公开(公告)号：CN113495023A

公开(公告)日：2021-10-12

申请号：CN202110280412.5

申请日：2021-03-16

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 满欣 ,  麻畑达也

IPC: G01N1/28 ,  G01N1/30 ,  G01N1/31 ,  G01N1/36 ,  G01N21/84 ,  G01N23/2251

Abstract: 提供生体组织试样的观察方法。能够容易地掌握存在于生体组织内的观察对象区域，并且，能够容易地从生体组织的试样块切出多个试样片。具有以下工序：树脂包埋工序，形成试样块；固定工序，将所述试样块切分成多个试样片，将各个试样片固定于试样片放置部件，形成多个观察试样；观察对象区域确定工序，确定进行精密观察的观察对象区域；坐标确定工序，按照各个所述观察试样确定所述观察对象区域在所述试样片上的坐标并进行登记；铣削工序，参照所述坐标，对所述试样片的所述观察对象区域照射以气体为离子源的离子束或中性粒子束，使位于所述试样片的内部的观察面露出；以及拍摄工序，通过扫描型电子显微镜取得所述观察面的SEM像。

公开(公告)号：CN112635278A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN202010993810.7

申请日：2020-09-21

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 麻生拓笃 ,  满欣 ,  佐藤诚 ,  麻畑达也

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 提供粒子束照射装置，进行基于多个检测器的观察时，能缩短多个检测器的亮度调整的时间。粒子束照射装置具有照射粒子束的照射部、检测第1粒子的第1检测部、检测第2粒子的第2检测部、像形成部和控制部，像形成部进行如下处理：形成基于第1检测部检测到第1粒子的第1信号的观察像；形成基于第2检测部检测到第2粒子的第2信号的观察像，控制部进行如下处理：计算形成的第1观察像的第1区域的亮度，第1区域的亮度与第1目标亮度不同时，根据第1目标亮度进行第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；计算形成的第2观察像的第2区域的亮度，第2区域的亮度与第2目标亮度不同时，根据第2目标亮度进行第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。

公开(公告)号：CN107230649A

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201710182754.7

申请日：2017-03-24

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 满欣 ,  上本敦

IPC: H01L21/66 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/222 ,  G02B21/361 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/226 ,  H01L22/12

Abstract: 本发明涉及剖面加工观察方法、剖面加工观察装置。在短时间内高精度地进行包含特定观察对象物的特定部位的加工，并且，迅速地生成特定观察对象物的高分辨率的三维立体像。具有：位置信息取得工序，使用光学显微镜或电子显微镜对观察对象的样品整体进行观察，取得所述样品所包含的特定观察对象物的在所述样品内的大概的三维位置坐标信息；剖面加工工序，基于所述三维位置坐标信息，朝向所述样品之中所述特定观察对象物所存在的特定部位照射聚焦离子束，使该特定部位的剖面露出；剖面像取得工序，向所述剖面照射电子束，取得包含所述特定观察对象物的规定的大小的区域的图像；以及立体像生成工序，以规定间隔沿着规定方向多次重复进行所述剖面加工工序和所述剖面像取得工序，根据所取得的多个所述剖面图像来构筑包含所述特定观察对象物的三维立体像。