-
公开(公告)号：CN114695037B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202111647066.6
申请日：2021-12-30
Applicant: FEI 公司
Abstract: 公开了用于减少显微镜系统的光学元件中的热磁场噪声的产生的系统。根据本公开的具有减少的约翰逊噪声产生的实例显微镜光学元件包括由电绝缘材料构成的内芯和由导电材料构成的外涂层。所述外涂层的厚度与电导率的乘积小于0.01 Ω‑1。所述外涂层致使由所述光学元件产生的约翰逊噪声减少多于2×、3×或一个数量级或更大。在特定实例实施例中，所述光学元件是具有减少的约翰逊噪声产生的校正器系统。这种校正器系统包括外磁多极和内静电多极。所述内部静电多极包括由电绝缘材料构成的内芯和由导电材料构成的外涂层。
-
公开(公告)号：CN118380303A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410082405.8
申请日：2024-01-19
Applicant: FEI 公司
Inventor： A·亨斯特拉 , A·穆罕默德-盖达里
Abstract: 提供了带电粒子光学装置、系统和方法。带电粒子光学装置可以包括色散元件，该色散元件基本上设置在束轴上，并且被配置为在平行于束轴的色散平面中通过能量使带电粒子束的粒子分散。该带电粒子光学装置可以包括选择器，该选择器设置在束轴上，位于基本上对应于第一交叉平面的位置处。该带电粒子光学装置可以包括非色散元件。该带电粒子光学装置可以包括截止器件，该截止器件设置在位于选择器下游的束轴上，位于基本上对应于束轴上的第二交叉平面的位置处。第二交叉平面可以在第一交叉平面的下游。截止器件可以包括对电子不透明的材料，并且限定与束轴基本上对准的光圈。
-
公开(公告)号：CN117293005A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202310745517.2
申请日：2023-06-21
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/305 , H01J37/31 , H01J37/30 , H01J37/21 , H01J37/153
Abstract: 聚焦离子束系统和方法。提供了一种用于修改样品或工件表面的离子束系统，该系统包括：用于产生离子的离子源；离子束聚焦柱，该离子束聚焦柱被配置为引导从该离子源接收的离子以形成离子束，并将该离子束朝目标区域聚焦；以及样品台，该样品台用于接收要修改的样品或工件并用于将样品或工件表面定位在目标区域，其中离子束聚焦柱包括孔径板，该孔径板具有非圆形射束限制孔径，该非圆形射束限制孔径被配置为限制离子束穿过该非圆形射束限制孔径的范围；以及多极像差补偿器，该多极像差补偿器被配置为向离子束施加四重像散以补偿由离子束聚焦柱中的一个或多个透镜产生的球面像差。多极像差补偿器可以是被配置为产生八极场的多极元件。提供了使用离子束修改样品或工件的相应方法。
-
公开(公告)号：CN1847913B
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN200610074091.9
申请日：2006-04-04
Applicant: FEI公司
Inventor： A·亨斯特拉
CPC classification number: H01J37/153
Abstract: 在TEM、STEM、或SEM中应用的四极-八极校正器。用于校正物镜的三阶与五阶像差的已知的校正器用八个四极和三个八极来实现。按照本发明的校正器具有至少相同的像差校正能力，但按照本发明的校正器是用六个四极和三个八极实现的。通过把具有相对较弱的激励的八极添加到一部分四极，还可得到对物镜的各向异性的慧形像差的校正。通过把所有的四极或四极的一部分实施为电磁的，还可以校正色度像差。
-
公开(公告)号：CN119742213A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411355942.1
申请日：2024-09-27
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/12 , H01J37/153
Abstract: 本文提供了像差校正系统和包括该像差校正系统的带电粒子显微镜系统。一种装置可包括带电粒子源和光柱。该光柱可包括具有一个或多个聚光器四极产生元件的多极聚光器和/或具有多个物镜多极元件的多极物镜。该多个物镜多极元件可包括至少三个四极产生元件和至少三个八极产生元件，该至少三个八极产生元件被配置为至少部分地校正带电粒子束的球面像差。该光柱可被配置为使得该带电粒子束以非圆形射束轮廓进入该多极物镜和/或使得该带电粒子束由通过该多极物镜的至少一部分的非圆形射束轮廓来表征。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114088741A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202110657931.9
申请日：2021-06-11
Applicant: FEI 公司
Inventor： 邓雨辰 , P·H·F·特罗姆潘纳斯 , B·贝伊斯 , A·亨斯特拉
