单片集成的三电极CMUT设备
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105828962B

    公开(公告)日:2019-07-23

    申请号:CN201480067581.9

    申请日:2014-12-04

    IPC分类号: B06B1/02

    摘要: 本文公开了一种电容式微机械超声换能器(CMUT)单元,包括如下三个电极:第一电极,其耦合到单元膜;第二电极,其嵌入到与所述第一电极相对且与所述第一电极分离开一气体腔或真空腔的单元层板中;以及第三电极,其在腔体边上与所述第二电极相对,其中,电介质层夹在所述第二电极和所述第三电极之间以创建所述第二电极和所述第三电极之间的电容关系。三电极CMUT单元提供具有两个受主动驱动的(控制的)电极的超声换能器。

    用于驱动负载,尤其是驱动超声换能器的驱动器设备和驱动方法

    公开(公告)号:CN104470729B

    公开(公告)日:2018-02-06

    申请号:CN201380037952.4

    申请日:2013-07-11

    IPC分类号: B60B1/02

    摘要: 本发明涉及用于驱动具有多个独立电容性负载元件(52)的负载(52),尤其是驱动具有多个换能器元件(52)的超声换能器的驱动器设备(40),其包括:输入端子(44、46),其用于将所述驱动器设备(40)连接到电源(48);多个输出端子(50),每个用于将所述驱动器设备(40)连接到负载元件(52)中的一个;第一可控开关(54),其连接到所述输入端子的第一输入端子(44);以及多个驱动元件(42),其每个具有彼此串联连接的第二可控开关(60)和电阻器(58),其中,所述驱动元件(42)中的每个与所述第一可控开关(54)串联连接并连接到所述输入端子中的第二输入端子(46),并且其中,所述输出端子(50)中的每个连接到用于驱动所述负载元件(52)的所述驱动元件(42)中的一个。

    两端子CMUT设备
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106999984B

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201580067115.5

    申请日:2015-11-30

    IPC分类号: B06B1/02

    摘要: 本发明涉及一种超声系统,包括:超声阵列,其包括至少一个电容性微机械超声换能器设备,所述至少一个电容性微机械超声换能器设备包括:薄膜,所述薄膜被耦合到第一电极;衬底,所述衬底与所述薄膜相对并且被耦合到第二电极和第三电极,在所述衬底与所述薄膜之间存在气体或真空腔,其中,所述第二电极在外围区域中与所述第一电极相对,并且所述第三电极在中心区域中与所述第一电极相对;至少一个驱动电路,其被耦合到所述阵列。所述系统还包括:高阻抗电阻器,当所述CMUT设备的所述薄膜处在所述塌陷状态中并且所述CMUT设备在操作频率处被激活时,所述高阻抗电阻器被电气地耦合到所述第二电极与所述第三电极并且具有比所述第一电极与所述第二电极之间的AC阻抗更高的阻抗值。

    同相位密排阵列式超声波发射单元

    公开(公告)号:CN106076794A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610709579.8

    申请日:2016-08-24

    申请人: 复旦大学

    发明人: 马建敏

    IPC分类号: B06B1/06

    摘要: 本发明属于超声波发射技术领域,具体为一种能发射高强度高指向性超声波的同相位密排阵列式超声波发射单元。本发明由同相位密排超声波换能器阵列和印刷线路板组成。根据需要,设计不同物理性能和几何尺寸的超声波换能器,换能器以密排方式组阵分别插到与密排阵列相配套的印刷线路板上。经过功率放大的超声波信号输入到同相位密排阵列式超声波发射单元,使其发出高强度高指向性的超声波。本发明不但可用于声波定向传播,而且还可以用于超声波悬浮、测距、遥控、成像、乳化、灭菌、促进化学反应和进行生物学研究等领域。

    单片集成的三电极CMUT设备
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105828962A

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201480067581.9

    申请日:2014-12-04

    IPC分类号: B06B1/02

    摘要: 本文公开了一种电容式微机械超声换能器(CMUT)单元,包括如下三个电极:第一电极,其耦合到单元膜;第二电极,其嵌入到与所述第一电极相对且与所述第一电极分离开一气体腔或真空腔的单元层板中;以及第三电极,其在腔体边上与所述第二电极相对,其中,电介质层夹在所述第二电极和所述第三电极之间以创建所述第二电极和所述第三电极之间的电容关系。三电极CMUT单元提供具有两个受主动驱动的(控制的)电极的超声换能器。