公开(公告)号：CN201350628Y

公开(公告)日：2009-11-25

申请号：CN200820234111.9

申请日：2008-12-31

申请人： 北京七星华创电子股份有限公司

发明人： 董金卫 ,  曾艳丽 ,  张芳 ,  赛义德·赛迪

IPC分类号： B25J3/00 ,  B25J15/00 ,  B25J18/00 ,  B25J13/00 ,  B25J19/02

摘要： 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉硅片传送机械手系统，设有升降装置、取片叉，其特征在于：所述升降装置由丝杠、伺服电机和排气净化装置组成，所述取片叉设有单片叉和5片叉，分别设置在两个机械手臂上，机械手臂与一个多轴机械臂连接，机械臂设置在底座上，该底座固定在所述升降装置的升降臂上；在机械手臂、机械臂上设有伺服电机及其控制部件，机械手臂、机械臂和升降装置的伺服电机的控制部件与PLC控制器控制连接。在5片叉上设有片叉间距调节部件。在单片叉上还设有FOUP中硅片状态检测传感器。本实用新型适用于立式氧化炉的硅片传送，自动化程度高，控制灵活，适用性广，效率高。

公开(公告)号：CN203672136U

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201320719071.8

申请日：2013-11-14

申请人： 北京七星华创电子股份有限公司

发明人： 周峰 ,  张芳

IPC分类号： F27D1/18

摘要： 本实用新型公开了一种炉门运动自动控制机构，其包括：动力驱动装置；与动力驱动装置连接的传动装置，其具有用于连接炉门的连接部；以及设置在动力驱动装置上的动力气体接入口；其中所述动力驱动装置具有驱动组件，用以驱动所述传动装置同时升降和旋转。本实用新型炉门运动自动控制机构通过采用独立的动力驱动装置，实现了对炉门升降运动和旋转运动的同时控制，减少了运动部件，并且使机构简单化，避免了运行中不稳定因素的产生，提高了设备的可靠性。