液体雾化装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104023853A

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:CN201280065761.4

    申请日:2012-10-19

    IPC分类号: B05B1/26 B05B7/08

    摘要: 本发明的液体雾化装置具有:用于使2个气体流彼此碰撞的第一气体喷射部(1)及第二气体喷射部(2);用于使液体流出的液体流出部(6);气液混合区域部(120),该气液混合区域部是使从所述第一气体喷射部(1)喷射的气体流、从所述第二气体喷射部(2)喷射的气体流、以及从所述液体流出部(6)流出的液体碰撞而使该液体雾化的区域;沿所述第一气体喷射部(1)及所述第二气体喷射部(2)向装置外侧呈截面凸状突出地形成,且在内部形成有所述气液混合区域部的突出部(851);在所述突出部(851)沿着在所述气液混合区域部(120)生成的雾的广角喷雾方向形成的喷出用缝隙部(851a);和在所述喷出用缝隙部(851a)的底部附近,沿雾的广角喷雾方向形成的限制部(852a、852b)。

    成膜装置及成膜方法
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1920095B

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:CN200610125622.2

    申请日:2006-08-24

    IPC分类号: C23C24/00 B41J2/16

    CPC分类号: B05D1/02 B05B7/0012 B05B12/36

    摘要: 本发明的成膜装置包括:成膜室,用于进行成膜;排气装置,与所述成膜室连接并将该成膜室内的气体排到外部;支架,设在所述成膜室内并保持被处理材料;喷嘴,设在所述成膜室内,具有形成狭缝状的喷出口,并且从所述喷出口向所述被处理材料喷射包含材料颗粒的气溶胶,从而在所述被处理材料上形成由所述材料颗粒构成的膜;和遮蔽部件,设在所述喷出口的长度方向的侧方并覆盖从该喷出口向所述被处理材料喷射的所述气溶胶的喷射流的侧方,因此,可抑制排气流引起的气溶胶流的紊乱,可均匀地形成膜。

    微粒子沉积装置、微粒子沉积方法及发光元件的制造方法

    公开(公告)号:CN101069275A

    公开(公告)日:2007-11-07

    申请号:CN200580041287.1

    申请日:2005-10-21

    申请人: HOYA株式会社

    发明人: 小林哲 谷由纪

    摘要: 本发明公开了一种微粒子沉积装置及微粒子沉积方法。目的是提供一种无杂质混入(均质)地仅沉积所希望尺寸的微粒子的微粒子沉积物。微粒子在溶剂中分散形成的溶液以微细液滴流从毛细管前端喷出,且使被喷出的微细液滴带电。该液滴流通过喷嘴导入减压室内成为自由喷流。将在减压室内行进的自由喷流,通过设置在维持高真空的成膜室的分离器喷嘴导入到内部成为带电微粒子流。接着,通过能量分离装置,仅选择带电微粒子流中的微粒子里具有特定能量的微粒子,并沉积到设置在内部的被沉积体上。