公开(公告)号：CN104044758B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201410277187.X

申请日：2014-06-20

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 刘杨 ,  刘启循 ,  陈兴林 ,  李宗哲 ,  李欣 ,  陈震宇 ,  范文超

IPC分类号： B64G7/00

摘要： 一种线性电机和气浮复合驱动的垂向伺服机构，属于物理仿真领域。所述垂向伺服机构包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分，所述的垂向运动部分由基座、内套筒、外套筒和上平面组成；所述的气路部分位于垂向运动部分外部，由高压气瓶、开关阀、比例阀、气压控制器组成；所述的线性电机部分位于垂向运动部分内部，包括动子和定子；所述传感器部分位于垂向运动部分外部，安装在外套筒的下部。本发明通过气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过调节出口阀开度使外套筒部分得到重力补偿，控制线性电机实现外套筒的垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长等优点。

公开(公告)号：CN104360639A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201410469166.8

申请日：2014-09-16

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 陈兴林 ,  魏凯 ,  宋法质 ,  范文超 ,  徐加彦 ,  刘法志 ,  刘杨

IPC分类号： G05B19/414

CPC分类号： G05B19/414

摘要： 基于VME自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法，属于运动控制的信号采集与数据通信技术领域。为了解决多运动控制卡同时读取光栅尺数据时，存在竞争冒险、相互干扰和实时同步性能差的问题。方法包括：单一运动控制卡输出同步时钟信号，当VME自定义总线产生的读信号为低电平，发送所需光栅尺数据的地址，并通过VME自定义总线接收相应地址发送的光栅尺数据的步骤；其他运动控制卡读取同步时钟信号，当同步时钟信号为上升沿，获取所需光栅尺数据的地址，且与单一运动控制卡同步接收相应地址发送的光栅尺数据的步骤；当VME自定义总线接收到时钟信号时，生成采样保持信号、读取信号和地址信号的步骤。它用于控制多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据。

公开(公告)号：CN104200033A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201410455326.3

申请日：2014-09-09

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 陈兴林 ,  刘法志 ,  刘帅 ,  刘启循 ,  魏凯 ,  张之万 ,  范文超 ,  杨绪东

IPC分类号： G06F17/50

摘要： 基于FPGA和DSP的高速电路板串口的调试方法，属于电路板串口调试领域。为了解决目前的硬件仿真器对电路板串口进行调试时易出错的问题。所述方法是基于FPGA、DSP和CPLD实现的，所述方法包括：采用FPGA确定运行DSP进行串口调试的时序，所述时序包括接收时序和发送时序的步骤；根据确定的时序，采用DSP实现串口调试的步骤；采用CPLD为DSP和FPGA提供正常的电平范围的步骤。它用于电路板的串口调试。

公开(公告)号：CN104181901A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201410448520.9

申请日：2014-09-04

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 陈兴林 ,  刘法志 ,  刘帅 ,  刘启循 ,  魏凯 ,  范文超 ,  张之万 ,  杨旭东

IPC分类号： G05B19/418

CPC分类号： Y02P90/02

摘要： 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统，属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME总线、次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C及实现各功能的板卡。通过基于VxWorks的上位机向次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C发送指令进行通信以及同步控制，次主控卡A、次主控卡B和次主控卡C分别控制相应的板卡通信以及同步，实现多级控制。本发明用于光刻机在实际运行中多板卡之间通信以及同步控制。