利用基带厚度进行自校的电池极板厚度在线测量方法

    公开(公告)号:CN101308017A

    公开(公告)日:2008-11-19

    申请号:CN200810064632.9

    申请日:2008-05-30

    IPC分类号: G01B11/06 H01M4/04

    摘要: 利用基带厚度进行自校的电池极板厚度在线测量方法,本发明涉及采用激光差分检测实现电池极板厚度的在线测量的方法。它克服已有技术因无法实现在线实时自动校准而测量精度低的缺陷。它通过下述步骤实现:电池极板在涂布生产线上以恒速运动;设置在电池极板上表面上方和下表面下方的两个激光位移传感器分别测得其相对于电池极板的距离值;控制计算机内的程序计算同一时刻两个激光位移传感器的基带采样数据的和SUMB;控制计算机内的程序计算同一时刻两个激光位移传感器的涂布区采样数的和SUMM;控制计算机内的程序按(SUMM-SUMB)×K+Db计算出电池极板的厚度,其中K为常数;Db为基带厚度。

    一种抑制直线电机定位力补偿控制器

    公开(公告)号:CN104201963B

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201410460927.3

    申请日:2014-09-11

    IPC分类号: H02P21/00 H02P21/14

    摘要: 一种抑制直线电机定位力补偿控制器,属于电机补偿控制领域。为了解决目前的补偿控制器结构复杂且控制周期长反应速度慢的问题。本发明的补偿控制器,采用迭代控制器的方法,对永磁同步直线电机的推力波动进行在线补偿,其中补偿控制器采用了PI与重复控制相结合的方式进行设计。这种方法避免了利用扰动模型进行补偿控制时,由复杂的数学模型或者冗杂的建模数据带来的系统开销,将非线性的直线电机推力波动补偿控制大幅简化,可以有效降低控制周期进而提升系统的反应速度。它用于直线电机的定位力补偿。

    基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统

    公开(公告)号:CN104181901B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201410448520.9

    申请日:2014-09-04

    IPC分类号: G05B19/418

    CPC分类号: Y02P90/02

    摘要: 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统,属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME总线、次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C及实现各功能的板卡。通过基于VxWorks的上位机向次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C发送指令进行通信以及同步控制,次主控卡A、次主控卡B和次主控卡C分别控制相应的板卡通信以及同步,实现多级控制。本发明用于光刻机在实际运行中多板卡之间通信以及同步控制。

    基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统

    公开(公告)号:CN104181901A

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201410448520.9

    申请日:2014-09-04

    IPC分类号: G05B19/418

    CPC分类号: Y02P90/02

    摘要: 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统,属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME总线、次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C及实现各功能的板卡。通过基于VxWorks的上位机向次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C发送指令进行通信以及同步控制,次主控卡A、次主控卡B和次主控卡C分别控制相应的板卡通信以及同步,实现多级控制。本发明用于光刻机在实际运行中多板卡之间通信以及同步控制。

    LED式固态红外薄膜厚度测量方法

    公开(公告)号:CN101839695A

    公开(公告)日:2010-09-22

    申请号:CN201010208325.0

    申请日:2010-06-24

    IPC分类号: G01B11/06

    摘要: LED式固态红外薄膜厚度测量方法,属于塑料薄膜厚度光学测量领域,本发明为解决采用传统的红外透射法测量薄膜厚度测量误差大、响应速度低的问题。本发明方法为:吸收光LED在光源调制电路的控制下输出波长3.4μm的光脉冲,参比光LED在光源调制电路的控制下后输出波长3.1μm的光脉冲,所述两路不同波长的光同时打在薄膜的同一位置上,透过薄膜的两路光由PbSe传感器吸收并输出电压信号,信号运算和处理单元在光源调制电路输出的同步控制信号的控制下接收所述电压信号,信号运算和处理单元根据接收的电压信号获取薄膜的厚度信息。本发明方法用于在线测量薄膜的厚度。

    超精密运动平台机械谐振的抑制方法

    公开(公告)号:CN104267597A

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201410448517.7

    申请日:2014-09-04

    IPC分类号: G05B13/04 G03F7/20

    摘要: 超精密运动平台机械谐振的抑制方法,属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括:根据运动平台的宏微耦合力学模型,建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型;采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数,进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型,再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数,获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型;进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器;将宏动台的4个陷波器和宏动台串联,将微动台的2个陷波器和微动台串联,完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。

    利用基带厚度进行自校的电池极板涂布区厚度在线测量方法

    公开(公告)号:CN101308017B

    公开(公告)日:2010-09-01

    申请号:CN200810064632.9

    申请日:2008-05-30

    IPC分类号: G01B11/06 H01M4/04

    摘要: 利用基带厚度进行自校的电池极板涂布区厚度在线测量方法,本发明涉及采用激光差分检测实现电池极板厚度的在线测量的方法。它克服已有技术因无法实现在线实时自动校准而测量精度低的缺陷。它通过下述步骤实现:电池极板在涂布生产线上以恒速运动;设置在电池极板上表面上方和下表面下方的两个激光位移传感器分别测得其相对于电池极板的距离值;控制计算机内的程序计算同一时刻两个激光位移传感器的基带采样数据的和SUMB;控制计算机内的程序计算同一时刻两个激光位移传感器的涂布区采样数的和SUMM;控制计算机内的程序按(SUMB-SUMM)×K+Db计算出电池极板涂布区的厚度,其中K为常数;Db为基带厚度。