IPC: G01N23/04 , G01N23/20 , G01N23/20008 , G01N23/20058 , G01N23/205 , G01N23/2055 , G01N23/207 , G01N23/2206 , G01N23/2251 , G01N23/2202
Abstract: 用于在样品处理期间进行成像的双束显微镜系统。根据本公开，用于使用双束显微镜系统来同时处理样品并对所述样品的处理部分进行成像的方法包含以下初始步骤：朝着所述样品发射多个电子；将所述多个电子分离成两个电子束；以及随后修改所述电子束中的至少一个的聚焦特性，使得所述两个电子束具有不同的焦平面。一旦所述两个电子束具有不同的焦平面，就聚焦所述第一电子束，使得所述第一电子束充当STEM束。然后，使用所述STEM束来处理所述样品的区域以引起物理变化（例如，执行研磨、沉积、电荷调节、相变等）。聚焦所述第二电子束以充当TEM束从而对所述样品的正被处理的所述区域进行成像。
-
公开(公告)号：CN113466269A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110331227.4
申请日：2021-03-29
Applicant: FEI 公司
IPC: G01N23/20058 , H01J37/21 , H01J37/295
Abstract: 电子衍射全息照相术。根据本公开，用于使用电子衍射全息照相术来研究样本的方法包括以下初始步骤：向所述样本发射多个电子；将所述多个电子形成为第一电子束和第二电子束；以及修改所述两个束中的至少一个的聚焦特性，使得所述两个束具有不同的焦平面。一旦所述两个束具有不同的焦平面，所述方法就包括：聚焦所述第一电子束，使得其在所述样本处或所述样本附近具有焦平面；以及聚焦所述第二电子束，使得其入射到所述样本上，并在衍射平面中具有焦平面。然后在所述衍射平面中检测所述第一电子束和衍射的第二电子束的干涉图案，然后用于生成衍射全息图。
-
公开(公告)号：CN1658331B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200510051944.2
申请日：2005-02-16
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/153 , H01J37/26
Abstract: 本发明揭示了一种能够进行能量选择的粒子源。能量选择是通过使带电粒子束(13)偏心通过透镜(6)。由于这种方式，在经透镜(6)所形成的像15内出现能量扩散。通过将像(15)投射到光阑(7)上，可仅允许能谱内有限部分的粒子通过。因此，通过的射束(16)具有减小的能够分布。通过增设偏转单元(10)，该粒子束(16)能够向光轴偏转。还可选择向光轴偏转通过透镜(6)中央的(例如具有较大射束电流的)射束(12)。
-
公开(公告)号：CN101593658A
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200910145359.7
申请日：2009-05-26
Applicant: FEI公司
Inventor： A·亨斯特拉
IPC: H01J37/04 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/05 , H01J3/027 , H01J3/04 , H01J37/063 , H01J2237/045 , H01J2237/057 , H01J2237/061 , H01J2237/08 , H01J2237/15 , H01J2237/1534
Abstract: 本发明的名称为具有集成能量过滤器的带电粒子源，描述发生能量选择的粒子源。能量选择通过偏心地发送带电粒子束穿过透镜发生。这样做的结果是，在透镜形成的图像中将发生能量色散。通过将此图像投射到能量选择光阑中的狭缝上，可以只让有限的能量谱部分中的粒子穿过。因此，穿过的束将具有减少的能量分散。偏转单元将束偏转到光轴。也可以选择偏转经过透镜中间去向光轴并且具有如更大电流的束。能量色散点由偏转器在狭缝上成像。在狭缝上定位能量色散点时，中央束偏离轴到被能量选择光阑阻止的程度。由此避免了在光阑后的区域由此束导致的反射和污染。此外，还避免了中央束的电子与偏转器区域中的能量过滤束交互作用所导致的电子－电子相互作用。
-
公开(公告)号：CN1847913A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610074091.9
申请日：2006-04-04
Applicant: FEI公司
Inventor： A·亨斯特拉
CPC classification number: H01J37/153
Abstract: 在TEM、STEM、或SEM中应用的四极－八极校正器。用于校正物镜的三阶与五阶像差的已知的校正器用八个四极和三个八极来实现。按照本发明的校正器具有至少相同的像差校正能力，但按照本发明的校正器是用六个四极和三个八极实现的。通过把具有相对较弱的激励的八极添加到一部分四极，还可得到对物镜的各向异性的慧形像差的校正。通过把所有的四极或四极的一部分实施为电磁的，还可以校正色度像差。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
29
records
(took 0.015 seconds)
