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公开(公告)号：CN115668768A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180037473.7
申请日：2021-05-19
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够有效地抑制横模。本发明的弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和IDT电极(3A～3C)。IDT电极(3A～3C)包括电极指间距相对宽的第一间距部(E)和相对窄的第二间距部(F)。中央区域(B)位于多个电极指延伸的方向上的中央侧，第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)位于中央区域(B)的两侧。在第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)设置有多个质量附加膜。多个质量附加膜包括配置于第一间距部(E)的多个第一质量附加膜(9a)和配置于第二间距部(F)的多个第二质量附加膜(9b)。第一质量附加膜(9a)的沿着弹性波传播方向的长度比第二质量附加膜(9b)的沿着弹性波传播方向的长度长。
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公开(公告)号：CN105794107B
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201480066259.4
申请日：2014-12-18
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供难以出现压电薄膜的破裂或剥落的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在支承基板(2)上层叠将包含压电薄膜(6)的多个膜层叠而成的层叠膜(3)，IDT电极(11)设置在压电薄膜(6)的一面，在IDT电极(11)连接布线电极(12)，布线电极(12)具有引出电极部(13)和焊盘电极部(14)，外部连接端子(7)位于焊盘电极部(14)的上方，外部连接端子(7)与焊盘电极部(14)电连接，在支承基板(2)上，在焊盘电极部(14)上接合外部连接端子(7)，使层叠膜(3)中至少压电薄膜(6)不存在于焊盘电极部(14)的下方。
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公开(公告)号：CN107615659A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680031526.3
申请日：2016-06-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂、缺口，且难以产生层叠膜中的界面剥离，进而难以产生布线电极的断线的弹性波装置。在支承基板(2)上层叠有包含压电薄膜(4)的层叠膜(3)的弹性波装置(1)。在设置有IDT电极(5a～5c)的区域的外侧的区域，部分地不存在层叠膜(3)。设置有第一绝缘层(12)，使得从不存在该层叠膜(3)的区域(R)的至少一部分到达压电薄膜(4)上。布线电极(6a)从压电薄膜(4)上到达第一绝缘层(12)上，并到达位于区域(R)的第一绝缘层部分上。
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公开(公告)号：CN114731147A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080080738.7
申请日：2020-12-02
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 抑制极化反转的发生。在弹性波装置(1)中，多个第1电极指(61)及多个第2电极指(62)设置在压电体层(5)上。多个第3电极指(63)及多个第4电极指(64)设置在压电体层(5)上。连接部包含第2汇流条(82)和第3汇流条(83)。第2汇流条(82)设置在压电体层(5)上，与多个第2电极指(62)的一端连接。第3汇流条(83)设置在压电体层(5)上，与多个第3电极指(63)的一端连接。应力缓解层(9)设置在连接部与压电体层(5)之间。在从支承基板(2)的厚度方向(D0)的俯视下，应力缓解层(9)不到达多个第1电极指(61)与第2汇流条(82)之间的缝隙(102)和多个第4电极指(64)与第3汇流条(83)之间的缝隙(103)。
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公开(公告)号：CN100553129C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN03801337.1
申请日：2003-05-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/059 , H01L24/97 , H01L2224/16225 , H01L2924/181 , H01L2924/18161 , H03H9/1085 , H03H9/6469 , H01L2924/00012
Abstract: 一种表面声波装置，在该装置中可防止用于密封在表面声波元件和安装板之间的间隙的密封树脂流入到达表面声波元件的振动部分。在本发明的表面声波装置1中，表面声波元件2通过凸缘4与安装板3连接，表面声波元件2的外周缘用密封树脂5加以密封，确保在表面声波元件2的振动部分6和安装板3之间有振动空间7。在表面声波元件2中，设置了包围凸缘4和振动部分6的外阻挡层和包围振动部分6的内阻挡层，把外阻挡层9的高度h1设定为低于凸缘4的高度h2和形成在安装板3上的电极焊接区8的高度h3的总高度h4，并把内阻挡层10的高度h5设定为低于凸缘4的高度h2。
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公开(公告)号：CN219351697U
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202190000487.7
申请日：2021-05-19
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本实用新型提供一种不易产生由高阶模造成的特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；中间层(3)，设置在支承基板(2)上；压电膜(6)，设置在中间层(3)上；以及IDT电极(7)，设置在压电膜(6)上，在支承基板(2)与中间层(3)之间以及中间层(3)内的至少一者设置有多个空洞部(10)，多个空洞部(10)设置在俯视时与IDT电极重叠的位置。
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