公开(公告)号：CN101387004A

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：CN200810170023.1

申请日：2003-07-18

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 矢岛利一 ,  竹村隆 ,  黄海 ,  斋藤信利 ,  栗山文夫 ,  木村诚章

IPC: C25D21/00 ,  C25D21/12 ,  C25D21/10 ,  H01L21/445

CPC classification number: C25D21/12 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  C25D17/002 ,  C25D17/008

Abstract: 本发明提供电镀方法，将阳极和被镀体浸渍在电镀槽内的镀液中，且将上述阳极和上述被镀体设置成相互面对；在上述阳极和被镀体之间，设置对电镀槽内的电位分布进行调整的调整板；边使用配置在上述被镀体和上述调整板之间的搅拌棒来搅拌在上述电镀槽中保持的镀液，边在上述阳极和上述被镀体之间通电来进行电镀。

公开(公告)号：CN100439571C

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN03801815.2

申请日：2003-07-18

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 矢岛利一 ,  竹村隆 ,  黄海冷 ,  斋藤信利 ,  栗山文夫 ,  木村诚章

IPC: C25D21/12

CPC classification number: C25D21/12 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  C25D17/002 ,  C25D17/008

Abstract: 本发明提供电镀装置，其特征在于具有：电镀槽(40)，用于保持镀液(10)；阳极(56)，其浸入并设置在上述电镀槽(40)内的镀液(10)中；调整板(60)，其设置在上述阳极(56)以及设置成与该阳极(56)相对置的基片(W)之间；以及电镀电源(24)，其用于在上述阳极(56)和基片(W)之间通电进行电镀；上述调整板(60)，其设置状态是把保存在上述电镀槽(40)内的镀液(10)遮断在上述阳极和被镀体侧，内部设置了由多个通孔(66)构成的通孔群(68)。

公开(公告)号：CN1788337A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：CN200480010700.3

申请日：2004-05-25

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 关本雅彦 ,  远藤泰彦 ,  斯蒂芬·斯特劳塞尔 ,  竹村隆 ,  斋藤信利 ,  栗山文夫 ,  吉冈润一郎 ,  堀江邦明 ,  南吉夫 ,  鸭田宪二

IPC: H01L21/288 ,  C25D5/02 ,  C25D7/12

CPC classification number: H01L2224/1146 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2924/01078

Abstract: 一种电镀设备具有灰化单元(300)，将其构成为在施加于形成在衬底(W)上的籽晶层(500)的表面上的抗蚀剂(502)上进行灰化处理；以及预润湿部件(26)，将其构成为在灰化处理之后为衬底表面提供亲水性。该电镀设备包括预浸泡部件(28)，将其构成为使衬底表面与处理液接触，从而清洗或激活形成在衬底上的籽晶层的表面。该电镀设备还包括电镀单元(34)，将其构成为将衬底表面浸在电镀槽中的电镀液中，同时使用抗蚀剂作为掩模，以便在形成在衬底上的籽晶层的表面上形成镀膜(504)。

公开(公告)号：CN301742678S

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN201030707535.5

申请日：2010-12-29

Applicant: 株式会社荏原制作所

Designer： 本田修一郎 ,  榎本隆 ,  竹村隆 ,  神野秀基 ,  金子淳 ,  山中隆司 ,  工藤大

Abstract: 1.该外观设计产品的名称：泵体；2.该泵体的用途：使用为离心泵等；3.该泵体的设计要点：请参考各个视图所示的形状；4.最能表明设计要点的图片或者照片：设计4立体图1；5.本申请包含同一产品“泵体”的4项相似外观设计，其中设计4为基本设计；6.因设计1后视图与设计1主视图相同，且设计1左视图与设计1右视图相同，因此略设计1后视图、设计1左视图。同样，省略设计2后视图、设计2左视图，设计3后视图、设计3左视图，设计4后视图、设计4左视图。