公开(公告)号：CN111416006B

公开(公告)日：2021-08-17

申请号：CN202010124203.7

申请日：2020-02-27

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 张林兴 ,  丁佳麒 ,  杨倩倩 ,  田建军

IPC: H01L31/032 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明属于凝聚态物理、功能薄膜和纳米科技领域，涉及到一种二维层状钙钛矿铁电多功能薄膜及其制备工艺。所述二维层状钙钛矿铁电多功能薄膜的分子式为：yBi2Ox‑BiMeO3，其中，2≤x≤4；1≤y≤4；Me为过渡族金属。该类钙钛矿结构Bi2Ox和钙钛矿结构BiMeO3的晶体结构相似且晶格常数匹配，具有稳定的类四方相超胞结构。制备工艺为：先调制Bi与Me的比值为1‑6的摩尔浓度为0.1‑0.4M的前驱体溶液；经过旋涂、干燥及热解，退火，得到二维层状钙钛矿铁电多功能薄膜。本发明采用晶体结构设计和溶胶‑凝胶合成法研制新结构薄膜，前驱液成分精确可控且合成条件简易，最终获得性能优异的高质量铁电薄膜。

公开(公告)号：CN111416006A

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN202010124203.7

申请日：2020-02-27

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 张林兴 ,  丁佳麒 ,  杨倩倩 ,  田建军

IPC: H01L31/032 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明属于凝聚态物理、功能薄膜和纳米科技领域，涉及到一种二维层状钙钛矿铁电多功能薄膜及其制备工艺。所述二维层状钙钛矿铁电多功能薄膜的分子式为：yBi2Ox-BiMeO3，其中，2≤x≤4；1≤y≤4；Me为过渡族金属。该类钙钛矿结构Bi2Ox和钙钛矿结构BiMeO3的晶体结构相似且晶格常数匹配，具有稳定的类四方相超胞结构。制备工艺为：先调制Bi与Me的比值为1-6的摩尔浓度为0.1-0.4M的前驱体溶液；经过旋涂、干燥及热解，退火，得到二维层状钙钛矿铁电多功能薄膜。本发明采用晶体结构设计和溶胶-凝胶合成法研制新结构薄膜，前驱液成分精确可控且合成条件简易，最终获得性能优异的高质量铁电薄膜。

公开(公告)号：CN115182034A

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202210688478.2

申请日：2022-06-17

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 张林兴 ,  席国强 ,  程昕蕊 ,  李航任 ,  丁佳麒 ,  田建军

IPC: C30B1/02 ,  C30B5/00 ,  C30B29/32 ,  C30B29/64

Abstract: 本发明属于信息功能材料、功能薄膜和柔性电子技术领域，涉及一种基于化学法制备自支撑BaTiO3单晶薄膜的工艺，该工艺为：在不同单晶基片上，采用化学旋涂的方式首先在基片上外延生长Sr3Al2O6/BaTiO3结构；利用Sr3Al2O6的可溶于水的特性，将其浸泡在去离子水中12h小时以上，充分溶解即可得到自支撑BaTiO3单晶薄膜。本申请可以通过控制前驱液浓度、旋涂转速、退火次数调控单晶薄膜厚度；在使用化学旋涂法生长BaTiO3单晶薄膜过程中不会对Sr3Al2O6薄膜层造成损害。该方法适用于大面积柔性功能层的剥离，对全化学法制备自支撑氧化物钙钛矿单晶薄膜具有重要意义。