一种快速换靶单面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

    公开(公告)号:CN104611681A

    公开(公告)日:2015-05-13

    申请号:CN201510066781.9

    申请日:2015-02-09

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/35

    摘要: 本发明公开了一种快速换靶单面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、冷辊、纠偏装置、两个或两个以上的回转换靶装置、以及与每个回转换靶装置位置相对应的两面开口的阴极小室,开卷机构和收卷机构处各设有一组纠偏装置;阴极小室分布于冷辊包覆有基带的圆周面上,且每组回转换靶装置及与其对应的阴极小室均与冷辊设于同一轴线上;开卷机构和收卷机构带动基带实现往复运动。本发明在不打开镀膜真空室的情况下即可及时快速更换阴极靶,并利用基材往复运动实现多层膜层的镀制;一次镀膜行程可以完成多层膜层的镀制,大大提高了镀膜效率,尤其适合于大批量高效率生产。

    一种快速换靶双面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

    公开(公告)号:CN104611680A

    公开(公告)日:2015-05-13

    申请号:CN201510066454.3

    申请日:2015-02-09

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/35

    CPC分类号: C23C14/56 C23C14/35

    摘要: 本发明公开了一种快速换靶双面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于镀膜设备领域。本发明利用开卷机构和收卷机构之间的基带经过设于真空室内的换向辊换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊上,实现基带的双面镀膜,合理利用了真空室的空间;开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置,利用两组纠偏装置实现基带的往复连续运动,使基带的收卷边缘整齐,达到连续镀多层膜的加工目的;通过在每组冷辊上对应设置至少两组回转换靶装置,一次镀膜行程可以完成基材两面多层膜的镀制,大大提高了镀膜机双面镀膜的效率,且镀膜精度高,同时利用回转换靶装置在不打开镀膜真空室的情况下即可及时更换阴极靶,节省了传统换靶后再次抽真空所需的时间。

    基于物联网技术的室内温湿度及感光控制系统装置

    公开(公告)号:CN117873232A

    公开(公告)日:2024-04-12

    申请号:CN202311705874.2

    申请日:2023-12-13

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: G05D27/02

    摘要: 本发明公开了一种基于物联网技术的室内温湿度及感光控制系统装置,包括控制主板和控制系统,所述控制主板选用PCB主板,所述控制主板上设置有照明模块、调压模块、控制开关、执行器;所述控制系统由感应模块和物联网模块组成;所述照明模块包括LED灯,所述调压模块包括电阻一、电容和电阻二、稳压芯片和电容芯片;还包括备用供电接口,所述备用供电接口设置在PCB主板的背面;所述控制开关设置为三极管;所述感应模块包括温湿度传感器和光照传感器。本发明中通过在照明装置结构中组合感应模块,对室内的温湿度以及光照强度进行检测,实现室内温湿度及感光信息的实时采集和传输,通过数据分析和处理,提供给用户一些相关的数据分析和建议。

    一种双焦红外夜视镜头
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115903181A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211273002.9

    申请日:2022-10-18

    申请人: 常州工学院

    发明人: 徐安成

    摘要: 本发明涉及一种红外夜视镜头的光学系统设计,具体为一种双焦红外夜视镜头,通过前面四个镜头构成无焦系统,后面三个镜头与前面组合构成有固定焦距的夜视成像系统,从而更加适用于红外夜视热成像应用;包括由前置四个镜头构成的无焦望远系统;所述无焦望远系统依次包括大口径长焦距的第一正透镜(2)、长焦距的第二正透镜(3)、第一负透镜(4)和第二负透镜(5),还包括由后置三个镜头构成的正透镜组;所述正透镜组依次包括第三正透镜(7)、第四正透镜(8)和第五正透镜(9),其中第四正透镜(8)和第五正透镜(9)具体为两面曲率半径完全相同的弯月形镜头。

    一种360度全景摄像镜头
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111413788A

    公开(公告)日:2020-07-14

    申请号:CN202010260014.2

    申请日:2020-04-03

    申请人: 常州工学院

    发明人: 徐安成

    IPC分类号: G02B13/06

    摘要: 本发明公开了一种360度全景摄像镜头,包括双曲面反射镜M与折射透镜L1、折射透镜L2、折射透镜L3、折射透镜L4,所述折射透镜L4、折射透镜L3、折射透镜L2、折射透镜L1和双曲面反射镜M依次排列,所述折射透镜L1为正透镜;所述折射透镜L2为负透镜;所述折射透镜L3为正透镜;所述折射透镜L4为负透镜。本发明实现了360度全景成像,结构简洁,易实现,成本低。

