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公开(公告)号：CN119742211A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411218571.2
申请日：2024-09-02
Applicant: FEI 公司
Inventor： A·亨斯特拉
IPC: H01J37/147 , H01J37/26
Abstract: 像差校正系统和包括该校正系统系统的带电粒子显微镜系统。本文提供了像差校正系统和包括该像差校正系统的带电粒子显微镜系统。装置可包括被配置为至少部分地校正该带电粒子束的轴向色差的多个静电多极元件。该装置还包括具有校正器静电棱镜的偏转器组件。该校正器静电棱镜可包括第一校正器棱镜电极和第二校正器棱镜电极，该第一校正器棱镜电极和该第二校正器棱镜电极在其间限定电极间隙，并且偏转器光轴在该电极间隙内延伸。该多个静电多极元件可包括第一六极产生元件、第二六极产生元件、第三六极产生元件和/或第四六极产生元件。在一些示例中，该第二六极产生元件邻近该偏转器光轴的中点定位。在一些示例中，该第二六极产生元件和该第三六极产生元件中的每一者至少部分地定位在该校正器静电棱镜内。
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公开(公告)号：CN114664619A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202111569934.3
申请日：2021-12-21
Applicant: FEI 公司
Inventor： A·亨斯特拉 , A·穆罕默迪-盖达里 , P·C·蒂梅耶
IPC: H01J37/26 , H01J37/141
Abstract: 本文公开了一种用于带电粒子显微镜的可调节无磁场物镜。示例带电粒子显微镜至少包含：第一光学元件和第二光学元件，所述第一光学元件和所述第二光学元件布置在样品平面的相反侧上；第三光学元件，所述第三光学元件布置在所述样品平面周围；以及控制器，所述控制器被耦接以控制所述第一光学元件、所述第二光学元件和所述第三光学元件。所述控制器被耦接以：激发所述第一光学元件和所述第二光学元件以产生第一磁透镜和第二磁透镜，所述第一磁透镜和所述第二磁透镜形成于所述样品平面的相反侧上并且被朝向在同一方向上；并且激发所述第三光学元件以在所述样品平面处产生第三磁透镜，所述第三磁透镜被朝向在相反方向上，其中对所述第三光学元件的所述激发与对所述第一光学元件和所述第二光学元件的所述激发的比率调节所述样品平面处的磁场。
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公开(公告)号：CN112837983A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202011306965.5
申请日：2020-11-20
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/10 , H01J37/153 , H01J37/26
Abstract: 六阶及以上校正STEM多极校正器。根据本公开，用于校正带电粒子显微镜系统中的粒子光学透镜的轴向像差的校正器包含：第一初级多极，当将第一激励施加到所述第一初级多极时，所述第一初级多极产生第一初级多极场；以及第二初级多极，当将第二激励施加到所述第二初级多极时，所述第二初级多极产生第二初级多极场。所述第一初级多极并未被成像到所述第二初级多极上，从而产生了组合四阶像差。所述校正器进一步包含用于校正所述四阶像差和六阶像差的次级多极。此类校正器可以进一步包含用于校正八阶像差的三级多极。
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公开(公告)号：CN102064074A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010550058.5
申请日：2010-11-18
Applicant: FEI公司
Inventor： A·亨斯特拉
IPC: H01J37/153
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/26 , H01J2237/1534 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及用于粒子光学透镜的轴向像差的校正器。市售高分辨率透射电子显微镜（HR-TEM）和扫描透射电子显微镜（HR-STEM）现在装配有用于校正所谓的物镜的轴向球面像差Cs的校正器。不可避免地，其它像差变成限制性的像差。对于也称为Rose校正器的六极型校正器或其变体而言，由校正器引入的也称为A5的六重轴向像散和也称为D6的第六阶三叶像差被已知变成限制性的像差。本发明表明，通过在六极之间的交叉点上添加弱六极（126），可以制成无A5或D6的类似于Rose的校正器或类似于Crewe的校正器，或者通过添加弱六极和十二极两者，可以制成无A5和D6两者的校正器。
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公开(公告)号：CN119742212A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411355928.1
申请日：2024-09-27
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/153
