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公开(公告)号：CN116342589B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310582526.4
申请日：2023-05-23
申请人： 之江实验室
摘要： 本发明公开了一种跨视场划痕缺陷连续性检测方法和系统。包括：1）检测获得单视场划痕缺陷的坐标信息；2）根据划痕缺陷坐标进行工件整体划痕分布图的绘制；3）确定缺陷分布图坐标及保存图像像素映射关系；4）再通过图像预处理、骨架提取、连通域计算、拟合度计算以及坐标像素映射等步骤获得跨视场划痕的统计信息。本发明实现了对工件表面跨视场划痕缺陷的连续性检测效果，相比于现有的划痕缺陷检测算法，能够在较小的物方视场尺寸即较高的物方检测分辨率时保证划痕缺陷检测的完整性，同时不需要将跨视场划痕缺陷图像进行拼接后再进行特征的提取，大大降低了对算力的要求。
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公开(公告)号：CN116579102A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310520845.2
申请日：2023-05-09
申请人： 之江实验室
IPC分类号： G06F30/17 , G06F30/20 , G06F119/14 , G06F111/04
摘要： 本发明公开了一种基于半定规划的金属结构箱型梁的轻量化设计方法，包括：确定金属结构箱型梁的尺寸序列，以及纵向加强筋布设的位置和数量，得到所有可能的截面，进行稳定性判定，得到可行截面集合；计算可行截面集合中每个截面的面积和强轴惯性矩，得到“面积‑惯性矩”平面中的点集；定义点集的凸包，得到凸多边形顶点的组合系数；以箱型梁截面面积最小为优化目标，考虑箱型梁的柔度约束和力平衡约束，以凸多边形顶点的组合系数为变量，构建松弛优化问题的非凸模型；将松弛优化问题的非凸模型等效转化为半定规划问题，求解得到全局最优解；对全局最优解进行邻域搜索，得到离散可行解，即金属结构箱型梁的截面设计方案。
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公开(公告)号：CN115774326A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211495257.X
申请日：2022-11-26
摘要： 本发明涉及一种成像系统，具体涉及一种筒镜系统的共焦补偿组件及其使用方法，所述的筒镜系统包括照明装置、样品、物镜、反射镜、筒镜和成像接收器；所述的照明装置朝向样品设置，样品在吸收照明装置发出的激光能量后，发出具有特征波长的光束；所述的物镜、反射镜、筒镜和成像接收器依次设置于样品发出的光束的光路上；所述的反射镜与筒镜之间的光路上还设有带通滤光片；所述的共焦补偿组件为设置于筒镜与成像接收器之间的用于调节成像点位置的调焦设备。与现有技术相比，本发明解决现有技术中双胶合透镜与三胶合透镜难以同时对紫外、可见光、近红外的成像谱段进行消色差和复消色差，实现了对宽波段的激发光进行共焦成像补偿。
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公开(公告)号：CN114371148B
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210057225.5
申请日：2022-01-19
申请人： 之江实验室
摘要： 本发明公开了一种基于零椭偏暗场照明的散射干涉成像系统及方法，包括照明光路，探测光路和参考光路，所述照明光路的入射端设置有被检测样品，所述探测光路的发射端设置有被检测样品，所述参考光路的入射端设置有所述探测光路；所述照明光路和所述探测光路的连接处设置有零椭偏模块，所述零椭偏模块的一端与照明光路连接，所述零椭偏模块的另一端与探测光路连接。本发明通过照明光路与探测光路的非共路设计，实现对背景杂散光的有效抑制，降低检测系统对探测物镜数值孔径的依赖；同时，结合干涉探测的优势，实现对被检测样品表面小尺寸特征的宽视场高灵敏检测能力。
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公开(公告)号：CN115375590B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211326022.8
申请日：2022-10-27
申请人： 之江实验室
摘要： 本发明公开了一种亮度非均匀性在线补偿的图像处理方法。本发明结合机器视觉缺陷检测场景的特征，通过序列图像提取邻近区域内非均匀性光照在工件表面非缺陷区域上的成像亮度信息，参考光响应非均匀性的校正步骤，设定均匀光照亮度期望值，获得该区域内非均匀亮度的补偿增益参数，实现亮度非均匀性的在线补偿。本发明避免了亮度非均匀性离线补偿方法使用单一视场区域计算补偿增益导致的工件表面其他区域出现过补偿或欠补偿的情况，并避免了FFT滤波等在线图像处理算法导致的图像细节特征失真和无法适应工件边缘图像等问题。
