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公开(公告)号：CN104134621B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201310158775.7
申请日：2013-05-02
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司 , 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种晶圆片辅助装载装置，属于样品装载与卸载的装置技术领域。该装载装置包括升降机构、晶圆片台、至少两个移动轴、限位板、两根限位导轨和底板。该装载装置能够借助升降机构与移动轴、限位板、两根限位导轨和底板之间的相互配合实现晶圆片台的上下移动和水平移动，从而方便晶圆片样品的取放，辅助实现晶圆片样品装载，并且使交互空间有限的手动装载过程安全、稳定。
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公开(公告)号：CN103575392B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210281679.7
申请日：2012-08-09
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开一种W型光纤束，包括：第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤；所述第I子光纤与所述第II子光纤共用输入端口；所述第III子光纤和所述第IV子光纤共用输出端口；所述第II子光纤的输出端口和所述第III子光纤的输入端口捆绑连接，形成输入输出端口；所述第I子光纤和第Ⅳ子光纤的另一端分别连接一光纤端口；所述第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤构成W型光纤束。还公开一种使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统。本发明能减少系统光源和光谱计的数量，提高测量精度的同时达到降低系统成本的效果。
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公开(公告)号：CN104134621A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201310158775.7
申请日：2013-05-02
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司 , 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种晶圆片辅助装载装置，属于样品装载与卸载的装置技术领域。该装载装置包括升降机构、晶圆片台、至少两个移动轴、限位板、两根限位导轨和底板。该装载装置能够借助升降机构与移动轴、限位板、两根限位导轨和底板之间的相互配合实现晶圆片台的上下移动和水平移动，从而方便晶圆片样品的取放，辅助实现晶圆片样品装载，并且使交互空间有限的手动装载过程安全、稳定。
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公开(公告)号：CN103575392A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210281679.7
申请日：2012-08-09
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开一种W型光纤束，包括：第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤；所述第I子光纤与所述第II子光纤共用输入端口；所述第III子光纤和所述第IV子光纤共用输出端口；所述第II子光纤的输出端口和所述第III子光纤的输入端口捆绑连接，形成输入输出端口；所述第I子光纤和第Ⅳ子光纤的另一端分别连接一光纤端口；所述第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤构成W型光纤束。还公开一种使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统。本发明能减少系统光源和光谱计的数量，提高测量精度的同时达到降低系统成本的效果。
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公开(公告)号：CN103575230A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210281504.6
申请日：2012-08-09
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明涉及光学测量领域，特别涉及一种光学无色差聚焦系统。包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件；所述第一曲面反射元件，接收由点光源发射出的光束，并将该光束变成平行光束；第二曲面反射元件，接收由第一曲面反射元件反射的所述平行光束；所述第三曲面反射元件，接收由所述第二曲面反射元件反射的平行光束，将其变成会聚光束并垂直入射至待测样品的表面；所述第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件构成交叉切尔尼-特纳结构。本发明提供的光学无色差聚焦系统结构简单、价格低廉，光学测量时不会产生色差，并且可合理地改变入射光的传播方向，使其聚焦在样品表面，同时获得较为合适的工作距离。
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公开(公告)号：CN103575213A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210281702.2
申请日：2012-08-09
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开光学测量装置，其包括测量仪本体、光源、具有至少5端口的W形光纤及光谱仪；本发明操作简单，提供的光学测量装置包含垂直入射和斜入射的两个测量装置，可用来测量单层或多层薄膜形成的三维结构的膜厚、临界尺度（Critical Dimension）、空间形貌和材料特性，提高了样品测量的精度。另外，垂直入射部分还可以倾斜至54.7度，用来测量单晶硅太阳能样品。斜入射部分也可实现多角度的切换，摩擦片可以使整个切换工程更加平稳。
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公开(公告)号：CN103162831A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201110427603.6
申请日：2011-12-19
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明提供的一种宽带偏振光谱仪包括光源、第一反射单元、第一聚光单元、第二聚光单元、偏振器、第一平面反射镜、第一曲面反射镜、第二反射单元和探测单元。本发明提供的包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪，提高了探测光束的光通效率，并且在探测器前端实现了分光后的作为参考光束的非探测光束和所述探测光束的完整结合。此外，还能使探测光束无色差地聚焦在样品表面，并可同时保持探测光束的偏振状态，而且系统的复杂程度比现有技术低。本发明还提供一种包含上述光谱仪的光学测量系统。
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公开(公告)号：CN102902034A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201210414997.6
申请日：2012-10-25
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 本发明公开了一种在光学仪器装校过程中对光学元件进行位置调整的光学元件调节机构，属于光学元件技术领域。该二维调节机构包括光学元件座，光学元件座内具有容置空间，该容置空间底部设有光学元件接触面，该接触面呈球形，当光学元件在光学元件座内任意旋转时，光学元件的底面圆周始终与接触面相切。该二维调节机构体积较小，能够在较小的空间完成二维微调节，并且能够广泛应用于与电机相连的光学元件调节，结构简单、操作方便。
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公开(公告)号：CN103575230B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201210281504.6
申请日：2012-08-09
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司 , 中国科学院微电子研究所
摘要： 本申请涉及光学测量领域，特别涉及一种光学无色差聚焦系统。包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件；所述第一曲面反射元件，接收由点光源发射出的光束，并将该光束变成平行光束；第二曲面反射元件，接收由第一曲面反射元件反射的所述平行光束；所述第三曲面反射元件，接收由所述第二曲面反射元件反射的平行光束，将其变成会聚光束并垂直入射至待测样品的表面；所述第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件构成交叉切尔尼‑特纳结构。本申请提供的光学无色差聚焦系统结构简单、价格低廉，光学测量时不会产生色差，并且可合理地改变入射光的传播方向，使其聚焦在样品表面，同时获得较为合适的工作距离。
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公开(公告)号：CN103576697B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201210269617.4
申请日：2012-07-31
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
IPC分类号： G05D3/12
摘要： 本发明公开了一种能够自动控制光学器件旋转角度的多角度旋转定位器，属于光学器件调整装置技术领域。该多角度旋转定位器包括基座、驱动组件、轴承、空心旋转体、第Ⅰ连杆和第Ⅱ连杆。该多角度旋转定位器体积紧凑、通光量大、定位准确、重复性高并且能够用于自动控制通光光学元件旋转。
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