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公开(公告)号：CN107075017B
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201580056812.0
申请日：2015-10-06
Applicant: DIC株式会社
IPC: C08F30/08 , C07F7/18 , C08F290/00 , C08F299/08 , H01L21/027 , C08G77/20
Abstract: 本发明的课题在于提供固化后的清洗容易、耐干法蚀刻性高、能够制成精密图案的转印精度优异的抗蚀剂的固化性组合物，提供含有该固化性组合物的抗蚀膜及层叠体、以及使用该抗蚀膜的图案形成方法。本发明通过提供如下的固化性组合物，从而解决了上述课题，所述固化性组合物含有多官能聚合性单体(A)，且不挥发组分量中的硅原子的量为10wt％以上，所述多官能聚合性单体(A)具备两个以上具有聚合性基团的基团，并且具备至少一个所述式(1)所示的具有聚合性基团的基团Q。
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公开(公告)号：CN103890029A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201280051535.0
申请日：2012-10-18
Applicant: DIC株式会社
IPC: C08F299/06 , B32B27/00 , B32B27/30 , C09J4/06 , C09J7/02 , C09J11/06 , C09J167/07 , C09J175/14
CPC classification number: C09J175/14 , B32B7/12 , B32B27/308 , B32B27/36 , B32B2270/00 , C08F299/065 , C08G18/4216 , C08G18/4238 , C08G18/672 , C08G18/755 , C08G18/7621 , C08L67/02 , C09J4/06 , C09J167/07 , C09J175/16 , Y10T428/31786
Abstract: 本发明提供即使对于未处理PET薄膜、氟系薄膜、聚碳酸酯薄膜等难以粘接的塑料薄膜、即所谓的难粘接薄膜也具有高粘接强度，且即使在湿热条件下也能够维持其粘接强度的活性能量射线固化型树脂组合物；包含该树脂组合物的粘接剂；以及使用该粘接剂而得到的层叠薄膜。所述活性能量射线固化型树脂组合物的特征在于，其含有如下必需成分：分子结构中具有聚酯结构部位和(甲基)丙烯酰基、且重均分子量(Mw)在5000～30000的范围的(甲基)丙烯酸酯化合物(A)；酸值在40～90mgKOH/g的范围的聚酯树脂(B)；以及，聚合引发剂(D)。
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公开(公告)号：CN119575759A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202410933994.6
申请日：2024-07-12
Applicant: DIC株式会社
IPC: G03F7/039
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物、感光性膜、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜、抗蚀剂永久膜及膜的制造方法，正型感光性树脂组合物包含下述成分A～成分E。成分A：包含衍生自甲酚的酚结构单元、以及衍生自甲醛或水杨醛的一种以上的醛结构单元，具有缩醛基系保护基的酚醛清漆型酚树脂；成分B：光酸产生剂；成分C：选自不具有缩醛基系保护基的酚醛清漆型酚树脂、聚酰亚胺树脂及聚苯并噁唑树脂中的一种以上的树脂；成分D：萘醌型感光剂；成分E：溶剂。
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公开(公告)号：CN117487097A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202310957669.9
申请日：2023-08-01
Applicant: DIC株式会社
IPC: C08F292/00 , C09C1/56 , G03F7/004 , G03F7/027 , C08F212/08 , C08F220/14
Abstract: 本发明提供表面修饰炭黑、炭黑分散体和黑色抗蚀剂组合物。提供具有优异的分散性和分散稳定性的炭黑。一种表面修饰炭黑，其在炭黑的一部分或全部表面存在含有双键的聚合反应性单体的聚合物，含有双键的聚合反应性单体的聚合物含有杯芳烃化合物。
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公开(公告)号：CN115480447A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202210672203.X
申请日：2022-06-14
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 本发明提供负型感光性树脂组合物，提供具有碱溶解性、可低温固化、可得到耐化学药品性优异的固化膜的固化性组合物。一种负型感光性树脂组合物，其含有下述的成分(A)～(E)。(A)由间甲酚衍生的结构单元(a1)、由苯甲醛衍生的结构单元(a2)、及由水杨醛衍生的结构单元(a3)的摩尔比[(a1)：(a2)：(a3)]为1.0：0.3～0.8：0.3～0.8的酚醛清漆型酚醛树脂/(B)选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的1种以上的树脂/(C)光产酸剂/(D)交联剂/(E)溶剂。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106104753A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201580013836.8
