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    弹性波装置及其制造方法
    11.
    发明公开
    弹性波装置及其制造方法 有权

    公开(公告)号：CN106464232A

    公开(公告)日：2017-02-22

    申请号：CN201580027543.5

    申请日：2015-06-24

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 菊知拓 ,  甲斐诚二 ,  津田基嗣 ,  比良光善

    IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08

    Abstract: 本发明提供一种能够谋求更进一步的小型化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板层(5)，具有框状的形状，设置在压电基板(2)上，并设置为包围功能电极(3)；以及覆盖构件(6)，设置在支承层(5)上，并设置为对支承层(5)的开口部进行密封，覆盖构件(6)具有作为支承层(5)侧的主面的第一主面(6A)和第一主面(6A)的相反侧的第二主面(6B)。在覆盖构件(6)形成有在第二主面(6B)开口的凹部(6c)。形成有过孔(7)，形成为贯通支承层(5)，进而到达覆盖构件(6)的凹部(6c)的底面，并具有在该底面开口的开口部(7a)。过孔(7)的开口部(7a)的面积为覆盖构件(6)的凹部(6c)的底面的面积以下。还具备：第一过孔导体部(8a)，设置在过孔(7)；以及第二过孔导体部(8b)，设置在覆盖构件(6)的凹部(6c)。(2)；功能电极(3)，设置在压电基板(2)上；支承

    弹性波装置
    13.
    发明公开
    弹性波装置 有权

    公开(公告)号：CN105409120A

    公开(公告)日：2016-03-16

    申请号：CN201480042253.3

    申请日：2014-07-29

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 比良光善 ,  甲斐诚二

    IPC: H03H9/25 ,  H01L23/02

    CPC classification number: H03H9/725 ,  H03H9/0057 ,  H03H9/1042 ,  H03H9/1071 ,  H03H9/1092 ,  H03H9/64

    Abstract: 提供难以出现弹性波元件部所面对的中空部的泄漏不良的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在压电基板(2)上构成具有IDT电极的多个弹性波元件部，在压电基板(2)上设置包围弹性波元件部的支承层(16)，从而形成各弹性波元件部所面对的中空部，在该支承层(16)上层叠封盖构件来构成弹性波元件部所面对的各中空部，支承层(16)具有第1支承层(17)和第2支承层(18)，第1支承层(17)沿着压电基板(2)的外周缘，第2支承层(18)位于被第1支承层(17)包围的区域内，设置在弹性波元件部的周围，以使得具有各弹性波元件部所存在的中空部，中空路径(19)设置在第1支承层(17)与第2支承层(18)间，且将中空路径(19)设置成连通至少2个中空部。

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