超声波单元以及超声波内视镜

    公开(公告)号:CN103648403B

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201280032138.9

    申请日:2012-06-18

    Abstract: 超声波单元(30)具备:超声波阵列(40),具有多个超声波元件(20),该超声波元件沿长边方向配置了超声波收发部(60)、信号电极端子52和接地电极端子(51),并具有长方形的第一主面,超声波元件(20)的各长边被连结起来;至少一根短路线(41),与多个接地电极端子51连接;接地线(43),与短路线(41)连接;多个信号线(42),分别与一个信号电极端子(52)连接,且以各信号电极端子(52)隔着长方形的收发部(60)交替地配置于长边方向的相反侧的方式,连结相邻的超声波元件(20)。

    超声波单元以及超声波内视镜

    公开(公告)号:CN103648403A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201280032138.9

    申请日:2012-06-18

    Abstract: 超声波单元(30)具备:超声波阵列(40),具有多个超声波元件(20),该超声波元件沿长边方向配置了超声波收发部(60)、信号电极端子52和接地电极端子(51),并具有长方形的第一主面,超声波元件(20)的各长边被连结起来;至少一根短路线(41),与多个接地电极端子51连接;接地线(43),与短路线(41)连接;多个信号线(42),分别与一个信号电极端子(52)连接,且以各信号电极端子(52)隔着长方形的收发部(60)交替地配置于长边方向的相反侧的方式,连结相邻的超声波元件(20)。

    超声波元件以及超声波内窥镜

    公开(公告)号:CN103583055B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201280026079.4

    申请日:2012-05-29

    Abstract: US元件(20)具备硅衬底(11)以及在硅衬底(11)上按顺序层叠的:下部电极层(12),具有多个下部电极部(12A)和多个下部布线部(12B),与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子(52)连接;下部绝缘层(13);形成多个空腔(14)的上部绝缘层(15);上部电极层(16),具有多个上部电极部(16A)和多个上部布线部(16B)、与用于检测电容信号的、接地电位的上部电极端子(51)连接;以及保护层(17),并且US元件(20)还具备至少在上述下部布线部(12B)的上侧形成的、与接地电位的屏蔽电极端子(53)连接的屏蔽电极部(71)。

    超声波元件以及超声波内窥镜

    公开(公告)号:CN103597855B

    公开(公告)日:2016-10-19

    申请号:CN201280029137.9

    申请日:2012-05-29

    CPC classification number: B06B1/0622 A61B8/12 A61B8/445 A61B8/4483 B06B1/0292

    Abstract: 超声波元件(20)具备:硅衬底(11);下部电极层(12),具有多个下部电极部(12A)和多个下部布线部(12B),与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子(52)连接;下部绝缘层(13);上部绝缘层(15),形成有分别小于下部电极部(12A)的多个空腔(14);上部电极层(16),具有隔着各个空腔(14)与各个下部电极部(12A)对置配置的、比下部电极部(12A)小而比空腔(14)大的多个上部电极部(16A)、和多个上部布线部(16B),与检测电容信号的接地电位的上部电极端子(51)连接;以及保护层(17)。

    超声波振子元件及超声波内窥镜

    公开(公告)号:CN104823462B

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201380057959.2

    申请日:2013-10-25

    Abstract: 超声波振子元件(20)具备由基板(11)和由多个单元(10)构成的单元群(10Z),所述多个单元(10)分别具有配设在基板(11)之上的下部电极(12)和包括隔着腔体(14H)而与下部电极(12)对置配置的上部电极(16)的膜片(18)、以及通过支承膜片(18)而形成腔体(14H)的多个柱(14),多个单元(10)各自的腔体(14H)相互连通。

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