至试纸条,该试纸条位于所述的前镜组的物面上,所述的分色镜的反射面与光轴夹角为45°;成像系统由共光轴的前镜组、分色镜、滤光片和后镜组构成;磷光图像接收器件为CCD,位于后镜组的像面上;所述的CCD的输出端接一数据采集电路,该数据采集电路与一控制系统相连。本发明系统应能对试纸条上被检测区域内UCP颗粒的存在量进行精确检测,提高检测速度,降低功耗,电池长时间供电,便于独立工作。
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公开(公告)号:CN2890899Y
公开(公告)日:2007-04-18
申请号:CN200520045657.6
申请日:2005-10-14
IPC分类号: G01N21/64 , G01N33/558
摘要: 一种上转换磷光免疫层析试纸条检测系统,其构成包括:照明系统包括一激发光源,在该激发光源的输出光路上依次是光纤束、准直透镜、分色镜、前镜组,直至试纸条,该试纸条位于所述的前镜组的物面上,所述的分色镜的反射面与光轴夹角为45°;成像系统由共光轴的前镜组、分色镜、滤光片和后镜组构成;磷光图像接收器件为CCD,位于后镜组的像面上;所述的CCD的输出端接一数据采集电路,该数据采集电路与一控制系统相连。本实用新型系统应能对试纸条上被检测区域内UCP颗粒的存在量进行精确检测,提高检测速度,降低功耗,电池长时间供电,便于独立工作。
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公开(公告)号:CN2869854Y
公开(公告)日:2007-02-14
申请号:CN200520045658.0
申请日:2005-10-14
IPC分类号: G01N21/64 , G01N33/558
摘要: 一种扫描型上转磷光颗粒分布状态检测仪,构成包括:光电转换与信号处理系统、数据采集与控制系统,磷光激发光路与磷光接收光路,所述的磷光激发光路包括一红外半导体激光器,沿该红外半导体激光器发出的激发光束前进方向上,依次设有球面调整镜、分色镜、聚焦/准直镜和扫描平台,一扫描平台供放置试纸条,该试纸条位于聚焦/准直镜的焦平面上;所述的磷光接收光路由共光轴的所述的聚焦/准直镜和分色镜及依次设置的滤光片、后聚焦镜、共焦狭缝光阑、光电转换器组成;所述的共焦狭缝光阑位于后聚焦镜的后焦面上。本实用新型具有检测灵敏度高、检测可靠性高、检测空间分辨率高、检测稳定性高和具有杀菌消毒的功能,以保障检测人员的安全。
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公开(公告)号:CN2906601Y
公开(公告)日:2007-05-30
申请号:CN200620042469.2
申请日:2006-06-07
摘要: 一种一维多重检测上转换磷光生物传感器,其特征在于由光学系统、光电探测器、数据采集系统、控制及显示系统、驱动模块、步进电机及供放置具有多个检测带的试纸条的扫描平台组成。所述的光学系统包括红外半导体激光器、激发光路、磷光接收光路,所述的磷光接收光路连接所述的光电探测器,所述的光电探测器的输出端接所述的数据采集系统,该数据采集系统具有第一单片机,所述的控制及显示系统具有第二单片机,第一单片机和第二单片机可分别同时工作。本实用新型具有检测效率高、检测速度快、检测数据可靠、可在野外环境下便携地工作等优点。
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