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公开(公告)号：CN110522103A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910820677.2
申请日：2019-08-29
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
Abstract: 本发明公开一种基于静电纺丝PVDF-TrFE纤维薄膜的口罩热电能量收集器，PVDF-TrFE静电纺丝纤维薄膜热电功能层具有热电性能优良、柔性、透气性良好等优点，通过静电纺丝技术实现纤维薄膜结构与热电功能化的一步化工艺制备。透气性良好的第一、第二柔性电极由裁剪的口罩本体蘸取碳纳米管溶液制备，既保留了口罩本体柔软透气性，又使其具备良好的导电性能。本发明提供的口罩式热电能量收集器将人体呼吸过程中产生的热能转换成电能，可为人体可穿戴设备、传感器等供电，不仅制造工艺简单、成本低，而且温差利用率大、佩戴舒适性高，适于商品化生产。
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公开(公告)号：CN110361445A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201910696445.0
申请日：2019-07-30
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
IPC: G01N29/02 , G01N29/036 , G01N27/12 , G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种多参数高选择性CMUTs气体传感器及其使用与制备方法，本发明采用SnO2、ZnO、Fe2O3、WO3等半导体金属氧化物，将其同时用作CMUTs上电极以及敏感识别材料，利用其吸附气体后同时引起薄膜质量及上电极电阻变化的特性，实现物理、化学性质相近或相似气体分子的高选择性敏感。薄膜质量的变化会引起CMUT谐振频率的变化；上电极电阻的变化会引起CMUT上下电极间交流电压幅值的变化，进而引起CMUT薄膜振动幅值的变化，通过谐振频率和薄膜振动位移幅值这两种输出参数的变化可实现气体分子的高选择性检测。此外，由于半导体氧化物敏感材料在温度调节下具有可重复使用性，因此本发明CMUT气体传感器除了具有高选择性外，还具有很好的重复性。
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公开(公告)号：CN120001599A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202510304958.8
申请日：2025-03-14
Applicant: 西安交通大学
IPC: B06B1/02
Abstract: 本发明属于电容式微机电超声换能器技术领域，公开了一种磁性薄膜MEMS超声换能器，包括第一磁性绝缘薄膜，第一磁性绝缘薄膜的上表面设有支柱层，支柱层的上表面设有作为振动薄膜的第二磁性绝缘薄膜，第一磁性绝缘薄膜、支柱层和第二磁性绝缘薄膜之间形成有真空空腔，第二磁性绝缘薄膜的上表面在真空空腔的上方设有上电极，第一磁性绝缘薄膜的下表面设有作为下电极的硅基底，第一磁性绝缘薄膜和第二磁性绝缘薄膜通过磁性相互吸引。本发明利用第一磁性绝缘薄膜和第二磁性绝缘薄膜之间的磁吸力，便可以实现振膜向下弯曲，这与施加直流偏置电压相同后得到的效果相同，从而有效的降低所需的直流偏置电压。
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公开(公告)号：CN115265848B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202210907400.5
申请日：2022-07-29
Applicant: 西安交通大学 , 中国航发控制系统研究所
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器，包括依次设置的玻璃层，谐振器层以及敏感膜层，敏感膜层包括压力敏感膜和固定在压力敏感膜层上的两个硅岛；所述谐振器层包括分别与两个硅岛连接的两个可动锚点；每个可动锚点一端两侧分别与两个谐振梁第一端连接，位于同一侧的谐振梁第二端与同一个质量块连接，两个质量块通过耦合梁连接；所述耦合梁包括四根一端连接至连接点的单梁；谐振梁外侧设置有激励结构，激励结构外设置有检测结构。本发明的耦合梁为四点接触式耦合梁，在满足对两质量块耦合并为谐振器提供刚度增大模态频率间隔的同时，也能够有效减少加速度冲击对耦合梁结构的影响，从而保证传感器工作的稳定性。
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公开(公告)号：CN119650417A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411823652.5
申请日：2024-12-12
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种无需台阶刻蚀的碳化硅欧姆接触电极结构，在碳化硅衬底片上表层生长有与衬底掺杂类型不同的外延层，在外延层表面制造有金属电极阵列，金属电极的制造过程无需依赖烦琐的微纳制造光刻、刻蚀等工艺，而是使用具有均匀边缘几何形貌的胶带作为掩蔽将欧姆接触电极间隔开，最后将样品均匀切割，形成了没有台阶的矩形传输线电极；本发明基于矩形传输线(TLM)原理，实现了结构更加简单且具有更小漏电流误差的碳化硅欧姆接触电极的制备，克服了传统电极矩形传输线方法制造的复杂工艺问题，降低制造成本的同时大幅缩短了电极制备时间，且易于实现。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119628180A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411859746.8
