一种在硅基底上制备高电阻变化率二氧化钒薄膜的方法

    公开(公告)号:CN104195552B

    公开(公告)日:2016-09-07

    申请号:CN201410338437.6

    申请日:2014-07-16

    CPC classification number: H01L21/02631 H01L21/02381 H01L21/02565

    Abstract: 本发明提供一种在硅基底上制备高质量VO2薄膜的方法,用以提高VO2薄膜电阻变化率。选用双面抛光的Si基底,首先清洗硅基底,然后采用原子层沉积法在Si基底上沉积Al2O3缓冲层,最后采用反应磁控溅射法以制备有Al2O3缓冲层的Si基底为衬底,溅射制备VO2薄膜。本发明工艺简单,易于实现;制备的Si基VO2薄膜具有极强的择优取向,成膜质量高,也更接近于金红石型VO2;通过Al2O3缓冲层的引入,减小了相变弛豫时间,也极大的提高了电阻变化率,本发明引入的Al2O3缓冲层厚度仅为25nm,并不会造成Si基VO2薄膜在作为电致开关或者电致存储器件时其阈值电压过大;本发明对推进VO2薄膜在半导体器件中的应用具有重大意义。

    一种石墨烯场效应晶体管太赫兹波调制器及其制备方法

    公开(公告)号:CN104678597A

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201410359765.4

    申请日:2014-07-25

    CPC classification number: G02F1/015

    Abstract: 本发明提供一种石墨烯场效应晶体管太赫兹波调制器及其制备方法,用以提高石墨烯场效应晶体管太赫兹波调制器的调制速率、调制深度。石墨烯场效应晶体管太赫兹波调制器,包括半导体衬底、衬底上依次设置的介质层、石墨烯薄膜、源漏电极以及设置于衬底背面的环形栅电极;其特征在于所述介质层为Al2O3层,其厚度为5~100nm;其制备方法采用原子层沉积(ALD)法沉积Al2O3,Al2O3均匀性好、无缺陷、无针孔,更耐电压,且极大降低漏电流。制备得太赫兹波调制器的调制速度达到178KHz,相对调制深度大于22%,显著提高调制速率及相对调制深度;可广泛应用于太赫兹波通信系统、太赫兹波探测、太赫兹波成像等领域。

    一种自动控制装置及饮水机

    公开(公告)号:CN208481115U

    公开(公告)日:2019-02-12

    申请号:CN201720920592.8

    申请日:2017-07-27

    Abstract: 本实用新型涉及一种自动控制装置及饮水机,属于集成控制技术领域。该自动控制装置,应用于饮水机,饮水机包括:进水装置、液体容器和进水端,进水装置通过进水端与液体容器连通。自动控制装置包括:控制模块、第一开关、第二开关和液位采集模块。控制模块分别与第一开关、第二开关和液位采集模块耦合。由于该饮水机采用了包括:控制模块、第一开关、第二开关和液位采集模块在内的自动控制装置来提高自身的安全性、便捷性和实用性等。进一步地,该控制模块根据液位采集模块采集的信息去控制第一开关,以控制加热装置与电源的通/断电;以及该控制模块还根据液位采集模块采集的信息去控制第二开关,以控制液体容器内的液体容量。

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