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公开(公告)号：CN113278930B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202110449959.3
申请日：2021-04-25
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明公开了一种纳米团簇的束流密度控制装置及其使用方法，包括冷凝腔、差分真空腔和沉积腔，所述冷凝腔内设置有气管、溅射枪和液氮喷管，所述冷凝腔内设置有罗茨泵，所述差分真空腔和沉积腔内均设置有分子泵，所述冷凝腔和差分真空腔之间设置有气动力喷头。本发明通过设置束流密度控制装置，即束流分流通道和用于调节束流分流通道的控制装置，便于对团簇束流的沉积密度进行调节，使得部分团簇束流分离或走额外的通道进行沉积，从而增大沉积间隙，达到控制密度的目的。
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公开(公告)号：CN114919381A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210390720.8
申请日：2022-04-14
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明涉及滤芯相关技术领域，尤其为一种高效杀菌除霾车载空气滤芯，包括塑料外壳，所述塑料外壳的内部固定有铝合金罩，所述铝合金罩的底部固接有U型结构的第一进风管，所述铝合金罩的顶部固接有U型结构的第一出风管，所述铝合金罩的顶部内部和底部内壁均固定有交直流深紫外LED模组，两组所述交直流深紫外LED模组之间设置有沿其长度方向等距分布的杀菌单元；本发明能够在紫外线的辐照作用下，纳米银的电子被光激发，进而催化激活水中或空气中的氧，使其产生羟基自由基及负氧离子。羟基自由基和负氧离子具有很强的杀菌作用，能在短时间内破坏细菌的增殖能力，加快细胞凋亡的速度，从而达到抗菌的目的。
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公开(公告)号：CN113897583A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202111108818.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明的一种兼容磁性靶材和非磁性靶材的磁控溅射阴极，包括靶材、磁体、磁轭及靶座，还包括运动机构；靶材安装在靶座上方，磁体安装在磁轭上，位于靶座下方；磁轭和靶座连接到运动机构上，运动机构可以牵引靶座及上方的靶材上下移动，从而改变靶材与磁体的间距。当靶材为磁性材料时，通过运动机构调节靶材和磁体间距变小；当靶材换成非磁性材料时，通过运动机构，靶材与磁体间距变大。本发明可以根据靶材的性质，合理调整靶材与磁体的间距，使得靶材表面磁场的平行分量分别适用于磁性靶材和非磁性靶材，磁性靶材和非磁性靶材兼容在同一个磁控溅射阴极上使用。
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公开(公告)号：CN113308669A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110453139.1
申请日：2021-04-26
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明涉及一种稀磁半导体制备技术领域，具体涉及一种Mn掺杂ZnO稀磁半导体薄膜的制备方法，包括以下步骤：1)称取适量的锌源和锰源粉末，球磨混合均匀；2)将混合粉末掺入有机粘合剂并调和均匀，压制成圆饼状复合物；3)将圆饼状复合物在400‑1100℃的条件下进行煅烧6‑8小时，冷却至室温得到Zn1‑xMnxO靶材；4)清洗衬底；5)上衬底；6)调控直流磁控溅射装置，对衬底进行磁控溅射靶材进行镀膜，镀膜结束后，冷却至室温，得到Zn1‑xMnxO稀磁半导体薄膜。本发明首次使用石墨烯片作为衬底材料，制备了Zn1‑xMnxO稀磁半导体薄膜；采用直流磁控溅射技术，使靶材材料和衬底更加均匀，Zn1‑xMnxO复合膜更加稳定；且其铁磁性和光致发光性能优异。
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公开(公告)号：CN114318280B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202111473248.6
申请日：2021-12-02
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明的一种用于测量和控制纳米团簇生长的方法，基于测量装置，测量装置包括分别通过法兰接口与真空腔体连通的阳离子化装置，阴离子化装置，电场加速装置，隔膜型阀门，真空泵，四级质谱仪，高真空规，低真空规，飞行时间质谱仪，法拉第杯，隔膜型闸门。本发明可以有效的同时对不同带电情况且不同尺寸的纳米团簇进行筛选，进而可以实现对一定范围尺寸的纳米团簇薄膜的可控生长。本发明可以分别对带正电和负电属性的纳米团簇进行电荷和尺寸的筛选；在使用时间飞行质谱仪进行不同核质比团簇的筛选时，只能对带电的团簇进行筛选，本系统的其中一个优点在于可以将从喷嘴出射的电中性团簇电离化，这样就会增加筛选的团簇的数量，提高了镀膜效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113308669B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202110453139.1