Abstract: 本文提供了多极元件和包括这种多极元件的带电粒子显微镜系统。在一个示例中，一种装置可包括多个电极，该多个电极包括第一形状子集和第二形状子集。该第一形状子集中的每个电极包括电极活性表面，该电极活性表面的形状不同于该第二形状子集中的每个电极的形状。在另一个示例中，一种装置可包括多个电极，该多个电极包括第一侧子集和第二侧子集。每个电极包括沿着第一侧向方向或第二侧向方向延伸的电极延伸部。在另一个示例中，一种装置可包括具有多个多极元件的光柱，该多个多极元件完全容纳在第一角度包络内，该第一角度包络对向至多50度的第一角度，而工作距离为至多10mm。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116387123A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202211705066.1
申请日：2022-12-29
Applicant: FEI 公司
Inventor： A·亨斯特拉 , A·穆罕默迪-盖达里
IPC: H01J37/153
Abstract: 根据本公开，静电镜色像差（Cc）校正器包括本身包括多极子的静电电子镜。所述静电电子镜定位在所述校正器内，使得当所述校正器在使用中时，穿过所述校正器的电子束不会沿着所述镜的光轴入射在所述静电电子镜上。所述静电镜的镜物距等于所述静电镜的镜像距，并且所述静电镜被配置成使得所述静电镜不会将色散或彗形像差施加到所述电子束。所述多极子定位在所述静电电子镜的镜平面中，并且在一些实施例中，所述多极子是四极子。
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公开(公告)号：CN115547796A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202210748141.6
申请日：2022-06-29
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/153 , H01J37/26
Abstract: 本文公开了一种用于透射电子显微镜（TEM）的具有动态聚焦的能谱仪。示例能谱仪和TEM至少包括：带电粒子柱，所述带电粒子柱包括布置在样品平面之后的投影系统，所述投影系统以第一配置操作；能谱仪，所述能谱仪与所述带电粒子柱联接以获取一个或多个能量损失谱。所述能谱仪包括色散元件、偏置管、用于放大所述能量损失谱和用于校正像差的光学器件，以及与所述能谱仪的谱平面共轭布置的检测器，其中所述能谱仪另外包括被电偏置以将谱的至少一部分重新聚焦到所述检测器上的光学元件，并且其中所述电偏置的值至少部分地基于所述带电粒子柱的所述第一配置。
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公开(公告)号：CN114334590A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111150510.3
申请日：2021-09-29
Applicant: FEI 公司
Abstract: 用于校正带电粒子系统中的两倍五阶寄生像差的方法和系统。根据本公开的用于校正带电粒子系统中的两倍五阶寄生像差的校正器包含：第一校正组件，当第一激励被施加到所述第一校正组件时，所述第一校正组件产生第一四极场；以及第二校正组件，当第二激励被施加到所述第二校正组件时，所述第二校正组件产生第二四极场。根据本公开的校正器还包含四极，所述四极当在所述带电粒子显微镜系统中使用时定位在所述第二校正组件与样品之间，所述四极产生第三四极场。当所述带电粒子显微镜使用时，所述第三四极场与至少所述第一四极场和所述第二四极场组合地校正所述五阶两倍像差。
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公开(公告)号：CN113466273A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110331202.4
申请日：2021-03-29
Applicant: FEI 公司
IPC: G01N23/2206 , G01N23/2251 , G01N23/04 , G01N23/20 , G01N23/20058
Abstract: 同步STEM和TEM显微镜。用于使用单个电子显微镜系统通过TEM和STEM技术研究样本的方法包含以下步骤：朝着所述样本发射电子；将所述电子形成为两个束；以及然后修改所述两个束中的至少一个束的聚焦特性，使得所述两个束具有不同的焦平面。一旦所述两个束具有不同的焦平面，第一电子束被聚焦，使得所述第一电子束充当聚焦在所述样本处的STEM束，并且第二电子束被聚焦，使得当入射到所述样本上时，所述第二电子束充当作为平行束的TEM束。然后，可以由单个检测器或检测器阵列检测由入射到所述样本上的所述STEM束和所述TEM束产生的发射，并且所述发射用于产生TEM图像和STEM图像。
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公开(公告)号：CN108538693A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810174345.7
申请日：2018-03-02
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/08 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J2237/1534 , H01J37/26
Abstract: 一种操作带电粒子显微镜的方法，包括以下步骤：-在样品夹上设置样品；-使用源来产生带电粒子束；-将所述光束通过照明器，照明器包括：源透镜，其具有相关的粒子光轴；聚光镜光圈，其设置在源透镜和样品之间并且被配置为限定所述光束在样品上的覆盖区；-采用从照明器出射的光束照射样品；-使用探测器检测响应于所述照射而从样品发出的辐射，并且产生相关的图像；尤其包括如下步骤：-从所述源中选择一组发射角；-对于所述组中的每个发射角，选择以该发射角从源发射的对应子光束，并且存储由该子光束形成的测试图像，从而收集对应于该组发射角的一组测试图像；-分析该组测试图像以评估在所述聚光镜光圈之前生成的照明器像差。
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