公开(公告)号：CN110178236B

公开(公告)日：2023-09-26

申请号：CN201880007206.3

申请日：2018-01-17

Applicant: 国立大学法人东北大学 ,  柯尼卡美能达株式会社 ,  旋转感应制造厂株式会社

Inventor： 安藤康夫 ,  大兼干彦 ,  藤原耕辅 ,  关根孝二郎 ,  城野纯一 ,  土田匡章

IPC: H10N50/01 ,  G01R33/09 ,  H01F10/16 ,  H01F41/22 ,  H10N50/10 ,  H10N50/85

Abstract: 使具有足够厚度的B吸收层与MTJ的上侧CoFeB层邻接并经过磁化退火而实现了期望的TMR比后，高精度地去除该B吸收层。在去除经过了层叠工序以及磁场中热处理工序后的MTJ的上侧CoFeB层(31)的上层(51‑53、61)的干法蚀刻工序中，应用干法蚀刻装置以及识别由该干法蚀刻装置蚀刻的被蚀刻面的材料的分析装置，将蚀刻的结束设为由分析装置检测出所述CoFeB层的正上方B吸收层(51)暴露前的最终层(61、52或者53)减少至规定的水平或者所述正上方B吸收层增加至规定的水平的终点检测时。预先确定好分析装置的终点检测时之后的干法蚀刻装置的过蚀刻量，在层叠工序中，使从所述规定的水平到所述CoFeB层的上表面为止以仅与该过蚀刻量相当的层厚层叠所述正上方B吸收层。

公开(公告)号：CN108431620B

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201680076140.4

申请日：2016-12-28

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社 ,  国立大学法人东北大学

Inventor： 藤原耕辅 ,  大兼干彦 ,  安藤康夫 ,  城野纯一 ,  寺内孝

IPC: G01R33/09 ,  G01R33/02 ,  H01L43/08

Abstract: 包括：包含多个隧道磁阻元件(20)的元件阵列(10a)，所述多个隧道磁阻元件(20)分别具有固定磁性层(21)、自由磁性层(22)、以及被设置于固定磁性层及自由磁性层(22)之间的绝缘层(23)，且在外界磁场的影响下分别使绝缘层(23)的隧道电阻改变；以及对构成元件阵列(10a)的多个隧道磁阻元件(20)施加电压的电路(30)，施加于各隧道磁阻元件(20)的电压在0.1mV以上且50mV以下。

公开(公告)号：CN110573895A

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201880027218.2

申请日：2018-04-24

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 城野纯一 ,  关根孝二郎 ,  土田匡章

IPC: G01R33/09 ,  G01N27/72 ,  H01L43/08

Abstract: 一种磁传感器，抑制各磁阻元件的检测位置以及检测时刻的偏移，并以高精度并且以高空间分辨率进行测定。磁传感器100在与第一磁阻元件1以及第二磁阻元件2的平面正交的方向上排列有多个磁阻元件单元10，该磁阻元件单元10中以第一方向为检测轴的平面型的第一磁阻元件1与以和第一方向不同的第二方向为检测轴的平面型的第二磁阻元件2对置配置，与测定样品6对置的面是与磁阻元件单元10的排列方向平行的面103。

公开(公告)号：CN103237489B

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201180051529.0

申请日：2011-10-20

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 城野纯一 ,  泷村俊则 ,  田尾祥一

IPC: A61B1/00 ,  G01N21/64

CPC classification number: G01N21/01 ,  A61B5/0071 ,  A61B5/0084 ,  G01N21/645 ,  G01N2021/6484 ,  G02B23/2469

Abstract: 本发明提供一种探针，在该光学探针中，分别独立地具有照射照射光的照射导光路以及用于取得放射光的受光导光路，从而能够高效地取得要测定的放射光。探针（10）分别独立地具有：第一光纤（1），其构成用于引导照射光的照射导光路；第二光纤（2），其构成用于取得来自生物体的放射光的受光导光路，探针（10）还具有聚光透镜（3），该聚光透镜（3）接收从第一光纤射出的照射光并向测定对象部位侧射出，并接收从测定对象部位放射的放射光并向第一、第二光纤侧聚光。第一光纤的射出端中心轴相对于聚光透镜的光轴偏移和/或倾斜，聚光透镜表面上的反射光远离第二光纤的受光端中心，并且使被聚光透镜聚光的放射光接近第二光纤的受光端中心。

公开(公告)号：CN103237489A

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN201180051529.0

申请日：2011-10-20

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 城野纯一 ,  泷村俊则 ,  田尾祥一

IPC: A61B1/00 ,  G01N21/64

CPC classification number: G01N21/01 ,  A61B5/0071 ,  A61B5/0084 ,  G01N21/645 ,  G01N2021/6484 ,  G02B23/2469

Abstract: 本发明提供一种探针，在该光学探针中，分别独立地具有照射照射光的照射导光路以及用于取得放射光的受光导光路，从而能够高效地取得要测定的放射光。探针（10）分别独立地具有：第一光纤（1），其构成用于引导照射光的照射导光路；第二光纤（2），其构成用于取得来自生物体的放射光的受光导光路，探针（10）还具有聚光透镜（3），该聚光透镜（3）接收从第一光纤射出的照射光并向测定对象部位侧射出，并接收从测定对象部位放射的放射光并向第一、第二光纤侧聚光。第一光纤的射出端中心轴相对于聚光透镜的光轴偏移和/或倾斜，聚光透镜表面上的反射光远离第二光纤的受光端中心，并且使被聚光透镜聚光的放射光接近第二光纤的受光端中心。