公开(公告)号：CN1111616C

公开(公告)日：2003-06-18

申请号：CN97191300.5

申请日：1997-08-19

Applicant: 时至准钟表股份有限公司

Inventor： 杉山修 ,  宫行男 ,  小池龙太 ,  户井田孝志 ,  关根敏一

IPC: C23C16/26 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C16/045 ,  C23C16/26 ,  Y10S427/103 ,  Y10S427/104

Abstract: 将自动车床用的导衬(11)配置在真空槽(61)内，并将接地的或施加有直流正电压的辅助电极(71)插入到形成与该被加工物滑动接触的内周面(11b)的中心开口(11j)内，然后对真空槽内进行排气，使其达到规定的真空度以下的初始到达压力；此后，将直流电压加在上述导衬(11)上，同时将直流电压加在阳极(79)上，并将交流电压加在白热丝(81)上，然后将含碳的气体导入真空槽(61)内，发生等离子体；利用等离子体CVD工艺方法，在导衬(11)的内周面上形成硬质碳膜的同时控制该真空槽(61)内的压力，使其达到比上述初始到达压力要高的被膜形成压力。

公开(公告)号：CN1063116C

公开(公告)日：2001-03-14

申请号：CN96192438.1

申请日：1996-03-08

Applicant: 时至准钟表股份有限公司

Inventor： 宫行男 ,  杉山修 ,  小池龙太 ,  户井田孝志 ,  木村壮作 ,  小久保邦彦

IPC: B23B13/12 ,  C23C16/26 ,  C23C16/50

CPC classification number: B23B31/202 ,  B23B13/125 ,  B23B2222/28 ,  B23B2222/88 ,  B23B2231/2059 ,  C23C16/0281 ,  C23C16/045 ,  C23C16/26 ,  Y10T279/17418 ,  Y10T279/17452

Abstract: 本发明提供设在自动车床上、用于保持被加工物的导筒以及在其内周面形成硬质碳膜的方法。在本发明中，在导筒(11)的与被加工物(51)滑接的内周面(11b)上设置硬质碳膜(15)，在导筒(11)内周面上形成硬质碳膜(15)的方法是，把导筒(11)配置在真空槽内，把辅助电极插入导筒(11)的形成与被加工物(15)滑接之内周面(11b)的中心开口内，导入含碳气体，产生等离子体，形成硬质碳膜。从而，可在内周面上有效地形成硬质碳膜，该硬质碳膜有良好的密接性和均匀的碳膜厚度。在上述方法中，在形成硬质碳膜时，可以在硬质碳膜与内周面之间夹设硬质部件或者通过中间层进一步提高硬质碳膜的密接性。因此，可以明显地增加导筒(11)的强度和寿命，即使进行切削量大、加工速度高的强力切削，在被加工物上也不产生伤痕，不产生烧接，可进行长时间的高精度加工。

公开(公告)号：CN1205037A

公开(公告)日：1999-01-13

申请号：CN97191300.5

申请日：1997-08-19

Applicant: 时至准钟表股份有限公司

Inventor： 杉山修 ,  宫行男 ,  小池龙太 ,  户井田孝志 ,  关根敏一

IPC: C23C16/26 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C16/045 ,  C23C16/26 ,  Y10S427/103 ,  Y10S427/104

Abstract: 将自动车床用的导衬(11)配置在真空槽(61)内,并将接地的或施加有直流正电压的辅助电极(71)插入到形成与该被加工物滑动接触的内周面(11b)的中心开口(11j)内,然后对真空槽内进行排气,使其达到规定的真空度以下的初始到达压力;此后,将直流电压加在上述导衬(11)上,同时将直流电压加在阳极(79)上,并将交流电压加在白热丝(81)上,然后将含碳的气体导入真空槽(61)内,发生等离子体;利用等离子体CVD工艺方法,在导衬(11)的内周面上形成硬质碳膜的同时控制该真空槽(61)内的压力,使其达到比上述初始到达压力要高的被膜形成压力。