申请日：2015-03-12
Applicant: DIC株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08G77/442 , C08G81/02
CPC classification number: C09D183/10 , C08G77/14 , C08G77/20 , C08G77/442 , C08G81/024 , G03F7/0388 , G03F7/0757
Abstract: 本发明提供一种氧等离子体蚀刻用抗蚀材料，其特征在于，是一种含有复合树脂(A)的干式蚀刻用抗蚀材料，上述复合树脂(A)具有聚硅氧烷链段(a1)和乙烯基系聚合物链段(a2)，上述聚硅氧烷链段(a1)具有通式(1)和/或通式(2)表示的结构单元以及硅烷醇基和/或水解性甲硅烷基，该氧等离子体蚀刻用抗蚀材料的总固体成分量中的硅原子的含量为15～45wt％。
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公开(公告)号：CN105408376A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201480042290.4
申请日：2014-06-17
Applicant: DIC株式会社
IPC: C08F290/06 , G02B1/04
CPC classification number: C08F290/067 , C08F290/06 , G02B1/041 , C08L75/14
Abstract: 本发明提供一种粘度低、且可表现出高折射率的光固化性树脂组合物。具体而言，使用氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯树脂(A)，其是以芳香族二异氰酸酯化合物(a)、多元醇化合物(b)、含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(c)作为必须原料成分并使其反应而得到的，具有下述结构式(1)(式中，R1为氢原子或甲基。)所示的结构部位(a-1)和下述结构式(2)(式中，R1、R2和R3为氢原子或甲基，X1、X2为氢原子或甲基。)所示的结构部位(a-2)，所述结构部位(a-1)与(a-2)的比例以摩尔比[(a-1)/(a-2)]计为45/55～60/40，且前述多元醇化合物(b)具有芳香族烃骨架。
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公开(公告)号：CN105378893A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201480032326.0
申请日：2014-05-23
Applicant: DIC株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F220/20
CPC classification number: C09D141/00 , C08F222/1006 , C08L2312/00 , C09D4/00 , C09D133/08 , C09D133/14 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/033 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供一种固化性组合物，其特征在于，其为含有聚合性化合物的压印用固化性组合物，(a)上述聚合性化合物的聚合性基团浓度为4.3～7.5mmol/g，(b)相对于全部聚合性化合物以40～95质量％的范围含有大西参数为3.5以下、环参数为0.35以上的聚合性化合物X，(c)进而，相对于全部聚合性化合物以5～20质量％的范围含有具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物C，(d)组合物的25℃下的粘度在不含溶剂的状态下为3～8000mPa·s的范围。
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公开(公告)号：CN119270582A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202410424170.6
申请日：2024-04-09
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 提供减少炭黑等着色剂也可得有高可见光遮蔽性的固化膜的感光性树脂组合物。含有下述成分(A)～(E)的负型感光性树脂组合物。(A)由间甲酚衍生结构单元(a1)、由邻苯二酚衍生结构单元(a2)、由苯甲醛衍生结构单元(a3)及由水杨醛衍生结构单元(a4)的摩尔比[(a1)∶(a2)∶(a3)∶(a4)]为1∶0.25～4.0∶0.25～4.0∶0.25～4.0的线型酚醛型酚醛树脂；(B)选自含烯属不饱和基团的聚酰亚胺、含烯属不饱和基团的聚酰亚胺前体、含烯属不饱和基团的聚苯并噁唑及含烯属不饱和基团的聚苯并噁唑前体的1种以上树脂；(C)自由基聚合性化合物；(D)光聚合引发剂；(E)有机溶剂。
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公开(公告)号：CN118325004A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410031589.5
申请日：2024-01-09
Applicant: DIC株式会社
Abstract: 本发明提供含酚性羟基树脂、感光性树脂组合物、固化性组合物和抗蚀膜。提供对弱碱显影液具有优异的溶解性、并且具有与光敏剂的高亲和性、不使用甲醛的感光性树脂组合物。一种含酚性羟基树脂，其包含：由酚化合物衍生的结构单元(a)、由具有羧基的脂肪族醛化合物衍生的结构单元(b)、和由芳香族醛化合物衍生的结构单元(c)。
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