静电吸盘和衬底固定装置
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112117229A

    公开(公告)日:2020-12-22

    申请号:CN202010565525.5

    申请日:2020-06-19

    Abstract: 本发明提供一种静电吸盘和衬底固定装置,该静电吸盘包括:至少一个导体层;静电电极;以及基体,静电电极埋入在基体中,基体具有第一介电层,静电电极安装在第一介电层上,基体具有堆叠在第一介电层上并覆盖静电电极的第二介电层。导体层形成在第一介电层的与安装静电电极的表面相反的表面上。第二介电层具有面向第一介电层的第一表面以及与第一表面相反的第二表面,并且第二表面是放置吸附对象的放置表面。第一介电层的相对介电常数低于第二介电层的相对介电常数。

    用于SOx测量的气体传感器
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100480696C

    公开(公告)日:2009-04-22

    申请号:CN200310121349.2

    申请日:2003-12-12

    CPC classification number: G01N33/0042 G01N27/4074 Y02A50/248

    Abstract: 一种用于SOX测定的气体传感器,包括:一个衬底,一个辅助电极,一个第一电极,一个第二电极,和一个气体管,所述衬底由固体电解质材料构成;所述辅助电极由在衬底一个表面上所形成的结晶硫酸盐构成,所述结晶硫酸盐包括硫酸银,所述第一电极包括在所述辅助电极上形成的银,所述第二电极在衬底的另一个表面上形成,及所述气体管用于引入覆盖衬底一个表面的测定气体,用一个石英管作为气体管。

    燃料电池装置
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1536697A

    公开(公告)日:2004-10-13

    申请号:CN200410033710.0

    申请日:2004-04-08

    Abstract: 一种燃料电池装置包括:两个垂直安放的具有不同直径的圆柱型燃料电池,每个燃料电池包括具有第一和第二表面的固体电解层,在所述固体电解层的第一表面上形成的阳极层、以及在所述固体电解层的另一个表面上形成的阴极层。所述两个燃料电池以这样的方式相互安放:一个所述燃料电池的所述阳极层与另一个燃料电池的阳极层相对,所述燃料电池之间具有预定的空隙以及所述空隙从下部位置垂直地延伸到上部位置。燃料供给单元,用于在所述空隙的下部位置给所述空隙提供燃料,以在所述空隙中在所述空隙延伸的向上方向形成火焰。

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