一种光刻机照明控制测试系统及方法

    公开(公告)号:CN108279553A

    公开(公告)日:2018-07-13

    申请号:CN201810090765.7

    申请日:2018-01-30

    IPC分类号: G03F7/20

    CPC分类号: G03F7/7085

    摘要: 本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法,控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块;测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理,并将处理结果传输给控制中心模块;根据性能测试与处理结果,生成测试报告,并传输给控制中心模块;对气压信号和互锁信号进行监测,并传输给控制中心模块;接收控制中心模块的指令并执行等步骤。本发明能够快速高效地完成照明系统性能指标测试,并同时自动化给出测试报告,极大提高了集成装调过程的迭代速度。

    上转换磷光生物检测仪及对样品试纸条的检测方法

    公开(公告)号:CN101539572B

    公开(公告)日:2012-11-14

    申请号:CN200910044926.X

    申请日:2009-01-06

    摘要: 一种上转换磷光生物检测仪及对样品试纸条的检测方法,上转换磷光生物检测仪由光学系统、光电探测器、控制系统、驱动模块、步进电机和供放置试纸条的扫描平台组成,所述的控制系统包括微处理器、光电探测器接口、信号采集电路、驱动模块接口、液晶显示模块、矩阵键盘、射频识别模块、数字/模拟转换器、储存器、安全数码卡和微型打印机,所述的试纸条由安装在试纸条外壳内的试纸和射频识别卡构成,所述的试纸含有一个样品垫、一个检测带、一个质控带,所述的射频识别卡中的信息包括试纸ID、检测物、判定值、参数A和参数B。本发明具有设计简单、调试方便的控制系统,能快速、准确地进行生物免疫检测。

    一种光刻机照明控制测试系统及方法

    公开(公告)号:CN108279553B

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201810090765.7

    申请日:2018-01-30

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法,控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块;测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理,并将处理结果传输给控制中心模块;根据性能测试与处理结果,生成测试报告,并传输给控制中心模块;对气压信号和互锁信号进行监测,并传输给控制中心模块;接收控制中心模块的指令并执行等步骤。本发明能够快速高效地完成照明系统性能指标测试,并同时自动化给出测试报告,极大提高了集成装调过程的迭代速度。