一种基于气磁悬浮的直线运动装置

    公开(公告)号:CN109488686A

    公开(公告)日:2019-03-19

    申请号:CN201811349963.7

    申请日:2018-11-14

    CPC classification number: F16C29/00 F16C32/0406

    Abstract: 本发明公开一种基于气磁悬浮的直线运动装置;通过气磁悬浮在空间上的多点合理分布,可将悬浮滑块的直线运动限制在单侧开放式的滑槽中,在降低了质量、节省了空间的同时,使该装置同时具有气浮的高精度优势和磁浮的高稳定性优势,并最终通过结合精密驱动与反馈控制,达到高速、高加速、高频运动的目的。本发明可建立一种体积小、质量轻、高速度、低磨损的直线运动装置。

    基于圆弧铰链夹持与多自由度解耦的圆柱度仪水平导轨驱动装置

    公开(公告)号:CN106960690B

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201610643765.6

    申请日:2016-08-08

    Abstract: 基于圆弧铰链夹持与多自由度解耦的圆柱度仪水平导轨驱动装置属于精密测量与仪器技术领域;该装置包括夹持部件、倾斜角调节部件和转角调节部件,夹持部件呈四面环绕式夹持精密气浮导轨,转角调节部件安装在驱动部件的凹槽内;夹持部件包括矩形框架、支承方向铰链、导向方向铰链、弧形槽、减摩片、紧定螺钉、支承方向调节顶丝和导向方向调节顶丝;倾斜角调节部件包括U型框架、调节铰链、保持架、限位柱和滑块;转角调节部件包括回转轴、上外壳、转接凸台、下外壳、下保持架、上保持架、筒型框架、筒型保持架、调整垫块和底部端盖;本发明解决了精密气浮导轨驱动中的干扰和耦合问题,可建立一种圆柱度仪水平导轨精密驱动装置。

    一种基于并列动磁钢的直线运动装置

    公开(公告)号:CN109327126A

    公开(公告)日:2019-02-12

    申请号:CN201811349974.5

    申请日:2018-11-14

    CPC classification number: H02K41/02

    Abstract: 本发明公开一种基于并列动磁钢的直线运动装置;该装置将磁钢并行排列并置于双层线圈中间,通过对线圈中电流来驱动运动滑块部件的直线运动,这种“三明治”型的并列动磁钢结构能够在提供足够的电机出力的同时,不会产生额外的偏转力矩,但能够消除现有技术中线圈线缆力对运动及定位精度的影响,再通过设置相应气浮结构对直线运动进行支承和导向,并最终通过结合反馈控制,达到高精度、高速、高频运动的目的。本发明可建立一种体积小、质量轻、高速度、低磨损的直线运动装置。

    一种基于气浮导向的狭缝式可变光阑

    公开(公告)号:CN108663797A

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201810437084.3

    申请日:2018-05-09

    Abstract: 本发明公开一种基于气浮导向的狭缝式可变光阑;该装置正面板安装有2个X向驱动控制单元、2个Y向驱动控制单元、2个X向支撑导向单元、2个Y向支撑导向单元及光阑窗口;背面板安装有2个重力补偿单元;光阑窗口由2个X向光阑板、2个Y向光阑板、2个X向从动气浮导轨及2个Y向从动气浮导轨;其中成对的单元相对于系统的光学中心轴oo’旋转对称;该装置包括4个基于气浮原理的支承导向单元,对4个从动导轨进行导向,并通过驱动控制单元与重力补偿单元分别对4个光阑板进行控制,光阑板首尾相接形成了共面的矩形窗口,并最终实现平面内任意范围的扫描;本发明建立了一种兼顾高精度、高稳定性的气浮导向的狭缝式可变光阑。

    基于双轴柔性铰链的平行运动机构调整装置

    公开(公告)号:CN108614395A

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201810437683.5

    申请日:2018-05-09

    Abstract: 本发明公开一种基于双轴柔性铰链的直线平行运动机构调整装置;该装置包括从动直线运动部件和从动导向机构,主动直线运动部件装配在主动导向机构上,在主动直线运动部件上通过固定螺钉固装二维调整模块,通过两根安装螺钉将连接座板装配在二维调整模块上,连接座板通过上、下调整定位螺母夹紧定位与从动直线运动部件连接,二维调整模块由偏转方向相互垂直的横向偏转倒角型铰链与纵向偏转倒角型铰链装配构成;本装置提高了曝光装置的稳定可靠性和运动机构的定位精度,及曝光窗口的扫描精度,使用范围光,结构合理、简单,使用可靠。

