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公开(公告)号：CN114927600A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210574620.0
申请日：2022-05-25
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明公开了一种基于微流控技术的MicroLED全彩化显示器件结构与制备方法，是将减薄后的MicroLED芯片阵列的衬底作为基板，在衬底上蚀刻出与MicroLED单元一一对应的凹坑，将微流控盖板与衬底相压合直接在衬底上完成了微流控芯片的制备，然后注入量子点溶液在衬底的凹坑中形成色转换层，省去了微流控芯片基板，省去了量子点色转换层与MicroLED芯片阵列进行键合等步骤。本发明简化了制备工艺、节省了原料，同时提高了色转换的效率。
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公开(公告)号：CN118248795A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410376894.8
申请日：2024-03-29
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明公开了一种磁场辅助式Micro‑LED自组装巨量转移方法，采用的目标基板表面具有凹槽，凹槽内依次设有金属电极和低熔点合金，Micro‑LED芯片背面设有疏水性低黏附层；将基板置于组装容器底部，向组装容器中加入组装液，调控组装液的温度和pH值，将Micro‑LED芯片倒入组装液中并均匀分散，通过施加磁场使Micro‑LED芯片沉降并一一对应的落入凹槽中，再采用热回流焊工艺在加压条件下对芯片进行位置校正。本发明保证了芯片之间的位置精度和对齐度，最大限度地避免芯片的损坏和失效，从而确保高精度、高速度和高效率的芯片转移，实现高一致性和高质量的色彩表现。
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公开(公告)号：CN117613170A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311599605.2
申请日：2023-11-28
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明公开了一种基于立体微腔阵列的量子点Micro‑LED色转换层的制作方法，在透明衬底上形成凹槽阵列，并在其上键合微流控盖板时，使得微流控通道和凹槽阵列错开一定比例对准键合实现了立体微腔阵列的构筑，通过微流体行为调控实现可控的量子点微液滴阵列，进一步制造不同量子点的独立阵列化沉积形成量子点色转换层，最终制备Micro‑LED全彩显示器件。本发明利用微通道内的立体微腔来捕获量子点溶液，使其在用非互溶流体吹出时较开口的微结构能够更稳定地保留更大体积的微液滴，待量子点溶剂挥发即可在立体微腔阵列结构内形成的量子点色转换层的阵列图案。本发明的方法可以适用于多种不同类型量子点的沉积，具有低成本、高通量、普适性的特点。
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公开(公告)号：CN117253945A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311270490.2
申请日：2023-09-28
申请人： 厦门大学
IPC分类号： H01L33/00 , B23K26/38 , B23K26/70 , B23K26/402 , H01L21/78
摘要： 本发明公开了一种基于激光划片的MicroLED芯片阵列分离工艺，MicroLED芯片阵列设于衬底上并通过切割道间隔，芯片阵列背离衬底的一面与驱动基板键合，采用两步骤对切割道区域进行激光切割，一次激光切割于衬底形成两个切割槽并将两切割槽之间的衬底去除，另一次激光切割对驱动基板实现了切断，从而可以使衬底和驱动基板具有不一致的切割边缘，一方面不损伤驱动基板位于芯片之外的连接电极，另一方面留出了位置便于后续通过连接电极进行探针电测扎针或金属连线。
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公开(公告)号：CN114744100A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210295814.7
申请日：2022-03-24
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明公开了一种基于表面预处理的量子点图案制备方法，是在预处理后的基板表面形成由亲水性物质组成的第一图案和由疏水性物质组成的第二图案，第二图案设于第一图案外围并与第一图案的边缘相配合，量子点溶液沉积于第一图案上；图案通过模板采用压印工艺制得。本发明通过利用亲、疏水物质的相关特性并对待沉积量子点溶液的区域进行图案化处理，可使沉积的量子点颜色转换层的形状更加规则、高度更加可控，不易出现因量子点溶液的流动而导致的颜色转换层图案的形变。量子点颜色转换层图案的规则、整齐化有利于窄半高宽、高色品质出光的实现。
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