制造平板显示器的方法和设备

    公开(公告)号:CN100401150C

    公开(公告)日:2008-07-09

    申请号:CN200510079573.9

    申请日:2005-06-20

    发明人: 金珍郁

    IPC分类号: G02F1/1333 G03F7/20 H05B33/10

    摘要: 一种制造平板显示器的方法,包括:将抗蚀剂分布在形成在基板上的薄膜上,通过照射第一光线改变该抗蚀剂的极性;在抗蚀剂的上表面一侧相距基板指定距离处提供具有突出表面和沟槽的软模,该软模被表面处理为与抗蚀剂相同的极性;进行软模和基板的第一和第二次对准;通过用第一光线照射改变抗蚀剂的极性,使得抗蚀剂移入软模的沟槽;通过将第二光线照射到沟槽中的抗蚀剂在薄膜上形成抗蚀剂图案;将软模从抗蚀剂图案分离;以及通过刻蚀薄膜的一部分和抗蚀剂图案形成薄膜图案。

    热压印方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1778568A

    公开(公告)日:2006-05-31

    申请号:CN200410052383.3

    申请日:2004-11-19

    发明人: 余泰成

    IPC分类号: B41M5/26 B41M5/00 B41M1/26

    摘要: 本发明涉及一种热压印方法,尤其是在高分子材料上形成微纳米图案结构的热压印方法。该热压印方法包括提供一基底和一具有预定图案的压模;将压模与基底在真空腔室内对准;通入小分子物质蒸汽;加热压模与基底至基底的玻璃化温度之上,并施压;之后,将压模与基底冷却,最后将压模与基底分离,从而完成压印工艺。本发明通过通入小分子物质蒸汽以降低压模与基底界面间的吸附能,实现微纳米图形结构的精确转移,操作简单、成本低廉;从而克服了现有技术中操作较复杂、成本较高的不足。

    微铸碳化硅纳米压印模
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1499289A

    公开(公告)日:2004-05-26

    申请号:CN03133077.0

    申请日:2003-07-24

    发明人: H·李 G·-Y·容

    IPC分类号: G03F7/00 H01L21/027

    摘要: 本发明公开了一种微铸碳化硅纳米压印模(10)及制造一种这种微铸碳化硅纳米压印模的方法。采用一种微铸技术来形成一基础层(11)和一些与基础层(11)相连的纳米尺寸特征(12)。该基础层(11)和纳米尺寸特征(12)是一个整体,而且全部用包含碳化硅(SiC)的材料制成,碳化硅比单独的硅硬度要大。结果微铸碳化硅纳米压印模(10)具有较长的使用寿命,因为它能承受几个压印循环而不磨损或损坏。使用寿命较长使得微铸碳化硅纳米压印模(10)在制造上较经济,因其制造成本在使用期内就能回收。