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公开(公告)号：CN1920096A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200610125621.8
申请日：2006-08-24
Applicant: 兄弟工业株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: C23C24/04
CPC classification number: B05B7/1486 , B05B7/0012 , B05B7/025 , B05B7/1404 , B05B7/1472 , C23C4/00 , C23C4/02 , C23C4/04 , C23C4/073 , C23C4/18 , C23C30/00
Abstract: 本发明的成膜装置包括：气溶胶产生部，将材料颗粒分散在载气中以产生气溶胶；喷嘴，内部设有供所述气溶胶流过的内部通路，该内部通路的一端构成用于接受所述气溶胶从所述气溶胶产生部的供给的供给口，另一端构成用于向被处理材料喷出所述气溶胶的喷出口；窄路，设在所述内部通路中且流路面积比其上游侧的流路面积窄；和冲撞部，设在所述窄路的下游侧且受到通过所述窄路的所述气溶胶流的冲撞，因此，凝集颗粒被粉碎，以微粒化的状态从喷嘴供给，可在被处理材料上形成薄的均匀的膜。
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公开(公告)号：CN1919607A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200610125618.6
申请日：2006-08-24
Applicant: 兄弟工业株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: B41J2/16
CPC classification number: C23C24/04 , B41J2/161 , B41J2/164 , C04B35/111 , C04B35/491 , C04B35/6262 , C04B35/62645 , C04B2235/3203 , C04B2235/3217 , C04B2235/3249 , C04B2235/3409 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/656 , C04B2235/6567 , H01L41/1876 , H01L41/314 , H01L41/43
Abstract: 本发明提供一种膜的制造方法，具有：加热处理工序，对陶瓷粒子进行加热处理；膜形成工序，在基板上喷涂含有上述加热处理工序后的上述陶瓷粒子的气溶胶，使该陶瓷粉末附着，从而形成膜；和退火处理工序，对上述膜进行退火处理，所以可预先使在退火处理工序中作为气化原因的水分或添加物气化而去除，从而能够避免退火处理工序中的膜的缺陷、破坏，而能够提供一种具有良好的压电特性的喷墨头用的压电致动器板。
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公开(公告)号：CN101045382B
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：CN200710088142.8
申请日：2007-03-20
Applicant: 兄弟工业株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1646 , B41J2002/14459 , C23C4/123 , C23C24/04 , H01L41/1876 , H01L41/314
Abstract: 移动成膜喷嘴，以使其上通过相对于振动板移动成膜喷嘴形成有压电材料层的多个区域的边界部分位于振动板的可变形部分外部并且与限制部分相重叠。这减少了对应于这些淀积区域的边界部分的一部分压电材料层上的应力集中，因此防止了压电材料层的损坏。
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公开(公告)号：CN101045382A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200710088142.8
申请日：2007-03-20
Applicant: 兄弟工业株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1646 , B41J2002/14459 , C23C4/123 , C23C24/04 , H01L41/1876 , H01L41/314
Abstract: 移动成膜喷嘴，以使其上通过相对于振动板移动成膜喷嘴形成有压电材料层的多个区域的边界部分位于振动板的可变形部分外部并且与限制部分相重叠。这减少了对应于这些淀积区域的边界部分的一部分压电材料层上的应力集中，因此防止了压电材料层的损坏。
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公开(公告)号：CN100457971C
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200510083164.6
申请日：2005-07-13
Applicant: 兄弟工业株式会社
Inventor： 安井基博
CPC classification number: H01L41/314 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明的压电膜形成方法，具有第一移动工序、计测工序、计算工序、移位工序和第二移动工序。第一移动工序，通过沿着第一方向相对移动吹出混合物的喷嘴和基板，形成一定宽度的沿着第一方向延伸的第一压电带。计测工序计测第一压电带的宽度方向的厚度分布。计算工序，根据由计测工序所计测的厚度分布，来计算移位距离。移位工序，沿着第二方向将喷嘴和基板相对移动计算的移位距离。第二移动工序，通过沿着第一方向相对移动吹出混合物的喷嘴和基板，形成一定宽度的沿着第一方向延伸的第二压电带。利用该方法，形成第一压电带的宽度方向的端部与第二压电带的宽度方向的端部重合、连续的压电膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1721184A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200510083165.0
