公开(公告)号：CN119448966A

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202410975457.8

申请日：2024-07-19

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 水泽周一

IPC: H03H9/05 ,  H03H9/15 ,  H03H3/02

Abstract: 本发明提供一种压电器件用的具有新颖结构的基座、其制造方法以及压电器件。基座(10)包括：第一基板(11)，包含水晶；压电元件用的搭载垫(11c)，设置于第一基板的第一面(11a)；接触孔(11d)及接触孔线路(11e)，设置于第一基板，从搭载垫通到与第一面为相反面的第二面(11b)；第一金属膜(11f)，设置于第二面的包含所述接触孔的周围区域的区域内；第二基板(13)，包含水晶；第二金属膜(13b)，设置于第二基板的第一基板侧的面，与第一金属膜一起构成金属间接合；导引线路(13e)；堞形部(13f)；以及外部安装端子(13g)。接触孔的第二面侧的开口面积(α)比第一面侧的开口面积(β)大。

公开(公告)号：CN102769443B

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201210076519.9

申请日：2012-03-21

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 水泽周一

IPC: H03H9/02 ,  H03H3/02 ,  H03H9/19

CPC classification number: H03H3/02 ,  H03H9/02086 ,  H03H9/1035 ,  H03H9/177 ,  H03H9/19

Abstract: 本发明的目的在于提供振动区域的励振电极及引出电极以均匀的厚度形成且能够防止不需要的振动的产生以及振动特性的劣化的压电振动片。压电振动片(100)具备：振动部(101)，其在中央区域形成有第一厚度(d1)的励振电极(102a、102b)；外框部(108)，其包围振动部并与振动部隔着空隙(105)而形成；连结部(104a、104b)，其连结振动部与外框部；以及引出电极(103a、103b)，其从励振电极引出且形成于振动部、连结部及外框部。并且，引出电极在整个振动部具有第一厚度且在外框部具有比第一厚度厚的第二厚度(d2)。

公开(公告)号：CN103296196A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201310055544.3

申请日：2013-02-21

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 水泽周一

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/053 ,  H01L41/047 ,  H01L41/22 ,  H01L41/29

CPC classification number: H01L41/047 ,  H01L41/29 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/1035 ,  H03H2003/022 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供一种压电元件以及压电元件的制造方法。压电元件具有：压电振动片，包含激振电极以及从激振电极引出的引出电极；基础板，在一个主面形成有电性连接于引出电极的连接电极，在另一个主面形成有安装端子；以及盖板。在基础板的另一个主面的相向的边上，形成有向一个主面侧凹陷的阶差部与从另一个主面贯穿至一个主面为止的凹陷部(castellation)，在阶差部的一部分与凹陷部上，形成有从安装端子引出至基础板的一个主面的配线电极。配线电极与安装端子包含金属膜以及通过无电解镀敷而形成于该金属膜上的无电解镀敷膜。

公开(公告)号：CN103296195A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201310055507.2

申请日：2013-02-21

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 水泽周一

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/053 ,  H01L41/047 ,  H01L41/22 ,  H01L41/29

CPC classification number: H01L41/053 ,  H01L41/29 ,  H03H9/0595 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/1035 ,  H03H9/17 ,  H03H9/19 ,  H03H2003/022 ,  H03H2003/0485 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供一种防止通过无电解镀敷而形成的电极的剥离的压电元件以及压电元件的制造方法。表面安装型的压电元件(100)具有：压电振动片(130)，包含以规定的振动频率而振动的振动部；基础板(120)，形成为矩形形状且在一方的主面载置压电振动片；以及盖板(110)，密封振动部。在基础板的另一方的主面，形成有安装端子(124a、124b)，所述安装端子(124a、124b)包含金属膜(151)及形成在金属膜表面的无电解镀敷膜(153)，且用于安装压电元件。安装端子包含通过激光或切割而去除无电解镀敷膜的一部分的迹线(128)。

公开(公告)号：CN102769443A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201210076519.9

申请日：2012-03-21

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 水泽周一

IPC: H03H9/02 ,  H03H3/02 ,  H03H9/19

CPC classification number: H03H3/02 ,  H03H9/02086 ,  H03H9/1035 ,  H03H9/177 ,  H03H9/19

Abstract: 本发明的目的在于提供振动区域的励振电极及引出电极以均匀的厚度形成且能够防止不需要的振动的产生以及振动特性的劣化的压电振动片。压电振动片(100)具备：振动部(101)，其在中央区域形成有第一厚度(d1)的励振电极(102a、102b)；外框部(108)，其包围振动部并与振动部隔着空隙(105)而形成；连结部(104a、104b)，其连结振动部与外框部；以及引出电极(103a、103b)，其从励振电极引出且形成于振动部、连结部及外框部。并且，引出电极在整个振动部具有第一厚度且在外框部具有比第一厚度厚的第二厚度(d2)。

公开(公告)号：CN102420580A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201110264614.7