申请日：2021-04-26
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明涉及一种稀磁半导体制备技术领域，具体涉及一种Mn掺杂ZnO稀磁半导体薄膜的制备方法，包括以下步骤：1)称取适量的锌源和锰源粉末，球磨混合均匀；2)将混合粉末掺入有机粘合剂并调和均匀，压制成圆饼状复合物；3)将圆饼状复合物在400‑1100℃的条件下进行煅烧6‑8小时，冷却至室温得到Zn1‑xMnxO靶材；4)清洗衬底；5)上衬底；6)调控直流磁控溅射装置，对衬底进行磁控溅射靶材进行镀膜，镀膜结束后，冷却至室温，得到Zn1‑xMnxO稀磁半导体薄膜。本发明首次使用石墨烯片作为衬底材料，制备了Zn1‑xMnxO稀磁半导体薄膜；采用直流磁控溅射技术，使靶材材料和衬底更加均匀，Zn1‑xMnxO复合膜更加稳定；且其铁磁性和光致发光性能优异。
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公开(公告)号：CN112993157B
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202110155752.5
申请日：2021-02-04
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
IPC: H01L45/00
Abstract: 本发明的一种水平结构的忆阻器及均一性优化方法，包括双端水平电极、介电材料、基底；其中，双端水平电极具有对称性，采用金属作电极，以钙钛矿微米棒材料作为介电材料，以表面有SiO2的硅片、玻璃片、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯这些作为基底。本发明的忆阻器均一性优化方法通过清洗、烘干、UVO亲水化处理、钙钛矿微米棒制备、EBL预制水平结构电极、蒸镀及干法转移钙钛矿微米棒得到最终器件；本发明的优化方法利用晶体表面的金属离子迁移活化能较低，为离子迁移提供了最优选的路径，从而在维度上限域CF的形成，提高了器件的稳定性和均一性。
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公开(公告)号：CN114318280A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111473248.6
申请日：2021-12-02
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明的一种用于测量和控制纳米团簇生长的方法，基于测量装置，测量装置包括分别通过法兰接口与真空腔体连通的阳离子化装置，阴离子化装置，电场加速装置，隔膜型阀门，真空泵，四级质谱仪，高真空规，低真空规，飞行时间质谱仪，法拉第杯，隔膜型闸门。本发明可以有效的同时对不同带电情况且不同尺寸的纳米团簇进行筛选，进而可以实现对一定范围尺寸的纳米团簇薄膜的可控生长。本发明可以分别对带正电和负电属性的纳米团簇进行电荷和尺寸的筛选；在使用时间飞行质谱仪进行不同核质比团簇的筛选时，只能对带电的团簇进行筛选，本系统的其中一个优点在于可以将从喷嘴出射的电中性团簇电离化，这样就会增加筛选的团簇的数量，提高了镀膜效率。
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公开(公告)号：CN113758990A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202111004489.6
申请日：2021-08-30
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明公开了一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置，包括：团簇离子加速装置，所述团簇离子加速装置包括第一加速电极和第二加速电极，其中第一加速电极对团簇离子施加脉冲高压并作起始信号A，使团簇离子向第一反射装置偏转并被初加速，其中第二加速电极使团簇离子被加速2‑5keV；第一飞行通道，所述第一飞行通道与团簇离子加速装置的输出端连通，加速后的团簇离子在第一飞行通道内自由飞行。本发明通过设置团簇离子加速装置，其中第一加速电极对团簇离子施加脉冲高压并作起始信号，使团簇离子向第一反射装置偏转并被初加速，其中第二加速电极使团簇离子被加速2‑5keV，保证了团簇离子的速度差异较小。
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公开(公告)号：CN113406362A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110664485.4
申请日：2021-06-16
Applicant: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
Abstract: 本发明公开了一种高真空原位原子力显微镜送样装置，包括底座，所述底座上安装有原子力显微镜本体：所述底座上对称开设有两个平行的开槽，其中一个所述开槽内设置有光杆，且光杆与开槽的内壁固定连接，另一个所述开槽内设置有螺杆，且螺杆与开槽的内壁转动连接，所述螺杆延伸至开槽外侧并连接有驱动其转动的驱动机构。本发明通过设置转轴，并设置配合转轴运动的翻转机构，通过主动拨盘带动从动槽轮将连续运动转化为间隙运动，从而实现转轴间隙转动。槽轮可以带动样品放置器皿同步翻转，可以实现上侧的样品放置器皿用于测量，两侧的样品放置器皿用于备选，便于实现切换测量，极大的节约了测量人员的时间和精力。
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