    一种角接触球轴承支撑的超声电机及定子与转子预紧方法

    公开(公告)号:CN105897039B

    公开(公告)日:2017-10-03

    申请号:CN201610480063.0

    申请日:2016-06-27

    Abstract: 一种角接触球轴承支撑的超声电机及定子与转子预紧方法,它涉及一种超声电机及该电机的定子与转子预紧方法,以解决现有超声电机的结构都存在预紧方式较为复杂,并且采用这些预紧方式并不能达到较高精度的预紧,以及电机转子轴的支撑均采用深沟球轴承,转子轴的回转精度低的问题,它包括上盖、底座、转子轴、转子、定子、上轴承端盖、下轴承端盖、弹簧套筒和两个角接触球轴承;上盖和底座可拆卸连接,两个同轴通孔内各安装有一个角接触球轴承,两个角接触球轴承背对背布置,转子轴安装在两个角接触球轴承上;转子与转子法兰固接,定子的与底座相邻的端面上铺设有一层环形压电陶瓷。本发明用作超声电机,特别适合高回转精度应用场合。

    一种角接触球轴承支撑的超声电机及定子与转子预紧方法

    公开(公告)号:CN105897039A

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201610480063.0

    申请日:2016-06-27

    CPC classification number: H02N2/00 H02N2/22

    Abstract: 一种角接触球轴承支撑的超声电机及定子与转子预紧方法,它涉及一种超声电机及该电机的定子与转子预紧方法,以解决现有超声电机的结构都存在预紧方式较为复杂,并且采用这些预紧方式并不能达到较高精度的预紧,以及电机转子轴的支撑均采用深沟球轴承,转子轴的回转精度低的问题,它包括上盖、底座、转子轴、转子、定子、上轴承端盖、下轴承端盖、弹簧套筒和两个角接触球轴承;上盖和底座可拆卸连接,两个同轴通孔内各安装有一个角接触球轴承,两个角接触球轴承背对背布置,转子轴安装在两个角接触球轴承上;转子与转子法兰固接,定子的与底座相邻的端面上铺设有一层环形压电陶瓷。本发明用作超声电机,特别适合高回转精度应用场合。

    基于平面正交解耦的航空发动机装配测量系统二维驱动装置

    公开(公告)号:CN104440810A

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201410591457.4

    申请日:2014-10-29

    CPC classification number: B25H1/0007

    Abstract: 基于平面正交解耦的航空发动机装配测量系统二维驱动装置属于精密仪器及机械技术领域;托盘配置于底座与台面之间,固连在托盘上的Y向导向块B与托盘上的导向槽b1接触配合,Y向导向块A与托盘上导向槽b2的接触配合,为托盘沿Y轴运动导向;Y向电机驱动托盘沿Y轴正向运动,Y向弹簧压缩,为托盘沿Y轴负向运动提供回复力;固连在台面上的X向导向块A与托盘上的导向槽b3接触配合,X向导向块B与托盘上的导向槽b4接触配合,为台面沿X轴运动导向;X向电机驱动台面沿X轴负向运动,X向弹簧压缩,为台面沿X轴正向运动提供回复力;本发明建立的装置提高了航空发动机装配测量系统的运动与定位精度,提升了发动机的装配精度和测量效率。

    一种基于气磁悬浮的直线运动装置

    公开(公告)号:CN109488686B

    公开(公告)日:2019-07-16

    申请号:CN201811349963.7

    申请日:2018-11-14

    Abstract: 本发明公开一种基于气磁悬浮的直线运动装置;通过气磁悬浮在空间上的多点合理分布,可将悬浮滑块的直线运动限制在单侧开放式的滑槽中,在降低了质量、节省了空间的同时,使该装置同时具有气浮的高精度优势和磁浮的高稳定性优势,并最终通过结合精密驱动与反馈控制,达到高速、高加速、高频运动的目的。本发明可建立一种体积小、质量轻、高速度、低磨损的直线运动装置。

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