申请日：2011-09-05

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 水泽周一

IPC: H03H9/02 ,  H03H3/02 ,  H01L41/09 ,  H01L41/053

CPC classification number: H01L41/23 ,  H03H9/0595 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/1035

Abstract: 本发明提供一种压电装置，就该压电装置而言，基部与盖部的接合强度强，从压电装置的外侧向空腔内或其反向的气体等的泄漏少。压电装置(100)收放有利用电压的施加进行振动的压电振动片(10)。压电装置具备：具有以规定的宽度形成在平面的周围的第1端面(M1)的盖部(11)；以及具有接合在盖部的第1端面的第2端面(M2)与从第2端面凹进的凹部的基部(12)。盖部的第1端面及基部的第2端面的至少一方为粗糙面，在粗糙面上分别形成金属膜(AC1、AC2)，盖部与基部利用封装材料(LG)通过金属膜进行接合。

公开(公告)号：CN103311430B

公开(公告)日：2017-06-09

申请号：CN201310081559.7

申请日：2013-03-14

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 早坂太一 ,  水泽周一

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/293

CPC classification number: H01L41/0805 ,  H01L24/97 ,  H01L41/29 ,  H01L2224/16225 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/1035 ,  H03H9/131 ,  H03H2003/022 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供一种压电装置以及压电装置的制造方法，压电装置具有：压电振动片，包含形成激振电极的振动部及引出电极；基础板，在一个主面上载置压电振动片且形成有电性连接于引出电极的连接电极，在另一个主面上形成有安装端子；以及盖板。安装端子的至少一部分包括：第1金属膜，通过溅镀或者真空蒸镀而层叠多个金属层；第2金属膜，层叠与第1金属膜同样的多个金属层，且以覆盖第1金属膜的方式形成，或者形成于第1金属膜的表面的一部分上，且第2金属膜的面积不同于第1金属膜；以及无电解镀敷膜，至少在第2金属膜的表面通过无电解镀敷而形成。本发明的压电装置以及压电装置的制造方法，能够防止通过无电解镀敷而形成的电极的剥离。

公开(公告)号：CN103296196B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201310055544.3

申请日：2013-02-21

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 水泽周一

IPC: H03H9/10

CPC classification number: H01L41/047 ,  H01L41/29 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/1035 ,  H03H2003/022 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供一种压电元件以及压电元件的制造方法。压电元件具有：压电振动片，包含激振电极以及从激振电极引出的引出电极；基础板，在一个主面形成有电性连接于引出电极的连接电极，在另一个主面形成有安装端子；以及盖板。在基础板的另一个主面的相向的边上，形成有向一个主面侧凹陷的阶差部与从另一个主面贯穿至一个主面为止的凹陷部(castellation)，在阶差部的一部分与凹陷部上，形成有从安装端子引出至基础板的一个主面的配线电极。配线电极与安装端子包含金属膜以及通过无电解镀敷而形成于该金属膜上的无电解镀敷膜。

公开(公告)号：CN102904542B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201210228562.2

申请日：2012-07-02

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 原田雅和 ,  山田博章 ,  有路巧 ,  高桥岳宽 ,  水泽周一

IPC: H03H9/02

CPC classification number: H03H9/131 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02133 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/1035 ,  H03H9/177 ,  H03H2003/021

Abstract: 本发明提供压电振动片以及压电元件，压电振动片包括激振部、框部以及连结部。激振部包含沿着第一方向延伸的第一边及沿着第二方向延伸的第二边，第二方向与第一方向正交。连结部在第三方向上的厚度为第一厚度，所述第三方向与第一方向及第二方向正交。激振部包含第一区域、第二区域以及第三区域。激振电极形成在第一区域。第二区域以第一厚度而直接连结于连结部。第三区域配置在第一区域与第二区域之间。而且在第三方向上的厚度为第二厚度，第二区域在第三方向上的厚度形成得比第二厚度更厚。

公开(公告)号：CN102891659B

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201210248856.1

申请日：2012-07-18

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 高桥岳宽 ,  水泽周一

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/13 ,  H03H9/15

CPC classification number: H03H9/132 ,  H03H3/04 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/1035 ,  H03H9/177 ,  H03H2003/0428 ,  H03H2003/0478 ,  H03H2003/0485

Abstract: 本发明提供一种压电振动片、压电元件及压电元件的制造方法。压电振动片接合至、并夹于盖板与具有外部电极的基底板之间。压电振动片具有：位于盖板侧的第一主表面以及位于基底板侧的第二主表面。压电振动片包含：激振单元、第一激振电极、第二激振电极、框架部、一个连接部、第一引出电极以及第二引出电极。连接部包含：与两个主表面平行的平面，及与所述平面相交的侧面。第一引出电极是通过所述连接部而引出。第二引出电极是通过所述连接部而引出。第一引出电极是设置于所述连接部的侧面的至少一部分、以使第一引出电极被引出至所述框架部。