公开(公告)号：CN115993695A

公开(公告)日：2023-04-21

申请号：CN202310169949.3

申请日：2023-02-27

Applicant: 之江实验室

Inventor： 陆宏杰 ,  杨青 ,  庞陈雷 ,  王智 ,  卓桐 ,  王兴锋 ,  牛春阳 ,  殷源 ,  刘旭

IPC: G02B7/28

Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦的原位自动对焦装置及方法。通过采用光谱共焦传感器同轴安装的形式实现了绝对离焦位移量的测量，提高了自动对焦系统的闭环控制响应；通过运动台光栅尺位移量信号匹配离焦量测量的光谱共焦探头和现有光路系统信号转换模块的触发工作时间，可以避免对焦系统对现有光路系统的光谱干扰；通过设置离焦测量点相对于成像或加工位置形成一定的超前偏移量，可以确保自动对焦装置始终对当前工作位置实现动态对焦，避免产生对焦位置的滞后。

公开(公告)号：CN112710611A

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN202110026818.0

申请日：2021-01-09

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 王智 ,  杨青 ,  庞陈雷 ,  徐良 ,  殷源 ,  王立强

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95

Abstract: 本发明公开了一种环形光纤束照明装置，包括会聚透镜、一分多束的光纤束、安装支架和光学元件，一分多束的光纤束中的各根光纤的弯折半径大于100毫米，安装支架设有光路通道，光学元件安装于光路通道中，光源经会聚透镜会聚后耦合到一分多束的光纤束的母光纤束中，一分多束的光纤束的各子光纤束分别以垂直于物面的方向插入到光路通道中且各子光纤束呈环形分布，一分多束的光纤束的子光纤束发出的光束以垂直于物面的角度出射且经对应的光学元件准直并转折后以环形照明光倾斜照射到物面上。本发明在使用石英光纤等弯折半径较大的光纤作传导介质且一分多束的光纤束的子光纤束数量较多时仍具有紧凑而小型的结构，可实现对半导体晶圆的亚表面缺陷的检测。