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公开(公告)号：CN113917791A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111109804.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , F16F15/02 , F16F15/023
Abstract: 本发明涉及光刻设备技术领域，公开了一种用于光刻机的隔振装置，其包括基座、隔振平台、悬挂部、第一隔振机构、第二隔振机构和控制器，控制器可控制第一隔振机构对外界环境传递到隔振平台的振动或隔振平台上其他部件产生的振动进行减振处理，使得隔振平台下的悬挂部受到的振动干扰最小化，为安装在悬挂部上的工件台提供稳定的外部工作环境，控制器可控制第二隔振机构对工件台自身产生的振动进行减振处理，从而维持内部工作环境的稳定，也即，第一隔振机构和第二隔振机构相配合，协同优化了悬挂部内部和外部的隔振效果，为光刻机工件台及整机提供了稳定的运作环境，提高了工件台的运动精度。
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公开(公告)号：CN113833763A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111110723.3
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明涉及精密运动技术领域，公开了一种精密运动气浮支撑装置，其包括基座、导轨和支撑框架，导轨水平设置于基座上并与基座固定连接，支撑框架套设于导轨上并可沿导轨滑动，支撑框架包括底部气浮板、顶部气浮板和侧向气浮板，侧向气浮板设有两块，两块侧向气浮板对称设置，侧向气浮板内设有侧向气路，侧向气浮板表面设有与侧向气路相连通的侧向进气孔和侧向排气孔，底部气浮板内设有底面气路，底部气浮板表面设有与底面气路相连通的底面进气孔和底面排气孔。与现有技术相比，该精密运动气浮支撑装置的结构设计简单可靠，进排气孔与气路设计能够有效降低气源的空间占用量，支撑框架具有良好的运动姿态与运动精度，操作人员的使用体验好。
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公开(公告)号：CN113030547A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110239874.2
申请日：2021-03-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于游标效应的正交臂式MZ干涉仪光纤电流传感器，属于光纤电流传感技术领域。包括宽谱光源、第一耦合器、MZ干涉仪、第二耦合器、环形器、FP干涉仪和光谱仪，宽谱光源、第一耦合器、MZ干涉仪、第二耦合器、环形器和FP干涉仪依次连接，光谱仪与环形器连接。本发明基于全光纤电流传感器的工作原理，提出一种可以抗温度、振动等环境因素干扰的正交臂式MZ光纤电流传感器，并利用游标效应机理提高其电流灵敏度，可通过调整游标效应的放大倍数使传感器适用不同范围的小电流测量，适用不同应用场合。
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公开(公告)号：CN108020783B
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201711273636.3
申请日：2017-12-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R31/34
Abstract: 一种短时负载激励的电机温升等效测试方法，属于电机测试技术领域。本发明是一种利用电机负载短时激励状态下的温升数据准确还原出电机负载持续激励状态下温升数据的方法。本发明的优点是：以电机负载短时激励状态下的测量数据间接得出电机负载持续激励状态下的温升数据，测试过程中电机温升低于负载持续激励时的温升值，降低了电机高温损坏的风险；只需要短时对电机进行激励，电机可长时间处于自然冷却状态，能有效降低能耗；计算过程简单，易于操作，无需使用电机模型、损耗模型及系统相关属性等先验知识，无需获取热传递函数的阶数和具体参数。
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公开(公告)号：CN108282122A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810151013.7
申请日：2018-02-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P21/00
CPC classification number: H02P21/0085 , H02P2207/05
Abstract: 本发明公开了一种高动态响应的永磁同步电机弱磁扩速方法，所述方法步骤如下：弱磁功能模块持续地将ω*和ω与 ωth进行比较，当比较结果满足条件时，使能信号ENABLE为1，同时使能d轴转速调节器，完成功能为根据ω*与ω的误差给出d轴电流给定 在不满足条件时，使能信号不启动，d轴电流给定 为传统d轴电流为零的矢量控制；d轴和q轴电流给定 分别给至d轴和q轴的电流调节器，调节器计算后给出d轴电压ud1与q轴电压uq1，随后通过保留d轴电压的合成电压限幅模块，ud1与uq1被处理为ud与uq。本发明可实现与传统矢量控制速度环性能相近的高动态弱磁扩速控制，在控制过程中没有出现振荡，并能与传统矢量控制无缝切换。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106655704A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610897419.0
