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公开(公告)号：CN102902034B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201210414997.6
申请日：2012-10-25
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 本发明公开了一种在光学仪器装校过程中对光学元件进行位置调整的光学元件调节机构，属于光学元件技术领域。该二维调节机构包括光学元件座，光学元件座内具有容置空间，该容置空间底部设有光学元件接触面，该接触面呈球形，当光学元件在光学元件座内任意旋转时，光学元件的底面圆周始终与接触面相切。该二维调节机构体积较小，能够在较小的空间完成二维微调节，并且能够广泛应用于与电机相连的光学元件调节，结构简单、操作方便。
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公开(公告)号：CN103575222B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201210281665.5
申请日：2012-08-09
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司 , 中国科学院微电子研究所
摘要： 本发明一种太阳能基板薄膜多任务测量系统，包括测量平台、光源、用于获取晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值的光谱仪、计算机；所述测量平台可同时放置晶硅基板和晶硅参考样品，并且所述测量平台中入射光入射角度可进行调整；所述计算机通过控制电缆与所述测量平台相连；所述计算机通过数据线与所述光谱仪相连，接收晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值，并根据晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值计算晶硅基板的膜厚、材料光学常数及相应的粗糙度修正系数α；所述测量平台通过“Y”形光纤分别与所述光源和光谱仪连接。本发明提供的一种硅基太阳能电池表面增透薄膜的测量系统，实现了通过反射率测量方法量测硅基太阳能电池表面增透薄膜厚度和光学特征。
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公开(公告)号：CN103185638B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201110444985.3
申请日：2011-12-27
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开一种宽带偏振光谱仪，包括光源、分光元件、第一聚光单元、偏振器、第二聚光单元、第一平面反射镜、第二平面反射镜、探测单元。本发明还公开了包含该宽带偏振光谱仪的光学测量系统。本发明提供的垂直入射宽带偏振光谱仪不仅可以通过简单的操作进行聚焦，而且可以精确地控制探测光束的偏振变化，即，可以保持任意偏振光的偏振特性。
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公开(公告)号：CN103162831B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201110427603.6
申请日：2011-12-19
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明提供的一种宽带偏振光谱仪包括光源、第一反射单元、第一聚光单元、第二聚光单元、偏振器、第一平面反射镜、第一曲面反射镜、第二反射单元和探测单元。本发明提供的包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪，提高了探测光束的光通效率，并且在探测器前端实现了分光后的作为参考光束的非探测光束和所述探测光束的完整结合。此外，还能使探测光束无色差地聚焦在样品表面，并可同时保持探测光束的偏振状态，而且系统的复杂程度比现有技术低。本发明还提供一种包含上述光谱仪的光学测量系统。
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公开(公告)号：CN102243357B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201110195387.7
申请日：2011-07-12
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 公开了一种可二维微调的微型电动平移台，包括基板（1）、导轨组件（2）、滑板组件（3）、驱动组件（4）；所述基板（1）与所述导轨组件（2）固定连接；所述驱动组件（4）与所述导轨组件（2）固定连接；所述滑板组件（3）串接于所述导轨组件（2）构成移动副；所述驱动组件（4）与所述滑板组件（3）配合连接构成旋转副。本发明体积小巧，运动链简洁，控制方式简单，可实现对微小型光学器件的单一位置精确平移定位以及多工位平移功能，同时可以对该光学器件进行二维的角度的手动微调，可应用于光学检测设备中的平面镜、分光镜等光学器件的平移，方便产品集成开发。
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公开(公告)号：CN101950061A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010273078.2
申请日：2010-09-06
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司 , 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 本发明涉及光学器件调整技术领域，具体涉及一种器件内置式平移台，包括底板和盖板，所述底板和盖板中心分别设有圆形透光孔，所述底板和盖板通过螺钉连接，形成一个可容纳光学器件的半封闭腔体。本发明将光学器件置于平移台内部，机械传动链简洁，体积小，结构紧凑，操作方便，非常适合于产品集成或者对体积要求苛刻的场合，可用于小型针孔、狭缝、透镜、反射镜等光学器件的二维或三维平移调整。
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公开(公告)号：CN103576697A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210269617.4
申请日：2012-07-31
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
IPC分类号： G05D3/12
摘要： 本发明公开了一种能够自动控制光学器件旋转角度的多角度旋转定位器，属于光学器件调整装置技术领域。该多角度旋转定位器包括基座、驱动组件、轴承、空心旋转体、第Ⅰ连杆和第Ⅱ连杆。该多角度旋转定位器体积紧凑、通光量大、定位准确、重复性高并且能够用于自动控制通光光学元件旋转。
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公开(公告)号：CN103575222A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210281665.5
申请日：2012-08-09
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司 , 中国科学院微电子研究所
摘要： 本发明一种太阳能基板薄膜多任务测量系统，包括测量平台、光源、用于获取晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值的光谱仪、计算机；所述测量平台可同时放置晶硅基板和晶硅参考样品，并且所述测量平台中入射光入射角度可进行调整；所述计算机通过控制电缆与所述测量平台相连；所述计算机通过数据线与所述光谱仪相连，接收晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值，并根据晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值计算晶硅基板的膜厚、材料光学常数及相应的粗糙度修正系数α；所述测量平台通过“Y”形光纤分别与所述光源和光谱仪连接。本发明提供的一种硅基太阳能电池表面增透薄膜的测量系统，实现了通过反射率测量方法量测硅基太阳能电池表面增透薄膜厚度和光学特征。
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公开(公告)号：CN101922539B
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201010273053.2
申请日：2010-09-06
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
IPC分类号： F16H21/18
摘要： 本发明涉及光学器件调整技术领域，具体涉及一种微型光学器件平移机构，包括电机组件、导轨组件、光学组件、摇臂和连杆，所述导轨组件固定在电机组件上，所述摇臂一端与所述电机组件的输出轴相连接，另一端与所述连杆的一端相连接，所述连杆将所述摇臂与所述导轨组件连接，所述光学组件固定在所述导轨组件上。本发明体积小巧，运动链简洁，控制方式简单，可实现对微小型光学器件的多工位平移功能，可应用于光学检测设备中的平面镜、分光镜等光学器件的多工位平移。
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公开(公告)号：CN101950061B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201010273078.2
申请日：2010-09-06
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司 , 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 本发明涉及光学器件调整技术领域，具体涉及一种器件内置式平移台，包括底板和盖板，所述底板和盖板中心分别设有圆形透光孔，所述底板和盖板通过螺钉连接，形成一个可容纳光学器件的半封闭腔体。本发明将光学器件置于平移台内部，机械传动链简洁，体积小，结构紧凑，操作方便，非常适合于产品集成或者对体积要求苛刻的场合，可用于小型针孔、狭缝、透镜、反射镜等光学器件的二维或三维平移调整。
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