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公开(公告)号：CN101702886B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN200880011551.0
申请日：2008-03-19
申请人： 分子制模股份有限公司
IPC分类号： B05D1/00
CPC分类号： C08L59/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G11B5/855 , Y10T428/31663 , Y10T428/31678 , Y10T428/31692
摘要： 本发明为压印光刻法提供施加粘着底漆层的方法，该方法包括在一种涂布法中使流体与基片表面接触和引发在该流体中的组分与基片的表面之间形成共价键的化学反应以便使粘着底漆层附着于基片的表面。聚合层可以附着于被粘着底漆层覆盖的基片的表面。该方法可为包括有图案的磁介质的双面压印应用涂布粘着底漆层。
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公开(公告)号：CN102203671A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200980142645.6
申请日：2009-10-26
申请人： 分子制模股份有限公司
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： B29C37/0003 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要： 描述了压印光刻工艺的分离工艺中改善强健的层分离的系统和方法。包括方法：使拟压印的衬底和模板之间的应变匹配；改变或修正在分离过程中作用于模板和/或衬底的力，或改变或修正分离工艺的动力学特性。
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公开(公告)号：CN101903159A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200880122159.3
申请日：2008-12-18
申请人： 分子制模股份有限公司
IPC分类号： B29C59/00
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00
摘要： 处理模板以提供表面活性剂富集区和表面活性剂损耗区。表面活性剂富集区处的接触角可以大于、小于或基本上类似于表面活性剂损耗区内的接触角。
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公开(公告)号：CN101022894A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200580031403.1
申请日：2005-09-13
申请人： 分子制模股份有限公司
IPC分类号： B05D3/02
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 本发明包括一种在基片上使可聚合液体固化来形成膜的方法，该方法的特征是将所述可聚合液体周围的大气中所含的氧气对聚合过程的抑制作用减至最小。为此，所述可聚合的液体中除了其它组分以外，还包含引发剂，所述引发剂能够消耗掉与可聚合液体相互反应的氧气，并产生另外的自由基，以促进聚合过程。
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公开(公告)号：CN104221127B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201280062807.7
申请日：2012-12-19
申请人： 佳能纳米技术公司 , 分子制模股份有限公司
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： B29D11/0074 , B29C33/3842 , B29C43/003 , B29C43/021 , B29C59/022 , B29C2033/426 , B29C2043/025 , B29C2059/023 , B29D11/00 , B29D11/00769 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/0017 , Y10S977/887 , Y10S977/888
摘要： 描述了形成可用于图案化包括例如线栅偏振器(WGP)的大面积光学装置的大面积模板的方法。这些方法提供这种大面积装置的无缝图案化。
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公开(公告)号：CN101868760B
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN200880117465.8
申请日：2008-11-21
申请人： 分子制模股份有限公司
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , Y10T428/249978
摘要： 一种刻印光刻模板或刻印层叠物包含多孔材料，所述多孔材料限定出大量平均孔径至少约为0.4纳米的孔。所述多孔材料的孔隙率至少约为10％。所述多孔模板、所述多孔刻印层叠物、或者两者可以用于刻印光刻工艺，以促进夹在模板和刻印层叠物之间的气体扩散到模板、刻印层叠物、或者两者中，使得所述刻印层叠物和模板之间的可聚合材料在所述刻印层叠物和模板之间迅速地形成基本连续层。
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公开(公告)号：CN101932754A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200980104462.5
申请日：2009-02-05
申请人： 分子制模股份有限公司
IPC分类号： C23F1/12
CPC分类号： B01D19/0005 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要： 本发明涉及一种通过减少存在于设置在基片上的粘性液体层的气泡，减少在印刻层中的图象失真。为此，该方法包括改变靠近粘性液体的气体的输送。具体地说，使靠近将记录图案的基片的气氛被相对于粘性液体、基片、模板或它们的组合是高溶解度或高扩散度或既是高溶解度又是高扩散度的气体充满。此外，或取代使气氛被一定气体充满，可以减小气氛的压力。
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公开(公告)号：CN101868760A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN200880117465.8
申请日：2008-11-21
申请人： 分子制模股份有限公司
IPC分类号： G03C5/00
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , Y10T428/249978
摘要： 一种刻印光刻模板或刻印层叠物包含多孔材料，所述多孔材料限定出大量平均孔径至少约为0.4纳米的孔。所述多孔材料的孔隙率至少约为10％。所述多孔模板、所述多孔刻印层叠物、或者两者可以用于刻印光刻工艺，以促进夹在模板和刻印层叠物之间的气体扩散到模板、刻印层叠物、或者两者中，使得所述刻印层叠物和模板之间的可聚合材料在所述刻印层叠物和模板之间迅速地形成基本连续层。
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公开(公告)号：CN101060995B
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200580039772.5
申请日：2005-11-14
申请人： 分子制模股份有限公司
IPC分类号： B41N3/00 , B05D5/08 , B05D3/06 , B41F19/00 , B41D5/00 , C09D183/04 , C09D133/12 , B41F17/00 , B41K3/02
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 本发明揭示了一种方法和组合物，其特征在于能够改进湿润特性，同时具有对于基板和模具进行选择性粘合和脱模的特性，在所述基板与模具之间具有压印材料。该方法包括用一定体积的含表面活性剂的溶液涂覆模具表面。溶液中的表面活性剂包含基本上由许多含氟分子组成的疏水性组分。所述组合物的特征是能够改进对基板和模具的选择性粘合和脱模的特性，在基板与模具之间具有压印材料。所述组合物可帮助压印材料分成两部分，一部分是富含表面活性剂组分的子部分，另一部分是位于所述富含表面活性剂组分的子部分与所述基板之间的缺少表面活性剂组分的子部分。还揭示了利用了所述组合物特性的方法。
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