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公开(公告)号:CN118574484A
公开(公告)日:2024-08-30
申请号:CN202410209842.1
申请日:2024-02-26
Applicant: 株式会社日本显示器
IPC: H10K71/16 , H10K71/60 , H10K59/12 , C23C14/56 , C23C14/24 , C23C14/04 , C23C14/50 , C23C14/12 , C23C14/08 , C23C14/06 , C23C14/10 , C23C14/20
Abstract: 本发明涉及显示装置的制造装置及显示装置的制造方法。根据一实施方式,制造装置具备:第一蒸镀室,其具备位于用于搬运显示装置用的处理基板的第一搬运路与第二搬运路之间的第一蒸镀源及第二蒸镀源,所述第一蒸镀源构成为朝向所述第一搬运路放射材料,所述第二蒸镀源构成为朝向所述第二搬运路放射材料;和第一旋转室,其具备对从所述第一蒸镀室的所述第一搬运路搬出的所述处理基板进行保持并使之旋转的旋转机构,并且所述第一旋转室构成为将所述处理基板向所述第一蒸镀室的所述第二搬运路搬出。
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公开(公告)号:CN118102807A
公开(公告)日:2024-05-28
申请号:CN202311536944.6
申请日:2023-11-17
Applicant: 株式会社日本显示器
Abstract: 本发明涉及显示装置的制造方法。一实施方式涉及的显示装置的制造方法包括:形成与基材的第1主面重叠的下电极,所述基材具有供多个显示元件形成的所述第1主面、和与所述第1主面连接的侧面;形成具有与所述下电极重叠的像素开口的肋部;在所述肋部之上形成隔壁;形成第1蒸镀膜,该第1蒸镀膜包含通过所述像素开口覆盖所述下电极的第1有机层、和覆盖所述第1有机层的第1上电极;和形成覆盖所述第1蒸镀膜的第1密封层。所述第1密封层具有覆盖所述第1蒸镀膜的第1上端部、和与所述第1上端部连接并覆盖所述侧面的第1侧端部。
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公开(公告)号:CN117778959A
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202311251748.4
申请日:2023-09-26
Applicant: 株式会社日本显示器
Abstract: 根据一个实施方式,显示装置的制造装置具备:沿着第1方向搬送处理基板的搬送机构;前处理部,其与所述搬送机构的所述第1方向的上游连结,对所述处理基板进行前处理;后处理部,其与所述搬送机构的所述第1方向的下游连结,对所述处理基板进行后处理;和沿着所述搬送机构的所述第1方向依次排列的第1蒸镀部、第2蒸镀部、第3蒸镀部及第4蒸镀部,所述第1蒸镀部具备用于形成有机层的多个蒸镀室,所述第2蒸镀部具备用于在所述有机层之上形成上电极的蒸镀室,所述第3蒸镀部具备用于在所述上电极之上形成第1透明层的蒸镀室,所述第4蒸镀部具备用于在所述第1透明层之上形成第2透明层的蒸镀室,所述第2透明层的折射率比所述第1透明层低。
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公开(公告)号:CN112779499B
公开(公告)日:2024-03-12
申请号:CN202011180807.X
申请日:2020-10-29
Applicant: 株式会社日本显示器
Abstract: 本发明提供一种基板与蒸镀掩模的间隙的调节时间缩短的蒸镀装置和显示装置的制造方法。此外,本发明提供一种蒸镀工序中的不良情况减少的蒸镀装置和显示装置的制造方法。显示装置的制造方法使用蒸镀掩模向基板蒸镀有机材料,其中,与基板相对地配置蒸镀掩模,检测第一位置的基板与上述蒸镀掩模之间的第一间隙(l1),检测第二位置的基板与蒸镀掩模之间的第二间隙(l2),将第一间隙(l1)和上述第二间隙(l2)调节为满足式3,#imgabs0#
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公开(公告)号:CN117119862A
公开(公告)日:2023-11-24
申请号:CN202310568094.1
申请日:2023-05-19
Applicant: 株式会社日本显示器
Abstract: 本发明涉及显示装置的制造方法及蒸镀装置。根据一实施方式,显示装置的制造方法包括:准备在基板的上方形成下电极、形成具有与所述下电极重叠的开口的肋部、并形成有隔壁的处理基板,其中,所述隔壁包含位于所述肋部之上的下部及位于所述下部之上并从所述下部的侧面突出的上部,在所述开口中,在所述下电极之上形成有机层,在所述有机层之上形成蚀刻阻止层,其中,在形成所述蚀刻阻止层的工序中,将处理基板搬入腔室的内部,在所述腔室的内部,从相对于所述处理基板的法线倾斜的蒸镀源放射用于形成所述蚀刻阻止层的材料,在与所述法线正交的面内一边使所述处理基板旋转一边搬运该处理基板,将从所述蒸镀源放射出的所述材料蒸镀在所述处理基板上。
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