申请日：2005-07-13
Applicant: 兄弟工业株式会社
Inventor： 安井基博
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , B41J2002/14266 , H01L41/0478 , H01L41/0973 , H01L41/29 , H01L41/314
Abstract: 本发明提供一种制造工序简单，并可降低成本，同时实现动作的稳定化的压电致动器和喷墨头以及其制造方法。在金属板(2)和压电层(4)之间设置有兼扩散防止层的内侧电极(3)。采用这种结构，因为可以在一个工序中形成电极兼扩散防止层的层，因此制造工序简单，可以降低制造成本。此外，若形成电极和扩散防止层为二个层的结构，则这些层的物理特性对金属板的弯曲特性存在较大影响。由于只使用电极兼扩散防止层的一个层，所以能够使压电致动器的动作稳定。
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公开(公告)号：CN101041292B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200710088143.2
申请日：2007-03-20
Applicant: 兄弟工业株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1646 , B41J2002/14266 , B41J2002/14419 , B41J2002/14459 , H01L41/0973 , H01L41/314
Abstract: 在生产用于喷墨头的压电促动器的方法中，在薄膜层中所包括的压电材料层是通过在与喷墨头的扫描方向相垂直的方向上相对于振动板移动成膜喷嘴的同时从成膜喷嘴向振动板喷射包含有压电材料颗粒和载气的气溶胶的AD方法在振动板上形成的。因此，即使当在通过AD方法所形成的薄膜层中发生厚度分布时，也可以尽可能地抑制因厚度分布引起的任何打印质量退化。
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公开(公告)号：CN100402293C
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200510083165.0
申请日：2005-07-13
Applicant: 兄弟工业株式会社
Inventor： 安井基博
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , B41J2002/14266 , H01L41/0478 , H01L41/0973 , H01L41/29 , H01L41/314
Abstract: 本发明提供一种制造工序简单，并可降低成本，同时实现动作的稳定化的压电致动器和喷墨头以及其制造方法。在金属板(2)和压电层(4)之间设置有兼扩散防止层的内侧电极(3)。采用这种结构，因为可以在一个工序中形成电极兼扩散防止层的层，因此制造工序简单，可以降低制造成本。此外，若形成电极和扩散防止层为二个层的结构，则这些层的物理特性对金属板的弯曲特性存在较大影响。由于只使用电极兼扩散防止层的一个层，所以能够使压电致动器的动作稳定。
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公开(公告)号：CN101041292A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710088143.2
申请日：2007-03-20
Applicant: 兄弟工业株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1646 , B41J2002/14266 , B41J2002/14419 , B41J2002/14459 , H01L41/0973 , H01L41/314
Abstract: 在生产用于喷墨头的压电促动器的方法中，在薄膜层中所包括的压电材料层是通过在与喷墨头的扫描方向相垂直的方向上相对于振动板移动成膜喷嘴的同时从成膜喷嘴向振动板喷射包含有压电材料颗粒和载气的气胶的AD方法在振动板上形成的。因此，即使当在通过AD方法所形成的薄膜层中发生厚度分布时，也可以尽可能地抑制因厚度分布引起的任何打印质量退化。
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公开(公告)号：CN1721573A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200510083164.6
申请日：2005-07-13
Applicant: 兄弟工业株式会社
Inventor： 安井基博
CPC classification number: H01L41/314 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明的压电膜形成方法，具有第一移动工序、计测工序、计算工序、移位工序和第二移动工序。第一移动工序，通过沿着第一方向相对移动吹出混合物的喷嘴和基板，形成一定宽度的沿着第一方向延伸的第一压电带。计测工序计测第一压电带的宽度方向的厚度分布。计算工序，根据由计测工序所计测的厚度分布，来计算移位距离。移位工序，沿着第二方向将喷嘴和基板相对移动计算的移位距离。第二移动工序，通过沿着第一方向相对移动吹出混合物的喷嘴和基板，形成一定宽度的沿着第一方向延伸的第二压电带。利用该方法，形成第一压电带的宽度方向的端部与第二压电带的宽度方向的端部重合、连续的压电膜。
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