申请日：2016-10-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于正交轴传动的Halbach阵列式永磁面齿轮组，属于机电传动领域。为了解决目前用于正交轴传动的永磁平面齿轮和锥齿轮传递的转矩受限的问题。本发明的一种用于正交轴传动的Halbach阵列式永磁面齿轮组，其组成包括两个轮，两个轮均为磁性齿轮，两个轮分别是圆柱轮和平面轮，平面轮水平设置，圆柱轮设置在平面轮上方，且圆柱轮和平面轮的轮轴中心线相正交，圆柱轮和平面轮之间留有气隙；当其中一个轮为主动轮时，另外一个轮为从动轮，主动轮通过磁性力带动从动轮转动。本发明采用Halbach阵列的永磁体能够产生更强的气隙磁密，能够传递的转矩更大。
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公开(公告)号：CN104375083B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201410588851.2
申请日：2014-10-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R31/34
Abstract: 多相偶数单元交流永磁电机噪声测试方法，属于电机测试技术领域。为了解决测试多相偶数单元永磁同步电机的噪声时，需要外加负载设备，而影响电机系统噪声的准确测试问题。在测试电机噪声时，电机N个独立运行单元中一半独立运行单元电动运行作为输入功率端，另一半独立运行单元发电运行作为输出功率端，从而在模拟电机在负载的情况下，保证电机所有单元运行。通过测试这种状态下的电机噪声和相关电机参数等效测试出某一负载状态下的电机噪声，通过改变发电单元的负载电阻即可等效测试出电机任意输出功率状态下的噪声。它用于测试多相偶数单元交流永磁电机的噪声。
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公开(公告)号：CN105811732A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610163458.8
申请日：2016-03-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K41/03
CPC classification number: H02K41/031 , H02K1/146 , H02K1/278
Abstract: 一种三相单定子螺旋运动永磁同步电动机。本发明涉及一种三相单定子螺旋运动永磁同步电动机。每个石墨轴套（2）的外圆周面卡接在相应的定子端板（3）的中心孔内，所述的两个定子端板（3）之间固定有机壳（4），所述的机壳（4）与所述的多个永磁体（8）之间的空间内装入定子铁心（5），所述的定子铁心（5）侧壁内沿轴向贯通加工有九个齿槽（7），所述的九个齿槽（7）沿轴向呈螺旋设置，九个齿槽（7）分成三组，每组齿槽包括三个相邻设置的齿槽，每组齿槽为一相，每个齿槽（7）的内侧壁上加工有一与定子铁心（5）内腔相通的槽口（11），所述的三相绕组（6）包括九个线圈绕组，每个齿槽（7）内随形放置一个线圈绕组。本发明用于永磁同步电动机。
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公开(公告)号：CN105703602A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610163455.4
申请日：2016-03-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: H02K49/102 , H02K7/10
Abstract: 一种水下直驱式推进器用内封闭式径向磁通磁力传动机构。本发明涉及一种水下直驱式推进器用内封闭式径向磁通磁力传动机构。外转子铁心（1）的内圆周面位于敞口一端沿轴向加工有多个燕尾槽Ⅱ（12），且所述的多个燕尾槽Ⅱ（12）沿外转子铁心（1）的内圆周面均布设置，每个所述的燕尾槽Ⅱ（12）内匹配固定有一个外转子磁钢（2），所述的内转子端板（10）环套装在推进器的原动机转轴（9）上并与内转子磁轭（5）的外端固定连接，所述外转子端板（8）与外转子铁心（1）的外端固定连接，所述的隔离套（3）的敞口端设有连接法兰盘（16），隔离套（3）的连接法兰盘（16）与推进器端板（7）之间密封连接。本发明用于水下直驱式推进器。
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公开(公告)号：CN105576860A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201511022967.0
申请日：2015-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 闭合磁路单面永磁磁钢结构的无接触式锁定器，属于航空航天领域，本发明为解决现有锁定器无法满足航天要求的操作简单、工作可靠的诉求问题。本发明包括定子和转子，其中一个与待锁定设备的运动部件装配在一起，另一个与待锁定设备的静止部件装配在一起；定子包括定子轭和两块永磁磁钢；定子轭为U型槽结构；U型槽的内表面相对位置上分别设置一块轴向截面为圆形的永磁磁钢；转子的转子轭为矩形回转体，转子轭下端耦合面的宽度与永磁磁钢的宽度相等；需要锁定操作时，借用外力把运动部件运动至锁定区域，使得转子轭在U型槽通透方向做回转往复运动，当转子轭的耦合面与两块永磁磁钢正好对齐时，待锁定设备的运动部件和静止部件被锁定在一起。
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