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公开(公告)号:CN106976316B
公开(公告)日:2019-11-22
申请号:CN201710027199.0
申请日:2017-01-16
申请人: 佳能株式会社
IPC分类号: B41J2/16
摘要: 一种制造液体喷射头的方法,液体喷射头具有喷射口形成区域,喷射口形成区域包括:液体喷射能量生成元件,其连同用于驱动液体喷射能量生成元件的电配线一起设置在基板第一表面上;多个液体供给口,各自贯穿基板且具有在第一表面处的开口;形成在第一表面上的液体路径,作为容纳液体喷射能量生成元件和液体供给口的空间;和喷射口,用于通过驱动液体喷射能量生成元件从液体路径喷射液体,方法包括:用第一干膜光阻在基板第一表面形成液体路径形成部件;在液体路径形成部件上形成喷射口形成部件;在液体路径形成部件中形成液体路径;在喷射口形成部件中形成喷射口;基板具有在喷射口形成区域外的多个假孔,每个假孔具有在基板第一表面处的开口。
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公开(公告)号:CN106976316A
公开(公告)日:2017-07-25
申请号:CN201710027199.0
申请日:2017-01-16
申请人: 佳能株式会社
IPC分类号: B41J2/16
摘要: 一种制造液体喷射头的方法,液体喷射头具有喷射口形成区域,喷射口形成区域包括:液体喷射能量生成元件,其连同用于驱动液体喷射能量生成元件的电配线一起设置在基板第一表面上;多个液体供给口,各自贯穿基板且具有在第一表面处的开口;形成在第一表面上的液体路径,作为容纳液体喷射能量生成元件和液体供给口的空间;和喷射口,用于通过驱动液体喷射能量生成元件从液体路径喷射液体,方法包括:用第一干膜光阻在基板第一表面形成液体路径形成部件;在液体路径形成部件上形成喷射口形成部件;在液体路径形成部件中形成液体路径;在喷射口形成部件中形成喷射口;基板具有在喷射口形成区域外的多个假孔,每个假孔具有在基板第一表面处的开口。
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公开(公告)号:CN104669795A
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:CN201410697215.3
申请日:2014-11-26
申请人: 佳能株式会社
IPC分类号: B41J2/16
CPC分类号: B41J2/1623 , B41J2/14145 , B41J2/1603 , B41J2/1626 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645
摘要: 一种液体排出头的制造方法,其包括:转印工序,其中,将由支撑构件支撑的干膜转印到具有孔的基板;和剥离工序,其中,将所述支撑构件从所述基板上的所述干膜剥离。在所述剥离工序中,所述干膜与限定所述基板中的所述孔的壁面接触。
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公开(公告)号:CN101992598B
公开(公告)日:2014-05-07
申请号:CN201010260865.3
申请日:2010-08-20
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: B41J2/1603 , B41J2/1623 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , H01L23/544 , H01L2223/54406 , H01L2223/54433 , H01L2223/54473 , H01L2924/0002 , Y10T29/49401 , H01L2924/00
摘要: 本发明涉及一种液体排出头以及用于制造液体排出头的方法,所述液体排出头包括基板和流动路径壁构件,所述流动路径壁构件设置在该基板上并且具有与用于排出液体的排出口连通的流动路径的壁,其中,所述流动路径壁构件设有不与所述流动路径连通的腔体,当沿着从所述排出口朝向所述基板的方向观察时,所述腔体具有字符的形状,并且所述字符与关于所述液体排出头的信息相对应。
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公开(公告)号:CN103171288A
公开(公告)日:2013-06-26
申请号:CN201210576369.8
申请日:2012-12-26
申请人: 佳能株式会社
IPC分类号: B41J2/16
CPC分类号: B44C1/227 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1643 , Y10T29/49401
摘要: 本发明提供一种用于喷墨头基板的处理方法,包括:在基板上形成阻挡层并且在阻挡层上形成种子层;在种子层上形成抗蚀膜并且对抗蚀膜进行图案化以使得图案化后的抗蚀膜与用于将喷墨头电连接到喷墨头外部的盘部相对应;在图案化后的抗蚀膜的开口中形成盘部;去除抗蚀膜;对基板进行各向异性蚀刻以形成供墨口;去除阻挡层和种子层;以及从基板的表面进行激光处理。
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公开(公告)号:CN103085480A
公开(公告)日:2013-05-08
申请号:CN201210419847.4
申请日:2012-10-29
申请人: 佳能株式会社
IPC分类号: B41J2/16
CPC分类号: B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11
摘要: 本发明提供一种液体喷出头的制造方法,该方法包括:(1)在基板上形成液体流路的模型图案以及围绕模型图案的基部图案,(2)布置覆盖层以覆盖模型图案和基部图案,(3)在覆盖层中至少形成喷出孔,以形成孔板,以及(4)移除模型图案以及基部图案,其中,以如下的形状形成基部图案:孔板形成为具有:侧壁部,其构成液体流路的侧壁;以及多个支撑结构,其布置在基板上的位于侧壁部的周边区域的位置并且支撑构成孔板的上壁的上表面部。
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公开(公告)号:CN1977219B
公开(公告)日:2011-12-28
申请号:CN200580021473.9
申请日:2005-06-27
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: B41J2/1603 , B41J2/1404 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11 , G03F7/095 , Y10T29/49401
摘要: 一种用于制造微细结构的方法,包括:形成要由第一波长范围的致电离辐射曝光的第一致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤;在第一正性光敏材料层上形成要由第二波长范围的致电离辐射曝光的第二致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤;通过在作为上层的上述第二正性光敏材料层中进行分解反应而不在上述第一正性光敏材料层中进行分解反应,并用显影液进行显影,从而在所述第二正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤;以及,通过在预定区域中进行分解反应并进行显影,在作为下层的所述第一正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤。从而,在所述衬底中制造出凸形图案。
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公开(公告)号:CN104669795B
公开(公告)日:2017-04-05
申请号:CN201410697215.3
申请日:2014-11-26
申请人: 佳能株式会社
IPC分类号: B41J2/16
CPC分类号: B41J2/1623 , B41J2/14145 , B41J2/1603 , B41J2/1626 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645
摘要: 一种液体排出头的制造方法,其包括:转印工序,其中,将由支撑构件支撑的干膜转印到具有孔的基板;和剥离工序,其中,将所述支撑构件从所述基板上的所述干膜剥离。在所述剥离工序中,所述干膜与限定所述基板中的所述孔的壁面接触。
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公开(公告)号:CN102896899B
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:CN201210259703.7
申请日:2012-07-25
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: B41J2/1603 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1639 , B41J2/1645
摘要: 本发明涉及液体排出头及其制造方法。一种液体排出头,其包括用于排出液体的液体排出口和具有与所述液体排出口相连通的液体流路的喷嘴层,其中所述喷嘴层具有两层,所述两层中为在所述液体流路侧的层的第一层具有用酸成膜的树脂,并且与作为另一层的第二层相比具有较小的水的静态接触角。
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