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公开(公告)号：CN1065573C
公开(公告)日：2001-05-09
申请号：CN97116062.7
申请日：1997-08-19
Applicant: 时至准钟表股份有限公司
CPC classification number: C23C16/0272 , B23B13/125 , B23B31/202 , B23B2228/04 , B23B2228/08 , B23B2231/2059 , C23C16/045 , C23C16/26 , C23C16/50 , C23C16/503 , Y10T279/17427 , Y10T279/17452
Abstract: 本发明旨在装于自动车床的导向套筒与被加工件滑动连接的内表面上形成硬质碳膜。本发明将导向套筒放置于真空槽中，利用等离子体CVD法在其内表面上形成氢化非晶碳的硬质碳膜。此时，在够成导向套筒内表面的中心开口中，将前端比其它部分细的台阶型的棒状或在其前端部有前部细的锥形部分的棒状的辅助电极插入，使其前端部或锥形部的前端位于导向套筒上述开口端附近的位置，该辅助电极可以接地也可以在其上加上直流正电压。
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公开(公告)号：CN1205038A
公开(公告)日：1999-01-13
申请号：CN97191299.8
申请日：1997-08-15
Applicant: 时至准钟表股份有限公司
CPC classification number: C23G5/00
Abstract: 在将辅助电极(71)插入到与被加工物相滑动接触的内周面上形成有硬质碳膜(15)的导衬(11)的中心开口(11j)内的状态下,将该导衬(11)配置在内部备有阳极(79)和白热丝(81)的真空槽(61)内,将辅助电极(71)接地或对其加上直流正电压,在将真空槽(61)内排气后,将含氧的气体导入,通过将直流电压加在导衬(11)上,同时分别将直流电压加在阳极(79)上,而将交流电压加在白热丝(81)上,使真空槽(61)内产生等离子体,从而将上述硬质碳膜(15)从导衬(11)的内周面上刻蚀除去。
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公开(公告)号：CN1197486A
公开(公告)日：1998-10-28
申请号：CN97190873.7
申请日：1997-07-08
Applicant: 时至准钟表股份有限公司
CPC classification number: C23C16/26 , B23B31/202 , B23B2231/2059 , C23C16/509
Abstract: 在被装在自动车床上的在切削工具附近对被加工件(51)可以转动和在轴方向滑动地进行保持的导向轴套(11)的、与被加工件(51)相滑动接触的内周面(11b)和其开口端面的靠近内周面部分(11h)上,直接或经用于提高粘结性的中间层,或先设置硬质部件再直接或经用于提高粘结性的中间层,由使用辅助电极和模型部件的等离子体CVD工艺而形成硬质碳膜(15)。由此,可以显著提高导向轴套(11)的耐久性,即使是在自动车床长期使用或进行重切削时,也可以防止出现因烧伤而使切削不能进行的情况。又,还可以防止发生因被加工件的毛刺而对导向轴套(11)的内周面所造成的损伤。
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公开(公告)号：CN1175489A
公开(公告)日：1998-03-11
申请号：CN97116062.7
申请日：1997-08-19
Applicant: 时至准钟表股份有限公司
IPC: B23B13/02
CPC classification number: C23C16/0272 , B23B13/125 , B23B31/202 , B23B2228/04 , B23B2228/08 , B23B2231/2059 , C23C16/045 , C23C16/26 , C23C16/50 , C23C16/503 , Y10T279/17427 , Y10T279/17452
Abstract: 本发明旨在装于自动车床的导向套筒与被加工件滑动连接的内表面上形成硬质碳膜。本发明将导向套筒放置于真空槽中,利用等离子体CVD法在其内表面上形成氢化非晶碳的硬质碳膜。此时,在构成导向套筒内表面的中心开口中,将前端比其它部分细的台阶型的棒状或在其前端部有前部细的锥形部分的棒状的辅助电极插入,使其前端部或锥形部的前端位于导向套筒上述开口端附近的位置,该辅助电极可以接地也可以在其上加上直流正电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1107742C
公开(公告)日：2003-05-07
申请号：CN97190873.7
申请日：1997-07-08
Applicant: 时至准钟表股份有限公司
CPC classification number: C23C16/26 , B23B31/202 , B23B2231/2059 , C23C16/509