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公开(公告)号：CN115993695A
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202310169949.3
申请日：2023-02-27
申请人： 之江实验室
IPC分类号： G02B7/28
摘要： 本发明公开了一种基于光谱共焦的原位自动对焦装置及方法。通过采用光谱共焦传感器同轴安装的形式实现了绝对离焦位移量的测量，提高了自动对焦系统的闭环控制响应；通过运动台光栅尺位移量信号匹配离焦量测量的光谱共焦探头和现有光路系统信号转换模块的触发工作时间，可以避免对焦系统对现有光路系统的光谱干扰；通过设置离焦测量点相对于成像或加工位置形成一定的超前偏移量，可以确保自动对焦装置始终对当前工作位置实现动态对焦，避免产生对焦位置的滞后。
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公开(公告)号：CN115511749A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211263100.4
申请日：2022-10-14
申请人： 之江实验室
摘要： 本发明公开了一种基于相位信息的差分干涉对比图像去噪方法及装置，针对差分干涉对比图像中的噪声和边界干扰等问题导致的背景亮度值不均匀现象，对傅里叶变换后的图像中的相位信息进行恢复，并对像素值进行非线性映射。本发明实现了图像背景区域的去噪效果，缩小了背景像素值的变化范围，减小后续积分操作中的累积噪声，且不影响目标区域的梯度分布。
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公开(公告)号：CN114975213B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210883762.5
申请日：2022-07-26
申请人： 之江实验室
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 本发明公开了一种晶圆对准装置及对准方法。包括光源、成像相机、光路系统、图像处理器、晶圆载物台和二维运动平台；照明光源、成像相机、光路系统、图像处理器安装位置固定，待对准的晶圆置于晶圆载物台上，二维运动平台上安装有晶圆载物台，可实现晶圆的二维移动；通过相机对晶圆载物台上的晶圆实现宽视场快速成像，识别晶圆轮廓并拟合，得到高精度的晶圆定位信息，宽视场成像同时避免了晶圆摆放偏移量过大导致无法对准的问题。本发明的晶圆对准装置和对准方法，没有采用晶圆预对准器和二次对准即可实现高精度的晶圆定位，晶圆通过机械手直接从料盒中运送到载物台上，减少了预对准器的工作站点，能够同时提高晶圆对准的效率。
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公开(公告)号：CN117289422A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311004244.2
申请日：2023-08-10
申请人： 之江实验室
IPC分类号： G02B7/04 , G02B27/62 , G02B7/02 , G02B26/00 , G03F7/20 , G03F9/00 , G01B11/24 , G01B11/06 , G01B11/03
摘要： 本发明公开了一种基于面型干涉的高度对焦装置及方法。包括二维运动平台、面型干涉模块、现有光路系统和工件，二维运动平台上方分别安装有现有光路系统和面型干涉模块；本发明通过采用离轴干涉测量的方法，能够实现对大尺寸工件全尺寸高度面型快速重构，并通过工件绝对坐标转换实现对应工件位置的高度映射，从而在现有光路系统工作过程中驱动高度执行机构进行高度对焦动作。本发明减少了晶圆对准的时间，提高了检测节拍；避免了在现有光路系统引入对焦模块对光学设计提出的难度、机械干涉和光学干扰等问题。
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公开(公告)号：CN117192769A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311004237.2
申请日：2023-08-10
申请人： 之江实验室
摘要： 本发明公开了一种宽谱极紫外聚焦光路系统设计方法。通过提出级联式圆柱面反射镜组的聚焦光路系统，能够在降低加工成本的基础上，在高聚焦能力的配置下，对像差进行补偿，从而获得高成像质量的效果；解决了传统掠入射反射聚焦光路系统中遇到的加工成本、成像质量、聚焦能力三者难以平衡的问题。本发明提出的设计在极紫外研究领域，特别是工业应用领域具有较好的现实应用意义。
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