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公开(公告)号：CN109342836A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811246208.6
申请日：2018-10-24
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01R29/12
CPC分类号： G01R29/12
摘要： 一种基于压电压阻式宽频高场强微型电场传感器的生产工艺，包括硅基晶片加工步骤、玻璃加工步骤、组合装配步骤。其有益效果是：采用微加工技术，可以实现电场传感器的小体积复杂结构，进而减小传感器本身对外电场的畸变影响；本发明对于传感器不同界面采用不同键合方式，对于不同结构采用针对性的微加工工艺，对于不同加工步骤采用可兼容的加工流程，有利于提高传感器的可靠性与实用性。
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公开(公告)号：CN109212326A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201811243886.7
申请日：2018-10-24
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01R29/08
摘要： 一种基于压电效应和压阻效应多模态耦合的微型电场传感器件，包括沿水平方向放置的半导体薄膜，所述半导体薄膜的下方设有水平方向放置的衬底，所述半导体薄膜与衬底之间通过中间夹层支撑形成腔体结构，所述半导体薄膜的上表面均设有压阻材料，所述压阻材料包括横向-横向模态的压电膜、横向-纵向模态的压电块，横向-横向模态中，所述半导体薄膜的顶面设有压电膜；横向-纵向模态中，所述半导体薄膜的底面设有压电块。其有益效果是：体积小、集成程度高，有效降低电路温漂、降低零点漂移、提升测量精度，可实现宽频带、高场强及复杂环境下的电场准确测量，在带电情况下也可进行。
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公开(公告)号：CN104267266B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201410488022.7
申请日：2014-09-23
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 本发明涉及一种基于压电弯折效应的电场测量传感装置，属于电场传感技术领域。本装置中，两个极化方向相反的压电纤维层相互叠压，叠压后的压电纤维层与上电极层相互粘合，形成电容上极板，参考层与下电极层相互粘合，形成电容下极板，电容上极板和电容下极板的两端分别固定在左、右两个夹持紧固件之间。阻抗测量装置的两个输入端分别与上电极层和下电极层相连。本传感装置利用压电纤维层的压电效应，通过端部紧固将伸长形变转化为定向弯折形变，测量弯折压电纤维层与参考层构成的平行电容反映电场大小。本发明具有较高的电容响应及灵敏度，并具有更好的温度稳定性和更大的测量范围，为智能监测系统提供了高性能、低成本、安全可靠的电场传感器。
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公开(公告)号：CN109212327B
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201811243889.0
申请日：2018-10-24
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01R29/08
摘要： 一种具有悬臂梁结构的高灵敏度微型电场传感器件，包括底座，所述底座上通过固定件安装有半导体薄膜，所述半导体薄膜掺杂内镶嵌所述离子掺杂电阻区，所述压电薄膜沉积在半导体薄膜顶面。其有益效果是：保证了电场传感器具有灵敏度高、动态范围广、频率范围宽的应用目标。半导体薄膜离子掺杂区响应幅值大，器件灵敏度高。采集电力系统的稳定运行特征量外，可监测故障及各种过电压的特征，为电网故障诊断及绝缘配合等研究提供精确的大数据。易于微型化，集成化程度高，成本低，适合批量生产，因而适用于大电网线路及电气设备的密集型布置，以全面采集电气信息，反映电力系统的特征。
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公开(公告)号：CN109437089A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811243883.3
申请日：2018-10-24
申请人： 清华大学
CPC分类号： B81C1/0015 , B81B7/02 , B81B2201/0292 , G01R29/0878
摘要： 一种具有悬臂梁结构的微型电场传感器的制备工艺流程，依次进行一下步骤：蚀硅衬底材料形成对准标记，加热硅片，沉积压电薄膜PZT，图形化刻蚀，释放硅片欧姆接触区，蒸发金属电极，刻蚀悬臂梁，对硅片底部实施减薄工艺，图形化刻蚀减薄后的硅片底部，键合底座，对加工后的晶片进行划片。其有益效果是：保障了传感器件的稳定性和耐久性。
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