Abstract: 在被装在自动车床上的在切削工具附近对被加工件(51)可以转动和在轴方向滑动地进行保持的导向轴套(11)的、与被加工件(51)相滑动接触的内周面(11b)和其开口端面的靠近内周面部分(11h)上，直接或经用于提高粘结性的中间层，或先设置硬质部件再直接或经用于提高粘结性的中间层，由使用辅助电极和模型部件的等离子体CVD工艺而形成硬质碳膜(15)。由此，可以显著提高导向轴套(11)的耐久性，即使是在自动车床长期使用或进行重切削时，也可以防止出现因烧伤而使切削不能进行的情况。又，还可以防止发生因被加工件的毛刺而对导向轴套(11)的内周面所造成的损伤。
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公开(公告)号：CN1178257A
公开(公告)日：1998-04-08
申请号：CN97116061.9
申请日：1997-08-19
Applicant: 时至准钟表股份有限公司
Abstract: 本发明将自动车床中用于保持被加工件使之可以旋转和沿轴向运动的导向套筒放置在真空槽中,在导向套筒和被加工件滑动接触的内表面上,形成质量均匀粘着性好的硬质碳膜。为此,将导向套筒放置于真空槽中,在构成上述内表面的中心开口处插入辅助电极,将该电极接地;在将真空槽排气后,经气体导入口将含碳的气体导入真空槽中,在上述导向套筒上经电抗器加上直流电压后,在真空槽中产生等离子体,利用等离子体CVD法在导向套筒的内表面形成氢化非晶状碳的硬质碳膜。
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公开(公告)号：CN1116451C
公开(公告)日：2003-07-30
申请号：CN97191299.8
申请日：1997-08-15
Applicant: 时至准钟表股份有限公司
CPC classification number: C23G5/00
Abstract: 在将辅助电极(71)插入到与被加工物相滑动接触的内周面上形成有硬质碳膜(15)的导衬(11)的中心开口(11j)内的状态下，将该导衬(11)配置在内部备有阳极(79)和白热丝(81)的真空槽(61)内，将辅助电极(71)接地或对其加上直流正电压，在将真空槽(61)内排气后，将含氧的气体导入，通过将直流电压加在导衬(11)上，同时分别将直流电压加在阳极(79)上，而将交流电压加在白热丝(81)上，使真空槽(61)内产生等离子体，从而将上述硬质碳膜(15)从导衬(11)的内周面上刻蚀除去。
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公开(公告)号：CN1111616C
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：CN97191300.5
申请日：1997-08-19
Applicant: 时至准钟表股份有限公司
CPC classification number: C23C16/045 , C23C16/26 , Y10S427/103 , Y10S427/104
Abstract: 将自动车床用的导衬(11)配置在真空槽(61)内，并将接地的或施加有直流正电压的辅助电极(71)插入到形成与该被加工物滑动接触的内周面(11b)的中心开口(11j)内，然后对真空槽内进行排气，使其达到规定的真空度以下的初始到达压力；此后，将直流电压加在上述导衬(11)上，同时将直流电压加在阳极(79)上，并将交流电压加在白热丝(81)上，然后将含碳的气体导入真空槽(61)内，发生等离子体；利用等离子体CVD工艺方法，在导衬(11)的内周面上形成硬质碳膜的同时控制该真空槽(61)内的压力，使其达到比上述初始到达压力要高的被膜形成压力。
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公开(公告)号：CN1205037A
公开(公告)日：1999-01-13
申请号：CN97191300.5
申请日：1997-08-19
Applicant: 时至准钟表股份有限公司
CPC classification number: C23C16/045 , C23C16/26 , Y10S427/103 , Y10S427/104
Abstract: 将自动车床用的导衬(11)配置在真空槽(61)内,并将接地的或施加有直流正电压的辅助电极(71)插入到形成与该被加工物滑动接触的内周面(11b)的中心开口(11j)内,然后对真空槽内进行排气,使其达到规定的真空度以下的初始到达压力;此后,将直流电压加在上述导衬(11)上,同时将直流电压加在阳极(79)上,并将交流电压加在白热丝(81)上,然后将含碳的气体导入真空槽(61)内,发生等离子体;利用等离子体CVD工艺方法,在导衬(11)的内周面上形成硬质碳膜的同时控制该真空槽(61)内的压力,使其达到比上述初始到达压力要高的被膜形成压力。
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