电镀设备
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106191975B

    公开(公告)日:2019-08-13

    申请号:CN201610352939.3

    申请日:2016-05-25

    IPC分类号: C25D19/00 C25D17/10 C25D7/12

    摘要: 一种电镀处理器,所述电镀处理器包括基部,所述基部具有容器主体。包括隔膜壳的隔膜组件附接到隔膜板。隔膜提供在附接到所述隔膜壳的隔膜支撑件上。阳极组件包括阳极杯以及位于所述阳极杯中的一个或更多个阳极。阳极板被附接到所述阳极杯。位于所述阳极板的第一侧上的两个或更多个支柱能够与位于所述隔膜板上的支柱配件接合。位于所述阳极板的第二侧上的夹持件能够与位于所述隔膜板上的夹持件配件接合和从其中释放。所述阳极组件能够快速且容易地从所述处理器去除以便进行维护,而不干扰所述处理器的其他部件或将这些部件去除。

    成膜用镍溶液和使用该溶液的成膜方法

    公开(公告)号:CN105492665B

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201480048322.1

    申请日:2014-10-02

    IPC分类号: C25D17/00 C25D3/12

    摘要: 提供一种能够在使固体电解质膜与基材接触的状态下,抑制在它们之间产生氢气的成膜用镍溶液。一种成膜用镍溶液,用于在将固体电解质膜配置于阳极与成为阴极的基材之间,使所述固体电解质膜接触基材,并且对所述阳极与所述基材之间施加电压,由该固体电解质膜的内部所含有的镍离子在所述基材的表面析出镍,由此在所述基材的表面形成包含所述镍的镍被膜时,向所述固体电解质膜供给所述镍离子,所述镍溶液的pH值在4.2~6.1的范围内,所述镍溶液中还包含pH缓冲液,所述pH缓冲液在所述成膜时,在所述pH值的范围内具有缓冲能力,并且不与所述镍离子形成不溶性盐或络合物。

    一种提高均镀性的电镀方法

    公开(公告)号:CN107119289A

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201710316771.5

    申请日:2017-05-08

    IPC分类号: C25D3/00 C25D17/00

    CPC分类号: C25D3/00 C25D17/002

    摘要: 本发明提供一种提高均镀性的电镀方法,用两层隔膜将电镀槽从上到下分成三层,上层隔膜为纳滤膜,下层隔膜为树脂交换层,将金属盐加入最上层,导电剂、络合剂、缓冲剂加入最下层。本发明用纳滤膜和树脂交换层将电镀槽从上到下分成三层,将上层金属盐保持高浓度,经过两层过滤,防止树脂膜受污染堵塞,还能下层金属离子可以保持稳定的浓度,而且没有杂质,提高了电镀层的均匀性。本发明方法用胶粘剂对金属盐进行,粘附包裹,制成颗粒,能够使得金属离子缓慢释放,提高均镀性能,防止离子浓度变化过大,造成镀层不均匀,可以一次性补充多点金属盐,减少补充次数。

    具有阴离子隔膜的惰性阳极电镀处理器和补充器

    公开(公告)号:CN106929900A

    公开(公告)日:2017-07-07

    申请号:CN201610994437.0

    申请日:2016-11-11

    IPC分类号: C25D17/00 C25D21/14 C25D7/12

    摘要: 一种电镀系统包括具有容器的处理器,所述容器具有分别含有阴极电解液和阳极电解液的第一或上隔室和第二或下隔室,在所述隔室之间存在处理器阴离子隔膜。惰性阳极安置在所述第二隔室中。补充器经由阴极电解液返回线和供应线和阳极电解液返回线和供应线与所述容器连接,从而使阴极电解液和阳极电解液流通经过由补充器阴离子隔膜分离的所述补充器中的隔室。所述补充器通过移动来自块体金属源的离子将金属离子添加到所述阴极电解液中,并且将来自所述阳极电解液的阴离子移动穿过所述阴离子隔膜并且到所述阴极电解液中。所述阴极电解液和所述阳极电解液中的金属离子和阴离子的浓度保持平衡。

    用于增大电化学沉积速率的方法

    公开(公告)号:CN106149020A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201610320306.4

    申请日:2016-05-13

    IPC分类号: C25D5/08 C25D7/12 C25D21/02

    摘要: 本发明公开了一种用于电化学处理微特征工件的方法,所述方法包括:使所述微特征工件的第一表面与电镀腔室中的电镀电解液接触,其中所述电镀电解液包括至少一种金属离子;使所述电镀电解液从在所述工件的第一端部处的第一电镀电解液入口经过所述工件的中点向在所述工件的第二端部处的第二电镀电解液出口流动;以及将所述至少一种金属离子电化学沉积到所述工件的所述第一表面上。另一种用于电化学处理微特征工件的方法包括:使所述微特征工件的第一表面与电镀电解液接触,所述电镀电解液具有至少一种金属离子;使用加热方法对所述工件的第二表面进行加热;以及将所述至少一种金属离子电化学沉积到所述工件的所述第一表面上。

    同时生产高低锡产品的镀液槽

    公开(公告)号:CN106048683A

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201610626532.5

    申请日:2016-08-01

    IPC分类号: C25D7/06 C25D17/00 C25D17/02

    摘要: 本发明涉及一种同时生产高低锡产品的镀液槽,其特征是:包括A镀液槽和B镀液槽,A镀液槽和B镀液槽之间通过隔板隔开,A镀液槽和B镀液槽上方安装塑料盖。所述A镀液槽包括通过第一管道连接的第一镀铜溶液储存槽和第一上液位工作槽,在所述第一上液位工作槽的出口处安装第一橡胶刷,在第一上液位工作槽的两端安装第一大理石分线板。所述B镀液槽包括通过第二管道连接的第二镀铜溶液储存槽和第二上液位工作槽,在所述第二上液位工作槽的出口处安装第二橡胶刷,在第二上液位工作槽的两端安装第二大理石分线板。本发明能够同时生产高低锡产品,镀液不需要经常更换,切换非常方便,生产效率高。

    一种基于PLC控制的新型恒温电沉积镀槽

    公开(公告)号:CN105755527A

    公开(公告)日:2016-07-13

    申请号:CN201610199230.4

    申请日:2016-04-02

    IPC分类号: C25D21/12 C25D21/10 C25D17/02

    摘要: 本发明涉及的是一种基于PLC控制的新型恒温电沉积镀槽,这种基于PLC控制的新型恒温电沉积镀槽为恒温镀槽,恒温镀槽内设置有水平的恒温隔板,恒温隔板上开有若干个通孔,恒温隔板将恒温镀槽分隔成恒温腔和控温腔上下两个腔体,温度传感器安装在恒温腔内;控温腔内安装有加热管,控温腔出口管连接恒温循环泵,恒温循环泵连接恒温腔入口管,恒温腔入口管的另一端伸入到恒温腔中并安装有若干个循环喷嘴,温度传感器、加热管分别连接温度控制器,温度控制器、恒温循环泵的电机分别连接可编程逻辑控制器PLC。本发明提高了镀槽内各点温度的平均性,提高了温控精度,使得镀件的质量得到提高。