申请日：2024-12-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本申请公开了一种膝盖弯曲电磁摩擦电自供电无线自传感装置及系统，属于自供电无线传感领域。该膝盖弯曲电磁摩擦电自供电无线自传感装置包括：第一连接板、第二连接板、摩擦电信号产生组件、发电组件以及无线传感组件；第一连接板与第二连接板活动连接，且第一连接板与第二连接板可相互远离或相互靠近，第一连接板具有远离第二连接板的第一表面，第二连接板具有远离第一连接板的第二表面，第一表面与第二表面中的至少一者设置有摩擦电信号产生组件；第一连接板与第二连接板中的一者与发电组件固定连接，另一者与发电组件驱动连接，用于带动发电组件运行，无线传感组件分别与摩擦电信号产生组件以及发电组件电连接。
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公开(公告)号：CN119511164A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411711733.6
申请日：2024-11-27
Applicant: 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 , 西安交通大学
IPC: G01R33/032 , G01R33/12 , G01R33/00 , G01C19/62 , G01R19/00
Abstract: 本发明公开了一种原子核自旋指向操控和进动信号测量的系统及其方法，系统包括射频产生器、射频放大器、单刀双掷开关、核磁共振线圈、信号处理模块、DAQ数据采集系统、上位机以及时间基准模块，时间基准模块分别与DAQ数据采集系统、信号处理模块以及射频产生器连接，射频产生器与射频放大器连接，射频放大器、核磁共振线圈以及信号处理模块均与单刀双掷开关连接，上位机与DAQ数据采集系统连接，DAQ数据采集系统与信号处理模块连接，DAQ数据采集系统分别输出TTL控制信号给信号处理模块、单刀双掷开关以及射频放大器；本发明的优点在于：实现核自旋指向360度范围的精准控制，且收发信号实现集成一体化。
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公开(公告)号：CN119198440A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411543384.1
申请日：2024-10-31
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N11/16
Abstract: 本发明属于MEMS传感器领域，具体涉及一种振动耦合双微悬臂板MEMS黏度传感器芯片及其工作方法，芯片包括硅基固支体，硅基固支体上设有固支体空腔，固支体空腔中设有矩形的且自由端相对设置的第一、第二微悬臂板，第一、第二微悬臂板的自由端之间具有振动耦合间隙，第二微悬臂板的长度小于第一微悬臂板的长度；第一微悬臂板在其宽度方向上对称设有第一压电驱动电极和第一压电拾振电极，第二微悬臂板在其宽度方向上对称设有第二压电驱动电极和第二压电拾振电极，第一压电驱动电极、第一压电拾振电极、第二压电驱动电极和第二压电拾振电极均连接有金属引线。本发明振动耦合双微悬臂板MEMS黏度传感器芯片能够显著提升流体测量精度与稳定性等测量性能。
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公开(公告)号：CN119114405A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411478222.4
申请日：2024-10-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明属于材料以及电子器件制造领域，公开了一种基于3D打印的电容式微机械超声换能器及其制备方法，CMUTs包括自上而下依次连接的上电极、上绝缘层、振动膜、支柱层、硅基底和下电极，支柱层的振动膜、下绝缘层和支柱之间形成有空腔；方法包括：利用纳米二氧化硅复合材料，采用光固化3D打印方法，在表面进行了功能化的硅基底正面打印支柱层阵列；然后进行固化、热处理，得到第二器件；再键合振动膜；再在振动膜的正面打印上绝缘层；将再进行固化、热处理；再打印上电极；再通过湿法刻蚀工艺去除硅基底背面的二氧化；再在硅基底背面打印下电极；再去除光刻胶即可。本发明减少了所需设备和材料消耗，降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN118935104A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410984514.9
申请日：2024-07-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明属于薄膜传感器技术领域，公开了一种具有原位振动/应变监测功能的航空液压管道及其制备方法，液压管道本体的表面设有绝缘层，绝缘层的表面设有应变敏感层，应变敏感层具有应变传感器结构，应变敏感层的表面设有保护层。本发明液压管道和薄膜应变传感器是一体结构，因此无需使用胶，进而不会破坏原有振动特性，利用应变敏感层中的应变传感器结构能够精确检测液压管道本体的应变，相对于现有技术，本发明所测得的应变误差相对较小，而且薄膜应变传感器是原位加工在液压管道本体表面的，因而能够实现航空液压管道等曲面部件的表面应变、振动等状态参数的原位监测，为航空液压管道健康监测提供更加准确的数据支撑。
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