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公开(公告)号：CN109346391A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201810977038.2
申请日：2018-08-26
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明涉及一种用于装载近局域电极的聚焦离子束/扫描电镜双束系统样品台。该样品台包括：样品台主体，燕尾形样品槽，方形卡槽，内六角紧定螺钉以及固定杆，固定杆与样品台主体底部垂直。样品台主体内设置有燕尾形样品槽；燕尾形样品槽用于装载近局域电极；燕尾槽底部设置有方形卡槽，方形卡槽用于卡紧近局域电极底部的销钉；内六角紧定螺钉通过方形卡槽顶住近局域电极底部的销钉以进一步固定近局域电极；固定杆用于连接聚焦离子束/扫描电镜双束系统旋转底座。在该发明的使用过程中，样品台与近局域电极依靠机械固定，能有效防止近局域电极的移动，使其工作稳定可靠，有效提高设备效率。
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公开(公告)号：CN104390835B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201410734587.9
申请日：2014-12-04
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01N1/32
摘要： 本发明公开了一种三维原子探针制样第一阶段抛光设备，包括底座、支撑板、衬板、偏心轮、第一杠杆、第二杠杆、连接杆、固定板、立柱、电机和插销。本抛光设备通过将手动抛光过程转为机械抛光，从而节省人力，提高精度。通过杠杆及偏心轮，将电机转动转化为上下运动，满足使用需求。设备能够满足不同尺寸制样的空间位置调整，灵活性强。多采用铝合金材料，减轻重量，节约成本。通过通电进行电解抛光，抛光尺寸固定，精度高，样本质量好，锥度大，便于三维原子探针的观测及数据采集。为三维原子探针金属样品制备提供一种能够快速制备样品的简单机械装置。
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公开(公告)号：CN105810543A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610299098.4
申请日：2016-05-07
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20
摘要： 本发明为一种用于观察三维原子探针试样的透射电镜样品台，透射电镜样品台包括样品杆主体、压紧部分、自动复位装置和导轨；导轨连接样品杆主体的一端，在样品杆主体该端开有槽口，槽口内于轴心处设有圆弧形底槽，底槽的槽口处设置为矩形台阶，且在底槽的末端处设有阶梯形通孔；压紧部分包括压块及用于压紧压块的偏心轮；压块上对称样品杆主体底槽开有形状相同的圆弧形槽体，且该压块的导位凸台设置在阶梯形通孔内；自动复位装置为弹簧并被导位凸台穿过。本发明提供结构简单，便于加工和维护，可实现大角度倾转，可以直接加载三维原子探针试样，并当作透射电镜三维重构样品杆使用，获得的透射电镜图片可以用来直接矫正三维原子探针数据的重构结果。
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公开(公告)号：CN109813586B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN201910145691.7
申请日：2019-02-27
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01N1/28
摘要： 本发明涉及聚焦离子束双束仪器样品制备领域，具体涉及一种轴向旋转装置。装置包括：转移针尖：用于转移样品；转移针尖夹持台：用于夹持转移针尖，转移针尖在转移针尖夹持台中可轴向旋转设置；旋转主轴：前端设置呈倒“T”型槽，转移针尖固定在所述槽中；旋转手柄：与旋转主轴连接，带动旋转主轴转动，从而带动转移针尖转动。本发明装置通过将针尖固定于旋转主轴上并旋转旋转手柄来旋转针尖，由角度控制台精确控制旋转角度，且角度控制台与旋转主轴通过螺纹连接，保证了转转的稳定，整个装置满足了在聚焦离子束双束仪器制备样品过程中任意方向制样的现实需求，增大聚焦离子束双束仪器制样技术的灵活度，突破了现阶段的标准取样方法。
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公开(公告)号：CN114392985B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202210060261.7
申请日：2022-01-19
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： B08B7/00 , B08B13/00 , G01N23/2251
摘要： 本发明属于材料领域，具体的说是一种利用特斯拉线圈清理三维原子探针近局域电极的方法，该方法包括如下步骤：S1：首先将三维原子探针近局域电极从三维原子探针设备上取下，然后使用夹持器械将三维原子探针近局域电极固定在清理工作台上；S2：其次将特斯拉线圈尖端对准近局域电极微孔，留有1‑3mm的距离；S3：检查特斯拉线圈、三维原子探针近局域电极正常后，给特斯拉线圈接通电源；通过方法步骤的设计,实现了利用特斯拉线圈尖端产生高压电火花对三维原子探针近局域电极表面脏污进行熔融处理，实现表面高效率清洁的功能，解决了聚焦离子束清洁成本高降低使用寿命的问题，提高了三维原子探针近局域电极清洁的效率。
