公开(公告)号：CN115182034A

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202210688478.2

申请日：2022-06-17

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 张林兴 ,  席国强 ,  程昕蕊 ,  李航任 ,  丁佳麒 ,  田建军

IPC: C30B1/02 ,  C30B5/00 ,  C30B29/32 ,  C30B29/64

Abstract: 本发明属于信息功能材料、功能薄膜和柔性电子技术领域，涉及一种基于化学法制备自支撑BaTiO3单晶薄膜的工艺，该工艺为：在不同单晶基片上，采用化学旋涂的方式首先在基片上外延生长Sr3Al2O6/BaTiO3结构；利用Sr3Al2O6的可溶于水的特性，将其浸泡在去离子水中12h小时以上，充分溶解即可得到自支撑BaTiO3单晶薄膜。本申请可以通过控制前驱液浓度、旋涂转速、退火次数调控单晶薄膜厚度；在使用化学旋涂法生长BaTiO3单晶薄膜过程中不会对Sr3Al2O6薄膜层造成损害。该方法适用于大面积柔性功能层的剥离，对全化学法制备自支撑氧化物钙钛矿单晶薄膜具有重要意义。