公开(公告)号：CN100433962C

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：CN200510080975.0

申请日：2005-06-29

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 栗山淳 ,  石羽正人 ,  村上清 ,  四谷辉久

IPC: H05K13/00 ,  G01N21/956 ,  H05B37/00

CPC classification number: G01N21/95684 ,  G01N21/8806 ,  G01R31/309

Abstract: 本发明提供图像产生方法和用于检查基板的照明装置。为了产生用于检查基板的图像，在该基板上方提供照相机，其光轴取向向下，并且在照相机的光轴周围设置多个多色发光部件，使其位于相对于基板上的目标区域的指定角度范围之内。当控制这些发光部件的开启状态，以根据该检查目的的指定类型而改变照亮该目标区域的光的颜色和角度时，照相机被用于产生检查的目标区域的图像。

公开(公告)号：CN1717171A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510080975.0

申请日：2005-06-29

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 栗山淳 ,  石羽正人 ,  村上清 ,  田谷辉久

IPC: H05K13/00 ,  G01N21/956 ,  H05B37/00

CPC classification number: G01N21/95684 ,  G01N21/8806 ,  G01R31/309

Abstract: 本发明提供图像产生方法和用于检查基板的照明装置。为了产生用于检查基板的图像，在该基板上方提供照相机，其光轴取向向下，并且在照相机的光轴周围设置多个多色发光部件，使其位于相对于基板上的目标区域的指定角度范围之内。当控制这些发光部件的开启状态，以根据该检查目的的指定类型而改变照亮该目标区域的光的颜色和角度时，照相机被用于产生检查的目标区域的图像。

公开(公告)号：CN1665385A

公开(公告)日：2005-09-07

申请号：CN200510051764.4

申请日：2005-03-01

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 石羽正人 ,  栗山淳 ,  村上清 ,  四谷辉久

IPC: H05K13/08 ,  G01N21/84 ,  H01Q1/24 ,  H01Q1/10

CPC classification number: H05K13/083 ,  H05K13/0817

Abstract: 本发明提供装配衬底的检查方法和系统与生产方法。具有装配于其上的组件的衬底是通过多个连续进行的生产步骤来生产的。提供检查装置，每个检查装置与包括最终步骤的这些生产步骤中不同的生产步骤相关联。这些检查装置在它们之间相互通信，并且均使用随后摄取的待检查的靶衬底的图像或者早期执行的生产步骤中获得的数据。