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公开(公告)号：CN114217098A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111528433.0
申请日：2021-12-14
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01Q60/38
摘要： 本发明属于三维原子探针设备领域，具体的说是一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台，包括固定器；所述固定器顶端固定连接有圆盘，所述圆盘的顶端固定安装有铜夹子，所述固定器的顶端放置有转移台本体，所述转移台本体的一侧呈弧形，所述转移台本体的顶端开设有凹槽，所述转移台本体的一侧螺纹连接有丝杆；通过使用镊子将硅片安放到凹槽内，然后将转移台本体安放到固定器上，并且让转移台本体的弧形面与圆盘贴合，此时凹槽会与铜夹子处于同一水平面，然后转动丝杆，使得丝杆带动推板进行滑动，从而使推板推动凹槽内的硅片，此时硅片会借助推板的推力被放置到铜夹子上，起到了对硅片进行放置的作用，提高了对硅片安放的安全效率。
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公开(公告)号：CN109346391B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201810977038.2
申请日：2018-08-26
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明涉及一种用于装载近局域电极的聚焦离子束/扫描电镜双束系统样品台。该样品台包括：样品台主体，燕尾形样品槽，方形卡槽，内六角紧定螺钉以及固定杆，固定杆与样品台主体底部垂直。样品台主体内设置有燕尾形样品槽；燕尾形样品槽用于装载近局域电极；燕尾槽底部设置有方形卡槽，方形卡槽用于卡紧近局域电极底部的销钉；内六角紧定螺钉通过方形卡槽顶住近局域电极底部的销钉以进一步固定近局域电极；固定杆用于连接聚焦离子束/扫描电镜双束系统旋转底座。在该发明的使用过程中，样品台与近局域电极依靠机械固定，能有效防止近局域电极的移动，使其工作稳定可靠，有效提高设备效率。
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公开(公告)号：CN109261646A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201810917874.1
申请日：2018-08-13
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： B08B7/00
摘要： 本发明公开了一种利用聚焦离子束清理三维原子探针近局域电极的方法，方法包括：将三维原子探针近局域电极装于聚焦离子束样品台上，将带三维原子探针近局域电极的样品台放置在聚焦离子束中；在聚焦离子束中，倾转样品台，调整成像补偿角度，调整工作距离；将要切的三维原子探针近局域电极在FIB图像模式下对齐到最中心；将FIB的环切环的外环与三维原子探针近局域电极中心环上的突起缺陷的根部对齐，内环与中心环上突起缺陷的顶端边缘对齐，环切到三维原子探针近局域电极环表面无杂质。本发明提供的清理方法，通过聚焦离子束清理局域电极，实现了三维原子探针近局域电极的彻底清理，尤其是内部的彻底清理，节约了成本。
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公开(公告)号：CN109243950A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201810881491.3
申请日：2018-08-05
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： H01J37/20
摘要： 本发明公开了一种用于装载原子探针针状试样的样品盒，盒盖、盒体、卡扣、放样平台、减震吸盘、放样圆孔、螺丝、螺孔、螺柱和密封圈；其中盒盖与盒体通过密封圈和卡扣相扣合，放样平台与盒体顶部固定连接，盒体底部设有减震吸盘，放样平台的顶部上设有多个放样圆孔，所述的放样圆孔在放样平台上呈两圈同心圆等角度排列，且内层与外层圆孔错开角度；在放样平台侧面，对应每一放样圆孔，都设有一螺孔，螺孔均对应设有用于固定的螺柱；本发明设有的放样圆孔在放样平台上呈两圈同心圆等角度排列，且内层与外层圆孔，错开一定角度，便于取放样品，避免在取放样品过程中，镊子误触到其他样品，造成样品损伤。
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公开(公告)号：CN117907364A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410079505.5
申请日：2024-01-19
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01N23/20025 , G01N23/20008 , G01N23/203
摘要： 本发明属于离子束切割设备技术领域，具体的说是一种用于聚焦离子束双束系统的样品承载台，包括：样品台；开设在样品台中心的四个样品槽，用于承载样品，且四个样品槽关于样品台中心对称布置；通过在样品台表面设置的多个样品槽可容纳多个样品原料放置，且样品原料放置后，为了适应样品制备过程中多角度旋转的动作，利用紧固螺钉对样品槽中的样品原料进行抵紧，从而能够在样品制备过程中，对样品原料提供有效的固定效果，使样品原料能够进行多角度的旋转，且不会因重力因素导致脱离样品台；由于该样品台能够同时承载多个样品原料，因此能够减少对设备的破真空次数，减小对设备真空环境的影响，提高样品制备过程中的成像质量。
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