    一种快速换靶双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

    公开(公告)号:CN104674180B

    公开(公告)日:2017-06-09

    申请号:CN201510068156.8

    申请日:2015-02-09

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/35

    摘要: 本发明公开了一种快速换靶双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、两组冷辊、回转换靶装置和纠偏装置,开卷机构和收卷机构之间的基带经过换向辊换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊上,开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置,且开卷机构和收卷机构带动基带实现往复运动;两组冷辊缠绕有基带的圆周表面上各对应设置有一组两面开口的阴极小室,两组阴极小室各对应设置一组回转换靶装置。本发明在无需打开镀膜真空室的情况下即可及时快速地更换阴极靶,并利用双冷辊及基材的往复运动设计实现了双面多层功能膜的连续镀制,提高了镀膜效率;基材两面的每层功能膜均单独镀制,便于膜层参数控制。

    一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

    公开(公告)号:CN104674176B

    公开(公告)日:2017-06-09

    申请号:CN201510068119.7

    申请日:2015-02-09

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/56

    摘要: 本发明公开了一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于真空镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、两组冷辊、纠偏装置和回转换靶装置,开卷机构和收卷机构之间的基带经过设于真空室内的换向辊换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊上,开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置;每组冷辊的包覆有基带的圆周面上至少对应设置两组回转换靶装置,每组回转换靶装置与对应的冷辊之间均设置有一组两面开口的阴极小室;开卷机构和收卷机构带动基带往复运动。本发明在不打开真空室的情况下即可及时更换靶材,并利用双冷辊及基材的往复运动设计实现了双面多层膜层的连续镀制,大大提高了镀膜机双面镀膜的效率;结构紧凑,占地空间小。

    一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线

    公开(公告)号:CN104651792B

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201510103231.X

    申请日:2015-03-09

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/56

    摘要: 本发明公开了一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线,属于镀膜设备领域。本发明包括开卷室、收卷室和镀膜真空室,开卷室与镀膜真空室之间还设有放卷储料室,收卷室与镀膜真空室之间还设有收卷储料室,放卷储料机构的前方设有热合机构,收卷储料机构的后方依次设有切断机构和基材变向机构;缠绕于两组开卷辊上的其中一卷基材的一端依次经过热合机构、放卷储料机构、前处理机构、冷辊、收卷储料机构和切断机构,并经过基材变向机构后缠绕于其中一组收卷辊上。本发明利用开卷的提前备料和收卷的提前备辊,并结合开卷和收卷的储料机构实现多卷基材的连续镀制,省去了中间换卷及抽真空的时间,大大提高了镀膜效率。

    一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

    公开(公告)号:CN104674176A

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201510068119.7

    申请日:2015-02-09

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/56

    摘要: 本发明公开了一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于真空镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、两组冷辊、纠偏装置和回转换靶装置,开卷机构和收卷机构之间的基带经过设于真空室内的换向辊换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊上,开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置;每组冷辊的包覆有基带的圆周面上至少对应设置两组回转换靶装置,每组回转换靶装置与对应的冷辊之间均设置有一组两面开口的阴极小室;开卷机构和收卷机构带动基带往复运动。本发明在不打开真空室的情况下即可及时更换靶材,并利用双冷辊及基材的往复运动设计实现了双面多层膜层的连续镀制,大大提高了镀膜机双面镀膜的效率;结构紧凑,占地空间小。

    一种柔性基材双面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线

    公开(公告)号:CN104651799A

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201510103282.2

    申请日:2015-03-09

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/35

    CPC分类号: C23C14/562 C23C14/35

    摘要: 本发明公开了一种柔性基材双面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线,属于镀膜设备领域。本发明包括开卷室、收卷室和镀膜真空室,开卷室与镀膜真空室之间还设有放卷储料室,收卷室与镀膜真空室之间还设有收卷储料室,放卷储料机构的前方设有热合机构,收卷储料机构的后方设有切断机构和基材变向机构;缠绕于两组开卷辊上的其中一卷基材的一端依次经过热合机构、放卷储料机构和前处理机构后,经换向辊换向后反向缠绕于两组冷辊上,并依次经过收卷储料机构、切断机构和基材变向机构后缠绕于其中一组收卷辊上。本发明利用开卷的提前备料和收卷的提前备辊实现多卷基材的连续镀制,大大提高了镀膜效率,并利用基材在两组冷辊上反向缠绕实现基材双面镀膜。