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公开(公告)号：CN103944707A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201410198632.3
申请日：2014-05-12
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 全双工与半双工转换器及转换方法，涉及全双工与半双工通信兼容技术。它为了解决解决采用RS422串口通信的数据处理卡与采用RS485串口通信的信号采集卡直接进行通信时，存在数据丢失或误码率高的问题。本发明在半双工信号采集模块与全双工数据处理模块之间设置了三态门集成电路，实现了数据处理卡422串口的发送端与接收端的物理隔离。通过软件实现的各功能模块通过查询接收模块接收数据反馈标志的方式，解决了全双工和半双工端口通信兼容问题，不存在数据丢失及误码现象，保证了数据收发的准确性。本发明适用于采用RS422串口通信的数据处理卡与采用RS485串口通信的信号采集卡之间的通信。
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公开(公告)号：CN104267597A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410448517.7
申请日：2014-09-04
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数，进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数，获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。
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公开(公告)号：CN104044758A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410277187.X
申请日：2014-06-20
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B64G7/00
摘要： 一种线性电机和气浮复合驱动的垂向伺服机构，属于物理仿真领域。所述垂向伺服机构包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分，所述的垂向运动部分由基座、内套筒、外套筒和上平面组成；所述的气路部分位于垂向运动部分外部，由高压气瓶、开关阀、比例阀、气压控制器组成；所述的线性电机部分位于垂向运动部分内部，包括动子和定子；所述传感器部分位于垂向运动部分外部，安装在外套筒的下部。本发明通过气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过调节出口阀开度使外套筒部分得到重力补偿，控制线性电机实现外套筒的垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长等优点。
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公开(公告)号：CN104020691A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410257825.1
申请日：2014-06-11
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G05B19/04
摘要： 适用于多总线协议、多扩展接口的信号采集板卡，属于高精度运动控制的信号采集领域，本发明为解决目前市场上的多数信号采集板卡基于单一PCI、PXI或者ISA总线的方式，没有可以兼容多种总线协议的信号采集板卡的问题。本发明包括FPGA模块、DSP模块、m个RS422模块、通用扩展接口、第一电平转换模块、第二电平转换模块、n个光纤收发芯片、n个光纤接口模块、p个AD采集芯片、总线接口模块、PCI总线转接电路板、PXI总线转接电路板、ISA总线转接电路板和VME总线转接电路板；便于同其他信号采集单元通信或者将其他传感器模块的扩展。同时该信号采集板卡还预留了自定义总线的接口，便于用户根据自己需要自定义总线。
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公开(公告)号：CN104019749A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410277186.5
申请日：2014-06-20
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种用于高精度垂向伺服机构的游标式测量装置及测量方法，属于全物理仿真测量领域。所述测量装置由气路部分、垂向运动部分、测量部分和测量补偿部分构成。本发明气路部分通过调整气压补偿垂向重力，垂向运动部分通过控制运动直线电机带动伺服机构垂向运动，测量部分通过直线光栅测得未补偿前的位移，测量补偿部分通过控制补偿直线电机带动电容传感器基板运动到未补偿前的位移附近，通过使用激光干涉仪标定后的直线光栅，使电容传感器补偿直线光栅的测量误差。从而提高了测量装置的分辨率。相比于现有技术，本发明具有结构简单、控制方便的优点。
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公开(公告)号：CN104019749B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410277186.5
申请日：2014-06-20
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种用于高精度垂向伺服机构的游标式测量装置及测量方法，属于全物理仿真测量领域。所述测量装置由气路部分、垂向运动部分、测量部分和测量补偿部分构成。本发明气路部分通过调整气压补偿垂向重力，垂向运动部分通过控制运动直线电机带动伺服机构垂向运动，测量部分通过直线光栅测得未补偿前的位移，测量补偿部分通过控制补偿直线电机带动电容传感器基板运动到未补偿前的位移附近，通过使用激光干涉仪标定后的直线光栅，使电容传感器补偿直线光栅的测量误差。从而提高了测量装置的分辨率。相比于现有技术，本发明具有结构简单、控制方便的优点。
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公开(公告)号：CN104029829A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410277196.9
申请日：2014-06-20
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 基于双频激光干涉仪的垂向伺服机构测量装置及利用其实现高精度垂向运动的方法，属于物理仿真领域。所述伺服机构测量装置包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分。本发明通过高压气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过气压控制器调节比例阀开度使外套筒部分得到重力补偿；通过外部工控机发送位置指令给控制器，控制器控制定子内部磁场实现垂向运动，驱动动子带动外套筒垂向运动；双频激光干涉仪实时测量当前位移量，并根据压力、温度、湿度测量单元测量的当前气压、温度、湿度对测量值实时校正，从而控制线性电机部分实现外套筒的高精度垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长、精度高等优点。
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公开(公告)号：CN104181901B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201410448520.9
申请日：2014-09-04
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： Y02P90/02
摘要： 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统，属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME总线、次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C及实现各功能的板卡。通过基于VxWorks的上位机向次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C发送指令进行通信以及同步控制，次主控卡A、次主控卡B和次主控卡C分别控制相应的板卡通信以及同步，实现多级控制。本发明用于光刻机在实际运行中多板卡之间通信以及同步控制。
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公开(公告)号：CN104029829B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201410277196.9
申请日：2014-06-20
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 基于双频激光干涉仪的垂向伺服机构测量装置及方法，属于物理仿真领域。所述伺服机构测量装置包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分。本发明通过高压气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过气压控制器调节比例阀开度使外套筒部分得到重力补偿；通过外部工控机发送位置指令给控制器，控制器控制定子内部磁场实现垂向运动，驱动动子带动外套筒垂向运动；双频激光干涉仪实时测量当前位移量，并根据压力、温度、湿度测量单元测量的当前气压、温度、湿度对测量值实时校正，从而控制线性电机部分实现外套筒的高精度垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长、精度高等优点。
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公开(公告)号：CN103944707B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201410198632.3
申请日：2014-05-12
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 全双工与半双工转换器及转换方法，涉及全双工与半双工通信兼容技术。它为了解决解决采用RS422串口通信的数据处理卡与采用RS485串口通信的信号采集卡直接进行通信时，存在数据丢失或误码率高的问题。本发明在半双工信号采集模块与全双工数据处理模块之间设置了三态门集成电路，实现了数据处理卡422串口的发送端与接收端的物理隔离。通过软件实现的各功能模块通过查询接收模块接收数据反馈标志的方式，解决了全双工和半双工端口通信兼容问题，不存在数据丢失及误码现象，保证了数据收发的准确性。本发明适用于采用RS422串口通信的数据处理卡与采用RS485串口通信的信号采集卡之间的通信。
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